立体光刻设备和用于调设立体光刻设备的方法与流程

文档序号:22125609发布日期:2020-09-04 17:17阅读:来源:国知局

技术特征:

1.立体光刻设备(100),所述立体光刻设备包括:

光源(101),所述光源用于发出用于固化光固化材料(121)的光;

传感器(103),所述传感器用于确定所发出的光的光强度的实际值;和

控制单元(105),所述控制单元用于适配通过所述光源(101)的电流,直至所述光强度的实际值达到预给定的额定值为止。

2.按照权利要求1所述的立体光刻设备(100),其中,所述立体光刻设备(100)构造用于经由数字微镜器件(113)将光从所述光源(101)转向到所述传感器(103),所述数字微镜器件用于将光图案(123)投射到所述光固化材料(121)上。

3.按照权利要求2所述的立体光刻设备(100),其中,所述数字微镜器件(113)与棱镜面相邻地设置。

4.按照权利要求2或3所述的立体光刻设备(100),其中,所述立体光刻设备(100)构造用于通过所述数字微镜器件(113)将预给定的光图案投射到所述传感器(103)上。

5.按照上述权利要求中任一项所述的立体光刻设备(100),其中,所述立体光刻设备(100)包括用于将光转向到所述传感器(103)上的镜面(109)。

6.按照权利要求5所述的立体光刻设备(100),其中,所述镜面(109)与棱镜光阑(117)相邻地设置。

7.按照上述权利要求中任一项所述的立体光刻设备(100),其中,所述传感器(103)特别构造用于检测在所述立体光刻设备中使用的光谱。

8.按照权利要求7所述的立体光刻设备(100),其中,所述传感器(103)通过光电二极管构成。

9.按照上述权利要求中任一项所述的立体光刻设备(100),其中,所述控制单元(105)包括用于调节通过所述光源(101)的电流的调节器(119)。

10.用于调设立体光刻设备(100)的方法,所述方法具有以下步骤:

-借助于光源(101)发出(s101)用于固化光固化材料(121)的光;

-确定(s102)所发出的光的光强度的实际值;并且

-适配(s103)通过所述光源(101)的电流,直至所述光强度的实际值达到预给定的额定值为止。

11.按照权利要求10所述的方法,其中,通过数字微镜器件(113)将光从所述光源(101)转向到传感器(103),所述传感器用于将光图案(123)投射到所述光固化材料(121)上。

12.按照权利要求10或11所述的方法,其中,通过所述数字微镜器件(113)将预给定的光图案投射到传感器(103)上。

13.按照权利要求10至12中任一项所述的方法,其中,经由镜面(109)将光转向到传感器(103)上。

14.按照权利要求10至13中任一项所述的方法,其中,通过调节器(119)将电流调节到额定值。

15.按照权利要求10至14中任一项所述的方法,其中,将光引导通过棱镜光阑(117)。


技术总结
本发明涉及一种立体光刻设备(100),所述立体光刻设备包括:光源(101),所述光源用于发出用于固化光固化材料(121)的光;传感器(103),所述传感器用于确定所发出的光的光强度的实际值;和控制单元(105),所述控制单元用于适配通过所述光源(101)的电流,直至所述光强度的实际值达到预给定的额定值为止。

技术研发人员:M·韦特斯登;S·盖斯布尔勒
受保护的技术使用者:伊沃克拉尔维瓦登特股份公司
技术研发日:2020.02.26
技术公布日:2020.09.04
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