一种具有缓震结构的半导体液晶搬送机的制作方法

本技术涉及半导体液晶搬送，具体为一种具有缓震结构的半导体液晶搬送机。

背景技术：

1、半导体液晶是在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件。半导体液晶在生产加工过程中，需要进行搬送运输，以保证两个生产线之间衔接加工。

2、公告号为cn105789102b的专利公开了一种在晶片的搬送时能够实施定位的搬送装置。搬送装置具有：保持板，其具有与晶片的被保持面相对的保持面；限制部件，其设置于保持面的一端侧，与晶片的周面接触，限制晶片向一端侧的移动；以及使保持板移动的移动单元，在保持面上形成有非接触式的吸引保持部，该吸引保持部相对于晶片的被保持面斜向地喷射流体，使晶片在朝向限制部件的方向上移动，并且在保持面与被保持面之间产生负压，吸引保持晶片，该搬送装置从吸引保持部起喷射流体，使晶片顶靠到限制部件上，从而将晶片定位于保持板上的规定的位置处。

3、上述搬送装置设置在加工装置上使用，搬送装置的第一保持组件通过第一升降组件驱动向z轴方向移动，第二保持组件通过第二升降组件驱动向z轴方向移动，第一保持组件和第二保持组件对晶片进行吸引，从而实现晶片的移动，第一升降组件和第二升降组件会带给第一保持组件和第二保持组件一个向下的冲击力，而第一保持组件和第二保持组件包括保持板、限制部件和移动单元，在保持板向下移动与晶片接触时，为直接的硬性接触，第一升降组件和第二升降组件的冲击力容易造成晶片损坏。

4、为此，我们推出一种具有缓震结构的半导体液晶搬送机。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种具有缓震结构的半导体液晶搬送机，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有缓震结构的半导体液晶搬送机，包括内部设有空腔的底座，所述底座上端设置有升降机构，所述升降机构上端设置有旋转机构，所述旋转机构一侧设置有缓震机构，所述缓震机构下端设置有吸附机构；

3、所述缓震机构包括第一连接板，所述第一连接板下端固定设置有两组固定块，两组所述固定块之间固定设置有第二光杆，所述第二光杆上滑动连接有两组滑块，两组所述滑块之间且位于第二光杆外侧安装有弹簧，所述滑块下端铰接有连杆，所述连杆下端铰接有第二连接板，所述第二连接板上端四角与第一连接板之间固定设置有螺纹橡胶筒，所述第二连接板上端且位于螺纹橡胶筒内固定设置有第三光杆，所述第一连接板上开设有供第三光杆穿过的通孔，所述第三光杆上端固定设置有限位块；

4、所述吸附机构包括吸盘座，所述吸盘座固定设置于第二连接板伸出第一连接板外侧的一端，所述吸盘座下端安装有吸盘。

5、所述升降机构包括设置于底座上端四角的第一光杆，所述第一光杆上共同滑动连接有升降板，所述底座上壁中部通过轴承转动设置有螺纹杆，所述空腔内安装有第一电机，所述第一电机的输出轴与螺纹杆固定连接，所述螺纹杆与升降板螺纹连接，所述升降板上端且位于螺纹杆左右两侧均固定设置有两组支撑杆，所述支撑杆上端共同固定设置有支撑板。通过第一电机工作驱动螺纹杆转动，使得升降板在第一光杆的导向作用下进行竖直上下移动，从而使得支撑杆和支撑板进行竖直上下移动。

6、所述旋转机构包括固定设置在支撑板上端的罩壳，所述罩壳上壁通过轴承转动设置有转轴，所述转轴上固定设置有从动齿轮，所述支撑板上端且位于罩壳内安装有第二电机，所述第二电机的输出轴上固定设置有与从动齿轮相啮合的主动齿轮，所述转轴上端固定设置有转盘。通过第二电机工作，驱动主动齿轮转动，由于主动齿轮与从动齿轮相啮合，从而驱动从动齿轮、转轴和转盘转动。

