太阳能集热管的制造方法与流程

本发明涉及在玻璃管的内表面以及外表面具有防反射膜的太阳能集热管的制造方法。

背景技术：

公知一种利用太阳能进行发电的太阳能发电装置。在该太阳能发电装置中，一般通过镜子等聚光单元对太阳光进行聚光，通过该聚光了的太阳光对太阳能集热管内的热介质加热之后，通过发电机利用该加热了的热介质的热能，进行发电。太阳能集热管具有双层管构造，由可供热介质流通的金属管和、玻璃管形成。

对于具有这种构造的太阳能集热管的玻璃管，为了使太阳光高效透过，要求透光性较高。一般而言，当太阳光向玻璃管入射时，由于到达玻璃管的太阳光(100％)中，通过玻璃管的外表面以及内表面分别约有4％的光被反射，所以在太阳能集热管的玻璃管透过的太阳光约有92％。

因此，提出了一种方法，通过在玻璃管的外表面和内表面设置防反射膜，减少玻璃管的太阳光反射。作为在玻璃管的表面对防反射膜成膜的方法，例如存在在专利文献1中公开的方法。在专利文献1中，当处于将液体涂料涂覆于玻璃管的外表面的工序时，玻璃管被固定于铅垂配置的涂布槽内。接下来，从在涂布槽的底部罩形成的注入口向涂布槽内注入液体涂料。在涂布槽内，向涂布槽的内周面与玻璃管的外周面之间填充液体涂料，在玻璃管的外表面涂覆液体涂料。而且，若将液体涂料涂覆于玻璃管的外表面的工序完成，则液体涂料从在涂布槽的底部罩形成的排出口排出。

专利文献1：日本特表2015－528887号公报

然而，在防反射膜设定所希望的厚度，若和所希望的厚度相比，厚度过厚或者过薄，则防反射膜的防止反射功能降低。因此，优选防反射膜遍及整体形成为所希望的厚度。但是，在专利文献1公开的方法中，因为向涂布槽注入液体涂料的注入速度以及排出速度越快，因液面的变动等原因，膜的厚度越容易产生偏差，所以无法加快注入速度以及排出速度，而且必须遍及玻璃管的轴线方向整体成膜，成膜非常需要时间。在玻璃管的内表面形成防反射膜时，该问题也相同。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供能够缩短防反射膜的成膜所需的时间的太阳能集热管的制造方法。

用于解决上述问题点的太阳能集热管的制造方法中，上述太阳能集热管具备：圆筒状的金属管，其可供热介质流通；以及圆筒状的玻璃管，其配置于上述金属管的外周侧，在上述玻璃管的内表面以及外表面具有防反射膜，上述太阳能集热管的制造方法的主旨在于，具有：内周成膜工序，在该工序中，在上述玻璃管的内表面形成上述防反射膜；以及外周成膜工序，在该工序中，在上述玻璃管的外表面形成上述防反射膜，上述内周成膜工序具有：内周涂覆工序，在该工序中，以上述玻璃管的中心轴线成为水平的状态，一边维持上述玻璃管，一边将上述中心轴线作为旋转轴线，使上述玻璃管旋转，通过上述玻璃管内的涂料在该玻璃管的内表面涂覆上述涂料，形成涂膜；涂料排出工序，在该工序中，在上述内周涂覆工序后，在上述玻璃管的周向位置固定的状态下，以上述玻璃管的轴线方向的一端成为下端的方式使上述玻璃管倾斜，将残留在上述玻璃管内的上述涂料向上述玻璃管外排出；以及干燥工序，在该工序中，干燥通过上述内周涂覆工序涂覆的涂膜，上述外周成膜工序具有：外周涂覆工序，在该工序中，在以上述玻璃管的中心轴线成为水平的状态维持着上述玻璃管的状态下，一边遍及上述玻璃管的轴线方向整体，使外表面的一部分与存积于存积部的上述涂料接触，一边将上述中心轴线作为旋转轴线，使上述玻璃管旋转，在外表面涂覆上述涂料形成涂膜；上拉工序，在该工序中，在上述外周涂覆工序后，在上述玻璃管的周向位置固定的状态下，一边将上述玻璃管在上述轴线方向上的一端侧作为中心，使上述玻璃管倾斜，一边从存积于上述存积部的上述涂料上拉上述玻璃管；以及干燥工序，在该工序中，干燥通过上述外周涂覆工序涂覆的涂膜，以在上述涂料排出工序中从上述玻璃管排出上述涂料时上述涂料流动的部分、和在上述上拉工序中从上述涂料上拉上述玻璃管时上述涂料接触的部分位于上述玻璃管的周向中的半周以内的方式，进行上述内周成膜工序以及上述外周成膜工序。

