高真空度钎焊烧结炉的制作方法

本实用新型涉钎焊烧结设备技术领域，尤其提供一种高真空度钎焊烧结炉。

背景技术：

随着市场的发展和科技的进步，现在的钨钢、不锈钢、蓝宝石、陶瓷灯硬脆难加工的材料越来越受到产品厂家的青睐，但是由于此种材料硬度高强度大，用普通的刀具不能对其进行有效的加工，一般都需要用金刚石刀具加工制作才能得到好的加工精度和较高的成品率。但是金刚石刀具硬度大、熔点高、内部结构稳定性高，在制作金刚石刀具时要通过焊接的方式将金刚石和刀具的基材有效的焊接在一起，因此需要特定的氛围条件之下才能有效的将金刚石与基材高强度的连接在一起，这需要将反应的环境设置到一个高真空的状态。常规的钎焊烧结设备体积大而且真空状态并不是很高，从而导致钎焊烧结成品率不高，并且客户使用体验也不好。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种高真空度钎焊烧结炉，旨在解决现有技术中的钎焊烧结设备工作状态下真空度较低的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种高真空度钎焊烧结炉，包括用于烧结待焊接对象的反应装置、三级抽真空系统以及主控单元，所述三级抽真空系统包括一级泵、二级泵、三级泵以及用于监测所述反应装置内真空度且与所述主控单元电连接的真空监测组件，所述一级泵、所述二级泵以及所述三级泵均连通于所述反应装置，所述一级泵、所述二级泵以及所述三级泵均由所述主控单元控制开启\关闭，所述主控单元接收所述真空监测组件的检测数据依次开启所述一级泵、所述二级泵以及所述三级泵。

具体地，所述三级抽真空系统通过三通管与所述反应装置相连通，所述三通管包括直管以及连通于所述直管的支管，所述直管连通于所述三级泵，所述支管连通于所述一级泵和所述二级泵，所述真空监测组件安装于所述直管与所述三级泵的连接处。

具体地，所述反应装置包括反应舱组件以及加热组件，所述反应舱组件的一端连通于所述直管，所述加热组件包括下加热舱以及与所述下加热舱枢接转动的上加热舱，所述上加热舱与所述下加热舱围合形成用于容置所述反应舱组件的空间。

具体地，所述上加热舱呈半圆管型，所述上加热舱朝向所述反应舱组件的一侧设有多个第一灯管，各所述第一灯管沿所述反应舱组件轴向方向等间距排布。

具体地，所述下加热舱呈半圆管型，所述下加热舱朝向所述反应舱组件的一侧设有多个第二灯管，各所述第二灯管沿所述反应舱组件轴向方向等间距排布。

具体地，所述反应舱组件包括支架座、左固定座、右固定座、石英管、舱门组件以及设于所述石英管内的安装架，所述石英管通过所述左固定座与所述右固定座安装于所述支架座上，所述石英管的一端连通于所述三通管，所述舱门组件包括设于所述支架座一侧的导杆、套设于所述导杆上且于所述支架座上滑动的滑块以及设于所述导杆且封堵所述石英管的另一端的密封门，所述密封门于所述石英管的轴线方向上伸缩移动。

进一步地，所述反应舱组件还设有至少两个紧固组件，各所述紧固组件设有所述右固定座与密封门之间。

进一步地，所述石英管内还设有左挡光板组件以及右挡光板组件，所述左挡光板组件安装于所述左固定座内，所述右挡光板组件安装于所述密封门上，所述安装架位于所述左挡光板组件与所述右挡光板组件之间。

进一步地，所述高真空度钎焊烧结炉还包括冷却系统，所述冷却系统包括设于所述石英管内的温度感应器以及用于冷却所述下加热舱、所述上加热舱、所述左固定座、所述右固定座以及所述三级泵的水冷装置，所述水冷装置与所述温度感应器均电连接于所述主控单元。

具体地，所述水冷装置包括水冷泵体、用于冷却所述上加热舱的第一循环水管、用于冷却所述下加热舱的第二循环水管、用于冷却所述左固定座的第三循环水管、用于冷却所述右固定座的第四循环水管以及用于冷却所述三级泵的第五循环水管，所述第一循环水管、所述第二循环水管、所述第三循环水管、所述第四循环水管以及所述第五循环水管均连通于所述水冷泵体。