7、所述第一连接板固定设置于转盘一侧。使得缓震机构和吸附机构能够跟随转盘转动。

8、所述吸盘座内部设置有与吸盘相连通的吸引通道，且所述吸盘座通过气管连接有真空泵。真空泵与吸盘和吸盘座内的吸引通道，组成相对封闭的真空系统，将吸盘与半导体液晶上表面接触后，通过真空泵抽取真空，使得真空系统内的气压降低，与外界大气压的压力差使吸盘与半导体液晶紧紧结合在一起，即可搬送半导体液晶，当半导体液晶搬送到位后，停止抽真空，向真空系统内输入空气，系统内气压值与外界大气压的差值减少，直到与大气压相等或者稍高与大气压,吸盘就与半导体液晶脱离，从而实现半导体液晶的搬送。

9、所述吸盘座呈u型，所述吸盘均匀分布于吸盘座下方。且吸盘座的结构与半导体液晶结构相对应，使得在吸附半导体液晶时，吸盘能够正好位于半导体液晶的上方。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、1、本实用新型通过吸附机构的吸盘对半导体液晶进行抽真空吸附，不易损坏半导体表面；通过升降机构和旋转机构变换吸附机构的竖向位置和水平位置，实现吸附机构下端吸附的半导体液晶的自动搬送，提高产品生产加工效率；

12、2、本实用新型在吸附机构上端设置缓震机构，在吸附机构与半导体液晶上表面接触时，通过缓震机构的螺纹橡胶筒和弹簧起到缓震作用，避免升降机构驱动吸附机构向下移动的冲击力过大对半导体液晶造成损坏。

技术特征：

1.一种具有缓震结构的半导体液晶搬送机，包括内部设有空腔（1）的底座（2），其特征在于：所述底座（2）上端设置有升降机构，所述升降机构上端设置有旋转机构，所述旋转机构一侧设置有缓震机构，所述缓震机构下端设置有吸附机构；

2.根据权利要求1所述的一种具有缓震结构的半导体液晶搬送机，其特征在于：所述升降机构包括设置于底座（2）上端四角的第一光杆（14），所述第一光杆（14）上共同滑动连接有升降板（15），所述底座（2）上壁中部通过轴承转动设置有螺纹杆（16），所述空腔（1）内安装有第一电机（17），所述第一电机（17）的输出轴与螺纹杆（16）固定连接，所述螺纹杆（16）与升降板（15）螺纹连接，所述升降板（15）上端且位于螺纹杆（16）左右两侧均固定设置有两组支撑杆（18），所述支撑杆（18）上端共同固定设置有支撑板（26）。

3.根据权利要求2所述的一种具有缓震结构的半导体液晶搬送机，其特征在于：所述旋转机构包括固定设置在支撑板（26）上端的罩壳（19），所述罩壳（19）上壁通过轴承转动设置有转轴（20），所述转轴（20）上固定设置有从动齿轮（21），所述支撑板（26）上端且位于罩壳（19）内安装有第二电机（22），所述第二电机（22）的输出轴上固定设置有与从动齿轮（21）相啮合的主动齿轮（23），所述转轴（20）上端固定设置有转盘（24）。

4.根据权利要求3所述的一种具有缓震结构的半导体液晶搬送机，其特征在于：所述第一连接板（3）固定设置于转盘（24）一侧。

5.根据权利要求1所述的一种具有缓震结构的半导体液晶搬送机，其特征在于：所述吸盘座（12）内部设置有与吸盘（13）相连通的吸引通道，且所述吸盘座（12）通过气管连接有真空泵（25）。

6.根据权利要求1所述的一种具有缓震结构的半导体液晶搬送机，其特征在于：所述吸盘座（12）呈u型，所述吸盘（13）均匀分布于吸盘座（12）下方。

技术总结
本技术涉及半导体液晶搬送技术领域，具体的说是一种具有缓震结构的半导体液晶搬送机，包括内部设有空腔的底座，所述底座上端设置有升降机构，所述升降机构上端设置有旋转机构，所述旋转机构一侧设置有缓震机构，所述缓震机构下端设置有吸附机构。本技术通过吸附机构的吸盘对半导体液晶进行抽真空吸附；通过升降机构和旋转机构变换吸附机构的竖向位置和水平位置，实现吸附机构下端吸附的半导体液晶的自动搬送；在吸附机构上端设置缓震机构，在吸附机构与半导体液晶上表面接触时，通过缓震机构的螺纹橡胶筒和弹簧起到缓震作用，避免升降机构驱动吸附机构向下移动的冲击力过大对半导体液晶造成损坏。

技术研发人员：张红
受保护的技术使用者：江苏恒业半导体技术有限公司
技术研发日：20230802
技术公布日：2024/3/21