据此，在内周成膜工序以及外周成膜工序中，使玻璃管旋转，涂覆涂料。由于玻璃管的周长比玻璃管朝向轴线方向整体的长度短，所以和沿玻璃管的轴线方向涂覆涂料的情况相比，能够缩短涂料的涂覆所需的时间。

另外，内周成膜工序中的涂料排出工序以涂料成为笔直的流的方式一边固定玻璃管的周向位置一边使其倾斜来进行，干燥工序通过维持着为了排出而使玻璃管倾斜的状态来进行。因此，在形成于玻璃管的内表面的防反射膜，且在因为从玻璃管排出涂料从而涂料流动的部分，形成有线状且和其他部分厚度不同的部分。

另外，外周成膜工序中的上拉工序通过一边固定处于水平状态的玻璃管的周向位置一边使其缓缓倾斜而使涂料沿玻璃管的轴线方向缓缓拉离来进行，干燥工序在维持着为了上拉而使玻璃管倾斜的状态下进行。因此，在形成于玻璃管的外表面的防反射膜，且在从涂料上拉玻璃管时涂料接触的部分，形成有线状且和其他部分厚度不同的部分。

但是，通过内周成膜工序形成的厚度的不同部分、和通过外周成膜工序形成的厚度的不同部分位于玻璃管的半周以内。而且，通过在太阳能集热管中，防反射膜中的厚度的不同部分位于玻璃管的反聚光面，即便在防反射膜形成厚度的不同部分，也几乎不影响聚光功能。因此，能够几乎不降低防止反射功能地缩短防反射膜的成膜所需的时间。

另外，针对太阳能集热管的制造方法，优选以在上述涂料排出工序中从上述玻璃管排出上述涂料时上述涂料流动的部分、和在上述上拉工序中从上述涂料上拉上述玻璃管时上述涂料接触的部分隔着上述玻璃管在径向对置的方式，进行上述内周成膜工序以及上述外周成膜工序。

据此，在防反射膜中，能够将厚度的不同部分形成于防反射膜的周向的一个部位，例如，和厚度的不同部分在防反射膜的周向形成于两个部位的情况相比，能够抑制防止反射功能降低。

另外，针对太阳能集热管的制造方法，也可以在上述内周涂覆工序中，使上述玻璃管旋转360度。

据此，若在内周涂覆工序中，在涂料存积于玻璃管内的状态下，使玻璃管旋转360度，则在玻璃管的内表面整体形成涂膜，并且涂料成为再次存积于在使玻璃管旋转之前涂料存积的位置的状态。而且，若固定玻璃管的周向位置将涂料从玻璃管排出，则在防反射膜，且仅在周向的一个部位，形成有厚度和其他部分不同的部分。因此，例如，和厚度的不同部分在防反射膜的周向形成于两个部位的情况相比，能够抑制防止反射功能降低。

另外，针对太阳能集热管的制造方法，也可以在上述外周涂覆工序中，使上述玻璃管旋转360度。

据此，若在外周涂覆工序中，在涂料与玻璃管的外周面接触的状态下，使玻璃管旋转360度，则在使玻璃管旋转之前与涂料接触的部分、和在上拉工序时涂料从玻璃管离开的部分相同，在防反射膜，且仅在周向的一个部位，形成有厚度和其他部分不同的部分。因此，例如，和厚度的不同部分在防反射膜的周向形成于两个部位的情况相比，能够抑制防止反射功能降低。

