一种氮化铝生产用坩埚的制作方法

文档序号:14919705发布日期:2018-07-11 03:06阅读:447来源:国知局

本实用新型涉及一种坩埚,具体涉及一种氮化铝生产用坩埚。



背景技术:

随着电子集成技术的快速发展,氮化铝成为目前超大规模集成电路基板的首选材料。保证氮化铝基板高导热率的关键是制备出粒径均匀细小、高纯度的氮化铝粉体。目前在,在氮化铝粉体制备过程中,一般选用坩埚埚体采用组合-拆分的方式,埚体由埚底与埚体组成,结构简单易于实现,又可多次重复利用,但这种结构坩埚堆叠时,上层坩埚埚底直接支撑在下层坩埚埚体,结构不稳定,上层坩埚易滑落,且堆叠坩埚数量少。



技术实现要素:

为解决上述问题,本实用新型提出一种氮化铝生产用坩埚,设计合理,结构简单,使用方便,堆叠结构稳定,上层坩埚不易滑落,且堆叠数量增大一倍。

本实用新型技术方案:

一种氮化铝生产用坩埚,它包括埚体、埚底以及基座;所述埚底上下两侧中间位置对称设置有方形凸起;所述埚体中间设置有方形通孔,且通孔与埚底凸起外形尺寸一致;所述基座上端面设置有方槽,且方槽与埚底凸起外形尺寸一致;所述埚体、埚底、基座相互之间组合、拆分式连接,埚底一侧凸起嵌插在埚底通孔内,埚底另一侧凸起嵌插在基座方槽内;所述基座宽度大于埚底宽度大于埚体宽度。

所述若干埚底与若干埚体之间相互交替堆叠,埚底两侧凸起分别嵌插在上层埚体、下层埚体内。

所述埚底与埚体之间密封接触,防止浆料从缝隙流出。

所述基座为正六棱台,支承结构更加稳定,特别是在坩埚堆叠时,不易造成上层埚体、埚底倒落。

所述埚底与埚体采用氮化硼或者石墨材质,氮化硼或者石墨均拥有高热传导、高热容量、低热膨胀、抗热冲击等特性。

本实用新型优点是,设计合理,结构简单,坩埚采用组合、拆分设计,使用方便;利用对称设置在埚底上下两侧凸起与埚体通孔之间嵌插连接,使得若干坩埚之间堆叠结构稳定,上层坩埚不易滑落,且堆叠数量增大一倍。

附图说明

图1是本实用新型结构主视图。

图2是本实用新型结构俯视图。

图3是图2 A-A半剖示意图。

图4是本实用新型埚底示意图。

图5是本实用新型堆叠示意图。

图6是本实用新型堆叠半剖示意图。

具体实施方式

参照附图1-6,一种氮化铝生产用坩埚,它包括埚体01、埚底02以及基座03;所述埚底02上下两侧中间位置对称设置有方形凸起04、凸起05;所述埚体01中间设置有方形通孔09,且通孔09与埚底凸起04、凸起05外形尺寸一致;所述基座03上端面设置有方槽06,且方槽06与埚底凸起04、凸起05外形尺寸一致;所述埚体01、埚底02、基座03相互之间组合、拆分式连接,埚底一侧凸起04嵌插在埚底通孔09内,埚底另一侧凸起05嵌插在基座方槽06内;所述基座03宽度大于埚底02宽度大于埚体01宽度。

所述若干埚底02与若干埚体01之间相互交替堆叠,埚底两侧凸起04、凸起05分别嵌插在上层埚体07、下层埚体08内。

所述埚底02与埚体01之间密封接触,防止浆料从缝隙流出。

所述基座03为正六棱台,支承结构更加稳定,特别是在坩埚堆叠时,不易造成上层埚体01、埚底02倒落。

所述埚底02与埚体01采用氮化硼或者石墨材质,氮化硼或者石墨均拥有高热传导、高热容量、低热膨胀、抗热冲击等特性。

本实用新型优点是,设计合理,结构简单,坩埚采用组合、拆分设计,使用方便;利用对称设置在埚底上下两侧凸起04、凸起05与埚体通孔09之间嵌插连接,使得若干坩埚之间堆叠结构稳定,上层坩埚不易滑落,且堆叠数量增大一倍。

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