本实用新型的有益效果：本实用新型提供的高真空度钎焊烧结炉，其工作过程如下：将需要钎焊烧结的对象放置于反应装置内，密封反应装置，主控单元启动一级泵，同时，真空监测组件实时监测反应装置内的真空度，例如，当反应装置内的真空度达到10-3mbar～10-4mbar范围内时，主控单元继续启动二级泵，当反应装置内的真空度达到10-4mbar～10-5mbar范围内时，主控单元继续启动三级泵，直至到达预设真空度。优选地，反应装置的真空度最高可达10-8mbar。这样，通过三级抽真空系统三次抽真空动作，从而使反应装置在工作过程中达到高真空度要求，进而提高钎焊烧结的成品率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的高真空度钎焊烧结炉的结构示意图；

图2为图1中A处的放大图；

图3为本实用新型实施例提供的加热组件的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的未安装加热组件的高真空度钎焊烧结炉的结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的未安装加热组件以及未安装石英管的高真空度钎焊烧结炉的结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的水冷装置的结构示意图。

其中，图中各附图标记：

反应装置1、三级抽真空系统2、一级泵21、二级泵22、三级泵23、真空监测组件24、三通管25、直管251、支管252、反应舱组件11、加热组件12、下加热舱121、上加热舱122、第一灯管1221、第二灯管1211、支架座111、左固定座112、右固定座113、石英管114、舱门组件115、安装架116、导杆1151、滑块1152、密封门1153、紧固组件117、第一U型固定架1171、第二U型固定架1172、螺栓1173、锁紧螺母1174、左挡光板组件131、右挡光板组件132、固定杆13a、挡光板13b、温度感应器31、水冷装置32、水冷泵体321、第一循环水管322、第二循环水管323、第三循环水管324、第四循环水管325、第五循环水管326、主回水管327、主出水管328。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参考图1，本实用新型实施例提供的高真空度钎焊烧结炉，包括用于烧结待焊接对象的反应装置1、三级抽真空系统2以及主控单元(图中未示)。三级抽真空系统2包括一级泵21、二级泵22、三级泵23以及用于监测反应装置1内真空度且与主控单元电连接的真空监测组件24。一级泵21、二级泵22以及三级泵23均连通于反应装置1，一级泵21、二级泵22以及三级泵23均由主控单元控制开启\关闭，主控单元接收真空监测组件24的检测数据依次开启一级泵21、二级泵22以及三级泵23。

本实用新型实施例提供的高真空度钎焊烧结炉，其工作过程如下：将需要钎焊烧结的对象放置于反应装置1内，密封反应装置1，主控单元启动一级泵21，同时，真空监测组件24实时监测反应装置1内的真空度，例如，当反应装置1内的真空度达到10^-3mbar～10^-4mbar范围内时，主控单元继续启动二级泵22，当反应装置1内的真空度达到10^-4mbar～10^-5mbar范围内时，主控单元继续启动三级泵23，直至到达预设真空度。优选地，反应装置1的真空度最高可达10^-8mbar。这样，通过三级抽真空系统2三次抽真空动作，从而使反应装置1在工作过程中达到高真空度要求，进而提高钎焊烧结的成品率。

在本实施例中，真空监测组件24包括高真空规以及低真空规，持续的检测反应装置1内的真空状态，并将实时监测的数值反馈到主控单元。

在本实施例中，三级泵23为抽真空等级更高的分子泵。

进一步地，请参考图1，三级抽真空系统2通过三通管25与反应装置1相连通。三通管25呈T型，三通管25包括直管251以及连通于直管251的支管252，支管252垂直连接于直管251，直管251连通于三级泵23，支管252连通于一级泵21和二级泵22，具体地，支管252通过管路连接件(图中未示)连通于一级泵21与二级泵22，管路连接件包括两个分管，两分管分别连通于一级泵21与二级泵22。真空监测组件24安装于直管251与三级泵23的连接处。

具体地，请参考图1和图3，反应装置1包括反应舱组件11以及加热组件12。反应舱组件11的开口一端连通于直管251，加热组件12包括下加热舱121以及与下加热舱121枢接转动的上加热舱122，上加热舱122与下加热舱121上下闭合后，围合形成用于容置反应舱组件11的空间。主控单元控制可分别控制上加热舱122与下加热舱121开启/关闭，即反应舱组件11可获得分段的加热效果。例如，仅开启上加热舱122或下加热舱121对反应舱组件11进行加热，或者，上加热舱122和下加热舱121同时开启。

具体地，请参考图1和图3，反应舱组件11呈圆柱状，上加热舱122呈半圆管型，上加热舱122朝向反应舱组件11的一侧设有多个第一灯管1221，各第一灯管1221沿反应舱组件11轴向方向等间距排布。

