一种洁净厂房空气处理控制系统的制作方法

本实用新型涉及空气处理技术领域，尤其涉及一种洁净厂房空气处理控制系统。

背景技术：

目前中央空调系统的自动控制主要有DDC和PLC两种方式，DDC固化了专门的控制策略，在办公大楼等民用领域使用较多。而PLC 具有可靠性高、网络通讯灵活、控制功能强、性价比高的特点，使得其在工业领域的环境控制如半导体洁净厂房的中央空调自控系统中得到了广泛使用。

HVAC的空气处理系统主要实现对洁净区域的露点、温度和正压差的严格控制，防止静电损坏集成电路、空气中水分结露和粉尘对产品的污染,同时保持室内空气的新鲜度以使人体舒适。但现有技术并没有利用PLC的控制优势进行洁净厂房空气处理控制的技术方案。

技术实现要素：

有鉴于现有技术的上述缺陷，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种洁净厂房空气处理控制系统，以解决现有技术的不足。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种洁净厂房空气处理控制系统，其特征在于：包括依次连接的进口风阀、预滤网、加热盘管、加湿器、冷盘管、送风机、再热盘管、终滤网和出口风阀，所述加湿器、冷盘管输入端与副调节器连接，所述进口风阀、加热盘管、加湿器、冷盘管、送风机、再热盘管和出口风阀均与PLC控制器连接。

上述的一种洁净厂房空气处理控制系统，其特征在于：所述PLC控制器为SLC500 系列PLC。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型采用 PLC 控制，可靠性高、控制功能强、系统结构灵活；实现了大空间的露点和温度的独立控制，满足了大空间洁净室对温湿度和舒适性的要求，避免了传统控制方案中露点和温度相互干扰的缺陷。

以下将结合附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本实用新型的目的、特征和效果。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的洁净室露点控制原理框图。

图3是本实用新型的洁净室温度控制原理示意图。

具体实施方式

如图1所示，一种洁净厂房空气处理控制系统，其特征在于：包括依次连接的进口风阀1、预滤网2、加热盘管3、加湿器4、冷盘管5、送风机6、再热盘管7、终滤网8和出口风阀9，所述加湿器4、冷盘管5输入端与副调节器连接，所述进口风阀1、加热盘管3、加湿器4、冷盘管5、送风机6、再热盘管7和出口风阀9均与PLC控制器连接。

所述PLC控制器为SLC500系列PLC。

本实用新型采用大空间的露点和温度的独立控制，露点控制属于典型的串级 PID 控制回路，其原理如从图2 所示。以洁净室的露点温度作为主调节器NC10 的测量值，主调节器控制输出值作为副调节器NC11的设定值，副主调节器的值则采用出口露点，副主调节器的输出值则用来控制高压微雾加湿器的加湿量或流过冷盘管的冷冻水的流量，从而达到控制露点温度的目的。

该露点控制回路属于典型的分程控制，加湿和制冷除湿不能同时起作用，只能处于其中一种工作状态。冬季模式时启动加湿器，夏季模式则制冷，二者之间的死区则沿用这之前的状态。

温度控制原理如下：

一是通过设置再热盘管，即图1的空调箱的温度控制回路将送风出口温度预先控制在18℃左右。这样既避免了送风管内温度可能低于露点而发生的结露，还可避免被控区域的温度较低导致人体舒适度会较差的缺点。

二是通过设置在洁净室内的换热冷盘管来吸收室内产生的热量,该换热过程与二次冷冻水系统相关，其控制示意如图3 所示。

换热干冷盘管安装在洁净室的吊顶上，由于封装设备、照明、人员活动会产生热量，而通过冷盘管换热后可以将这些热量吸收掉，换热后的空气温度被TC-20 回路控制在22℃。

控制系统通过将5℃的冷冻水和流经冷盘管换热后的一部分回水混合，使得换热干冷盘管的进水温度控制在12℃（由TC-10 实现）。这样通过干冷盘管的12℃水温高于洁净室的最高露点11.5℃，因此不会出现换热冷盘管结露的情况。

以上详细描述了本实用新型的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本实用新型的构思做出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本实用新型的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。