专利名称：吹气镊子的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种检夹薄、细小样品的工具，例如检夹生产过程中的半导体器件的芯片。
目前检夹薄形、细小物体，物别是半导体器件样品的工具，常见的有两种，一是普通型镊子和真空吸住，虽然操作简单方便，但却常会造成对被夹物体的损坏，例如，使用普通型镊子来检夹加工过程中的半导体器件芯片，若夹持其两边，会损坏边角，若夹持其上、下二表面，则会损坏已经制备好了的表面图形；又如，使用真空吸住，被吸芯片的表面或侧边，其表面上制作的图形或边角也常被损坏，这对工艺员来说，是十分棘手的难题，因此，便有人用吹气球与滤纸的配合来将生产过程中的半导体芯片从这道工序搬移至下一道工序，其作法是先将滤纸置于欲搬移的芯片前方，再用吹气球轻轻对着该芯片吹气，将它吹在滤纸上再行搬移，但是这种操作虽然可减少对被搬移之芯片的损坏(因有时对吹气球吹气过大，使该芯片吹翻)，但操作太麻烦，效率也较低。
本实用新型的目的在于克服已有技术的缺点，提供一种对薄形、细小物体的检夹，特别是对生产过程中的半导体器件的芯片的检夹，具有操作简单方便和不易造成对受检夹物体的损坏的吹气镊子。
本实用新型是这样实现的，其包括左、右两只夹脚，特点是a、它们的上端以连接环联结成一体，而末端则分别设有左、右半瓣斗；b、还有一吹气构件，其主要含有依次相联结的驱气部件，容气部件和喷气部件，其中该容气部件位于该左、右夹脚之间，且与该连接环相固接，而该驱气部件系自上而下穿经该连接环而一端位于该容气部件内，另该喷气部件的出口端则位于该左、右半瓣斗所围成的空间内。这样，先对待检夹的样品，例如生产过程中的半导体器件芯片使其置于两夹脚末端连线之前方，即喷气部件出口端的前方，再推动该驱气部件，使喷气部件的出口端对着该芯片吹气使其进入由左、右半瓣斗围成的瓣斗内，最后锁定该二夹脚，使该芯片稳定地处于瓣斗上，可靠、安全地将其搬运至下道工艺流程进行加工。
进一步，本实用新型中的吹气构件中的容气部件包括紧密相连接的上缸体和下缸体，该上缸体的内管壁设螺纹，并由一管状螺杆穿经该二夹脚连接环而螺接紧固；而驱气部件，其包括紧连接的推杆和活塞，该推杆自上穿经管状螺杆、连接环、上缸体、下缸体，活板和管状限位块末端连接该活塞，在限位块和活塞之间套有压簧，另该推杆上位于该管状限位压块的上方适当处还开设推杆活锁定槽。并有一端设套孔和另一端设与该推杆活锁定槽相配合的腰子形孔的限位活板，该左夹脚的适当处设凸起，与限位活板套孔相配合，该管状限位压块分别与该上、下缸体的相邻端口相螺接，该管状螺杆上方设有避震圈，在该管状螺杆与该避震圈之间设有旋动垫块，以便改变推杆在该缸体的滑动距离，从而达到调节对下缸体内的受压迫的气体的推动，最终调节了喷出的空气对芯片的吹动力。
本实用新型具有如下的积极进步效果1、操作方便，基本和对普通镊子的操作类同，但不损坏受检夹样品的表面和边角；
2、结构简单，层次分明，易于实施；3、不需要外接气源，可随时随地使用，实用性强。
本实用新型的附图简单说明如下
图1是本实用新型的外观立体示意图。
图2是本实用新型的结构示意图。
图3是本实用新型图2的A-A剖面示意图。
下面根据
图1～图3给出本实用新型一个较好的实施例，并予以详细描述，目的是使其能更好地说明本实用新型的结构特征和性能，而不是用来限制本实用新型的权利要求保护范围。
如
图1、图2和图3所示，本实用新型的实施例，其包括左夹脚2和右夹脚2’，且它们的上端有一把它们连接成一体的连接环20，而它们的末端分别连接左半瓣斗21和右半瓣斗22，该二瓣斗21、22可以是分离件或与该夹脚2、2’分别成一体的成型件。另有一吹气构件1与该二夹脚2、2’相联结而构成本实用新型的吹气镊子，本实施例中的该吹气构件1包含有依次相联结的驱气部件10、容气部件11和喷气部件12，容气部件11呈筒形状，其分成上缸体111和下缸体112，它们的端口部分别设有内螺纹，有一限位管状压块113位于该容气部件11内，其设有外螺纹，分别与上、下缸体111、112的邻接端口的内螺纹相连接，使其上、下缸体111、112连成一整体，该上缸体111的上端口籍其内螺纹与一管状螺杆114穿经连接夹脚2、2’的连接环20而螺接紧固，该吹气部件1中的驱气部件10，系包括紧密联结的推杆101和位于上、下缸体111、112内的活塞102，该推杆101自上而下穿经该管状螺杆114，连接环20而进入上、下缸体111、112