一种金属面板部件洗净吹干专用装置的制作方法

本实用新型涉及一种洗净吹干治具，具体说是一种半导体设备化学气相沉积装置金属面板部件洗净吹干装置。

背景技术：

目前在对半导体化学气相沉积设备装置金属面板部件进行洗净再生时，通过药液浸泡与纯水清洗后，需要吹干部件表面以及内孔中的水分，目前方法是使用手工吹扫，人工手持压缩空气枪对着部件吹干，效率很低，吹干后的表面一致性难以控制，经常会有印痕造成不良返工。

技术实现要素：

为解决现有技术存在的上述问题，本申请提出一种金属面板部件洗净吹干专用装置，代替手工吹干作业，缩短作业时间，提高生产效率与产品质量。

为实现上述目的，本申请的技术方案为：一种金属面板部件洗净吹干专用装置，包括固定支撑架，所述固定支撑架从上至下依次设有上吹干盘、部件放置腔、下吹干盘，所述上吹干盘包括固定盘a、进气管道a，所述进气管道a螺旋排布于固定盘a中，所述固定盘a插接在固定支撑架的槽孔中；所述下吹干盘包括固定盘b、进气管道b、螺栓，所述进气管道b螺旋排布于固定盘b中，所述固定盘b通过螺栓连接在固定支撑架上；所述部件放置腔包括放置腔体，固定框，所述放置腔体通过固定框与固定支撑架相连，在进气管道a的下表面设有出气孔a，在进气管道b的上表面设有出气孔b，所述出气孔a与出气孔b交错设置。

进一步的，所述固定支撑架，包括支撑杆与横向连接杆，相邻两个支撑杆之间设有横向连接杆，在支撑杆顶端设有用于插接固定盘a的槽孔。

进一步的，进气管道a与进气管道b均使用塑料软管。

进一步的，进气管道a上的出气孔a孔径大小相同，等间距分布。

进一步的，进气管道b上的出气孔b孔径大小相同，等间距分布。

更进一步的，在放置腔体与固定框之间设有固定块。

本实用新型由于采用以上技术方案，能够取得如下的技术效果：本装置采用上下双层设计，可同时吹干部件上下表面，其结构简单，操作方便，成本较低，缩短作业时间，提高生产效率与产品质量，降低工人劳动强度。

附图说明

图1为一种金属面板部件洗净吹干专用装置结构示意图；

图2为一种金属面板部件洗净吹干专用装置俯视图；

图3为图2的A-A剖视图；

图中序号说明：1、进气管道a；2、固定盘a；3、固定框；4、固定盘b；5、支撑杆；6、横向连接杆；7、放置腔体；8、槽孔；9、固定块；10、进气管道b。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细的描述：以此为例对本申请做进一步的描述说明。

如图1-3所示，本实施例提供一种吹干装置，是专门为英特尔公司使用的半导体设备化学气相沉积装置金属面板部件洗净吹干的专用装置，具体包括固定支撑架，所述固定支撑架从上至下依次设有上吹干盘、部件放置腔、下吹干盘，所述上吹干盘包括固定盘a、进气管道a，所述进气管道a螺旋排布于固定盘a中，所述固定盘a插接在固定支撑架的槽孔中；所述下吹干盘包括固定盘b、进气管道b、螺栓，所述进气管道b螺旋排布于固定盘b中，所述固定盘b通过螺栓连接在固定支撑架上；所述部件放置腔包括放置腔体，固定框，所述放置腔体通过固定框与固定支撑架相连，在进气管道a的下表面设有出气孔a，在进气管道b的上表面设有出气孔b，所述出气孔a与出气孔b交错设置。

上述装置的工作方法为：将固定支撑架连接固定后，通过螺栓将下吹干盘连接固定，通过固定框将放置腔体连接固定，将待吹干部件放置在放置腔体后，放置上吹干盘，将压缩空气接入进气管道a与进气管道b，经相应管道表面的出气孔排除，作用于部件表面，吹干水分。上下双层设计，可同时吹干部件上下表面。吹干后，取下上吹干盘，更换待吹干部件，即可重复作业。

以上所述，仅为本实用新型创造较佳的具体实施方式，但本实用新型创造的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型创造披露的技术范围内，根据本实用新型创造的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型创造的保护范围之内。