具体地，请参考图1和图3，反应舱组件11呈圆柱状，下加热舱121呈半圆管型，与上加热舱122合围形成截面为圆形的中空容置空间，下加热舱121朝向反应舱组件11的一侧设有多个第二灯管1211，各第二灯管1211沿反应舱组件11的轴向方向等间距排布。

具体地，请参考图1、图2、图4和图5，反应舱组件11包括支架座111、左固定座112、右固定座113、石英管114、舱门组件115以及设于石英管114内的安装架116，安装架116用于放置待钎焊烧结的对象，石英管114为透光管，上加热舱122与下加热舱121围合并包裹在石英管114的外侧，利用各第一灯管1221与第二灯管1211对石英管114进行加热，石英管114的一端穿设于左固定座112内，石英管114的另一端穿设于右固定座113内，右固定座113与左固定座112平行且间隔安装于支架座111上。支架座111则安装在放置台上，石英管114的开口一端连通于三通管25，舱门组件115包括导杆1151、滑块1152以及密封门1153。导杆1151平行设于支架座111的一侧，滑块1152位于导杆1151与支架座111之间，并套设于导杆1151上。滑块1152于支架座111上滑动，并带动导杆1151一起滑动。密封门1153则在导杆1151的带动下在石英管114的轴线方向上伸缩移动。在导杆1151的端侧还设有用于触发传感器的触发件(图中未示)，当密封门1153封堵于石英管114另一开口端时，触发件触发传感器，传感器反馈至主控单元，从而提示用户密封门1153已关好，可进行抽真空作业。

进一步地，请参考图1、图2、图4和图5，反应舱组件11还设有至少两个紧固组件117，紧固组件117用于进一步锁紧密封门1153，各紧固组件117设有右固定座113与密封门1153之间。紧固组件117包括设于右固定上的第一U型固定架1171、与第一U型固定架1171相对设置且位于密封门1153上的第二U型固定架1172、螺栓1173以及锁紧螺母1174，第一U型固定架1171两竖直段之间设有枢接轴，螺栓1173套设于枢接轴上，并且，螺栓1173可绕枢接轴的轴线作周向转动，最终，卡设于第二U型固定架1172的两竖直段之间，此时，沿螺栓1173的轴线的周向方向旋拧锁紧螺母1174，直至锁紧螺母1174抵顶于第二U型固定架1172完成锁紧动作。

进一步地，请参考图1、图2、图4和图5，石英管114内还设有左挡光板组件131以及右挡光板组件132，左挡光板组件131安装于左固定座112内，右挡光板组件132安装于密封门1153上，安装架116位于左挡光板组件131与右挡光板组件之间132。利用左挡光板组件131与右挡光板组件132可将第一灯管1221和/或第二灯管1211汇聚于安装架116处，进一步提高带钎焊烧结对象的工作温度。具体地，左挡光板组件131包括固定杆13a以及多个套设于固定杆13a上的挡光板13b，在挡光板13b上还镀有强反光的膜层，可将光线反射回石英管114内，从而减少能量损失。右挡光板13b组件132的结构与左挡光板13b组件131的结构相同。

进一步地，请参考图1和图6，高真空度钎焊烧结炉还包括冷却系统(图中未示)，冷却系统包括设于石英管114内的温度感应器31以及用于冷却下加热舱121、上加热舱122、左固定座112、右固定座113以及三级泵23的水冷装置32，水冷装置32与温度感应器31均电连接于主控单元。高真空度钎焊烧结炉在工作时，温度感应器31开始对石英管114内的温度进行实时监控，并采集温度信息反馈至主控单元，温度超过了预设值时，主控单元启动水冷装置32，对上加热舱122与下加热舱121进行表面降温，同时，主控单元也管控各第一灯管1221与各第二灯管1211的加热情况，进而保证石英管114内温度保持在预设范围内。同时，为了防止距离石英管114较近的左固定座112、右固定座113以及三级泵23手高温影响，水冷装置32也对上述三者进行冷却，保持正常的工作温度。

具体地，请参考图1和图6，水冷装置32包括水冷泵体321、第一循环水管322、第二循环水管323、第三循环水管324、第四循环水管325以及第五循环水管326。水冷泵体321连接有一主回水管327以及一主出水管328，各循环水管的进水端均与主出水管328相连通，各循环水管的出水端均与主回水管327相连通。第一循环水管322、第二循环水管323、第三循环水管324、第四循环水管325以及第五循环水管326相互独立工作。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。