【发明的效果】

根据本发明，能够缩短防反射膜的成膜所需的时间。

附图说明

图1是实施方式的太阳能集热管的沿轴线方向的剖面即侧剖视图。

图2是实施方式的太阳能集热管的沿径向的剖面即纵剖视图。

图3是表示在玻璃管安装有密封部件的状态的侧剖视图。

图4中的(a)是表示涂料的注入工序的侧剖视图。

图4中的(b)是表示开口部密封的状态的侧剖视图。

图5中的(a)是表示注入有涂料的状态的纵剖视图。图5中的(b)是表示将玻璃管的中心轴线作为旋转中心旋转了的状态的纵剖视图。图5中的(c)是表示使玻璃管旋转了360度的状态的纵剖视图。

图6是表示涂料排出工序的侧剖视图。

图7是表示干燥工序的侧剖视图。

图8中的(a)是表示外周涂覆工序的侧剖视图。图8中的(b)是表示外周涂覆工序的纵剖视图。

图9中的(a)是表示外周涂覆工序的侧视图。图9中的(b)是表示上拉工序的侧视图。图9中的(c)是表示干燥工序的侧视图。

具体实施方式

以下，参照图1～图9说明将太阳能集热管的制造方法具体化了的一个实施方式。

如图1所示，太阳能集热管10具有：作为金属管的不锈钢管11，可供热介质流通；以及玻璃管21，其以在与不锈钢管11之间形成环状真空空间12的状态覆盖不锈钢管11的外周。另外，太阳能集热管10具备吸收不锈钢管11与玻璃管21的热膨胀差的金属制(在本实施方式中为不锈钢(sus))的波纹管16。

玻璃管21形成为比不锈钢管11短。在不锈钢管11，且在从玻璃管21的端部离开规定量的位置设置有凸缘15。不锈钢管11、凸缘15以及波纹管16为不锈钢(sus)制。波纹管16在一端与凸缘15的外周部通过焊接连接，在另一端经由科瓦铁镍钴合金制环17与玻璃管21连接。

太阳能集热管10具备吸附在环状真空空间12存在的自由氢的吸气材料19。收容保持吸气材料19的吸气保持部20以位于波纹管16的内侧的状态设置。

如图2所示，太阳能集热管10具备作为聚光单元的曲面镜14。曲面镜14使太阳光s聚光于太阳能集热管10。曲面镜14在沿玻璃管21的径向的剖面观察下呈抛物线状。曲面镜14的内表面(太阳能集热管10侧的表面)成为镜面，在其焦点位置支承有不锈钢管11。将玻璃管21的表面中的通过曲面镜14聚光的太阳光s通过的部分设为聚光面21a，将玻璃管21的表面中的通过曲面镜14聚光的太阳光s几乎不通过的部分设为反聚光面21b。

通过曲面镜14聚光的太阳光s通过玻璃管21的表面中的下半部。因此，聚光面21a可以至少设置于玻璃管21的半周以内(在本实施方式中为下侧半周)。在本实施方式中，将比通过不锈钢管11的上端附近并且通过曲面镜14的各端部的不锈钢管11的切线t靠下侧设为聚光面21a，将比切线t靠上侧设为反聚光面21b。虽然太阳光s直接通过反聚光面21b，但通过反聚光面21b的太阳光s对集热功能几乎没有影响。

如图2的放大图所示，玻璃管21在内表面具备第一防反射膜22，在外表面具备第二防反射膜23。第一防反射膜22可以覆盖玻璃管21的聚光面21a。因为聚光面21a可以至少设置于玻璃管21的下侧半周以内，所以第一防反射膜22可以至少覆盖玻璃管21的下侧半周。在本实施方式中，将第一防反射膜22不仅设置于下侧半周，而且设置于玻璃管21的内表面整体。

第一防反射膜22是具有小鳝鱼孔的二氧化硅膜。这里，小鳝鱼孔是指具有2nm～50nm的直径的细孔。由于第一防反射膜22在透光性上优异，另一方面，细孔壁为非晶体状，所以机械强度较小，和中空二氧化硅膜比较，具有对外部环境的耐久性较低这一特性。