，且在其下端部位于该限位管状压块113上方适当处开设推杆活锁定槽104，并在推杆101处于该压块113和活塞102之间套设压簧103，而又在左夹脚2上设凸起23，和由一端设有与该凸起23相配的套孔240和另端设与该推杆101上的活锁定槽104相配合的腰子形孔241的活板24，从而形成对该推杆101的活锁定，即平时，左、右夹脚2、2’分开，活板24上的腰子形孔241与推杆101上的活锁定槽104紧配合，形成对推杆101的锁定，当摄动夹脚2、2’，推动活板24，推杆101失锁可下滑，并受上方推力压缩压簧103推动活塞102迅速下滑移，使缸体内的空气从喷气部件12的出口端喷出，去吹动置于该左、右半瓣斗21、22围成的空间内的样品3，例如，半导体芯片，使之进入瓣斗上，以便将其搬移，为了防止推杆推进时震动，还在该管状螺杆114上方设避震圈115，又为了调节对样品3的吹气力量大小，又在该螺杆114与该避震圈115之间设旋动垫块116，以调节推杆101向下滑动的距离，从而调节了对压簧103的压力，最终调节了从喷气部件12吹向样品3的吹力。
本实施例中的喷气部件12包括紧密配合联结的漏斗形喷头121和喷气管122，该喷头121与该下缸体112设螺纹连接，而喷气管122的喷气口则位于该左、右半瓣斗21、22与该左、右夹脚2、2’接合点的连线前方的中央处，对准样品3吹气。
权利要求1.一种吹气镊子，包括左、右夹脚(2)、(2’)，其特征在于a、它们的上端以连接环(20)联结成一体，而末端则分别设有左、右半瓣斗(21)、(22)；b、还有一吹气构件(1)，其主要含有依次相联结的驱气部件(10)，容气部件(11)和喷气部件(12)，其中该容气部件(11)位于该左、右夹脚(2)、(2’)之间，且与该连接环(20)相固接，而该驱气部件(10)系自上而下穿经该连接环(20)而一端位于该容气部件(11)内，另该喷气部件(12)的出口端则位于该左、右半瓣斗(21)、(22)所围成的空间内。
2.根据权利要求1所述的吹气镊子，其特征在于该吹气构件(1)中的容气部件(11)包括紧密相连接的上缸体(111)和下缸体(112)，该上缸体(111)的上端口内管壁设螺纹，并由一管状螺杆(114)穿经该夹脚连接环(20)而螺接紧固。
3.根据权利要求1或2所述的吹气镊子，其特征在于该吹气构件(1)中的驱气部件(10)，其包括紧连接的推杆(101)和活塞(100)，该推杆(101)自上穿经管状螺杆(114)、连接环(20)、上缸体(111)和下缸体(112)，在其下部适当处依次设管状限位压块(113)和压簧(103)末端连接该活塞(102)。
4.根据权利要求3所述的吹气镊子，其特征在于该推杆(101)上位于该管状限位压块(113)的上方适当处还开设推杆活锁定槽(104)，和在该左夹脚(2)的适当处设凸起(23)，并有一端设套孔(240)和与另端设该推杆活锁定槽(104)相配合的腰子形孔(241)的限位活板(24)。
5.根据权利要求4所述的吹气镊子，其特征在于该管状限位压块(113)分别与该上、下缸体(111)、(112)的相邻端口相螺接。
6.根据权利要求3所述的吹气镊子，其特征在于该管状螺杆(114)上方设有避震圈(115)。
7.根据权利要求6所述的吹气镊子，其特征在于在该管状螺杆(114)与该避震圈(115)之间设有旋动垫块(116)。
8.根据权利要求1或2所述的吹气镊子，其特征在于该吹气构件(1)中的喷气部件(12)，其包括相紧密配合的喷头(121)和喷气管(122)，该喷头(121)与该下缸体(112)以套合螺接，而该喷气管(122)的喷气口位于该左、右半瓣斗(21)、(22)与左、右夹脚(2)、(2’)末端相接合点之连线的近前方中心处。
9.根据权利要求8所述的吹气镊子，其特征在于该喷头(121)呈漏斗型结构。
专利摘要一种吹气镊子,包括左、右夹脚,特点是:它们的上端有连接环,而末端有左、右半瓣斗;并有一吹气构件,其主要有依次相联结的驱气部件,容气部件和喷气部件,该容气部件位于左、右夹脚之间,且与连接环相固接;该驱气部件穿经该连接环而一端位于该容气部件内,另该喷气部件的出口端则位于该左、右半瓣斗所围成的空间内,而可对着检夹的样品。
文档编号B65G49/07GK2404857SQ9925215
公开日2000年11月8日 申请日期1999年12月17日 优先权日1999年12月17日
发明者王正官 申请人:中国科学院上海技术物理研究所