优选第一防反射膜22的气孔率为30％～50％。通过控制成这种气孔率，能够提高第一防反射膜22的透光率。作为第一防反射膜22的厚度，不特别限定，优选为80nm～200nm。通过控制成这种厚度，能够提高第一防反射膜22的透光率。另外，优选第一防反射膜22中，厚度的偏差被抑制，处于均匀的厚度。

第一防反射膜22能够通过溶胶-凝胶反应形成。在溶胶-凝胶反应中，通过将作为溶胶反应液的涂料涂覆于玻璃管21的内表面使其干燥，形成第一防反射膜22。涂料一般包含二氧化硅前体物质、有机溶剂、催化剂、水等。作为二氧化硅前体物质，不特别限定，举出四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、四丙氧基硅烷等烷氧基硅烷等。它们能够单独或者混合两种以上来使用。

作为溶剂，不特别限定，举出甲醇、乙醇、2－丙醇、1－丙醇等酒精。它们能够单独或者混合两种以上来使用。作为催化剂，不特别限定，举出盐酸、乙酸、硝酸等酸、氢氧化钠、氨等碱。它们能够单独或者混合两种以上来使用。

接下来，说明第二防反射膜23。第二防反射膜23可以覆盖玻璃管21的聚光面21a。因为聚光面21a可以至少设置于玻璃管21的半周以内(在本实施方式中为下侧半周)，所以第二防反射膜23可以至少覆盖玻璃管21的下侧半周。在本实施方式中，将第二防反射膜23不仅设置于下侧半周，而且设置于玻璃管21的外表面整体。

第二防反射膜23是将中空二氧化硅粒子作为主体的膜。这里，中空二氧化硅粒子是指在内部具有空间的二氧化硅粒子。虽然中空二氧化硅膜和作为第一防反射膜22的介孔二氧化硅膜相比，透光性稍差，但由于中空二氧化硅粒子规则地结合，所以机械强度较大，和介孔二氧化硅膜比较，具有对外部环境的耐久性较高这一特性。

第二防反射膜23能够通过溶胶-凝胶反应形成。在溶胶-凝胶反应中，通过将包含中空二氧化硅溶胶、硅化合物、金属螯合物等的溶胶反应液即涂料涂覆于玻璃管21的外表面使其干燥，能够形成第二防反射膜23。作为用作涂料的硅化合物，举出四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、四丙氧基硅烷等硅烷偶联剂。它们能够单独或者混合两种以上来使用。

作为用作涂料的金属螯合物，举出具有乙酰丙酮等双齿配体的钛、锆、铝、锡、铌、钽或者铅的化合物。它们能够单独或者混合两种以上来使用。作为用作分散溶液的有机溶剂，举出甲醇、乙醇、2－丙醇、1－丙醇等酒精。它们能够单独或者混合两种以上来使用。

构成第二防反射膜23的中空二氧化硅粒子的平均粒径不特别限定，优选为10nm～100nm。通过控制成这种平均粒径，能够提高第二防反射膜23的透光率。

第二防反射膜23的气孔率不特别限定，优选为20％～40％。通过控制成这种气孔率，能够提高玻璃管21的透光率。第二防反射膜23的厚度不特别限定，优选为80nm～200nm。通过控制成这种厚度，能够提高玻璃管21的透光率。另外，优选第二防反射膜23中，厚度的偏差被抑制，处于均匀的厚度。

接下来，说明在玻璃管21的内表面形成第一防反射膜22的内周成膜工序以及在玻璃管21的外表面形成第二防反射膜23的外周成膜工序。

首先，说明内周成膜工序。

内周成膜工序具有：注入工序，在该工序中，向玻璃管21内注入涂料；内周涂覆工序，在该工序中，将涂料涂覆于玻璃管21的内表面形成涂膜；涂料排出工序，在该工序中，将残留在玻璃管21内的涂料向玻璃管21外排出；以及干燥工序，在该工序中，干燥通过内周涂覆工序涂覆的涂膜。

如图3所示，在内周成膜工序中，使用密封玻璃管21的轴线方向的两端开口的密封部件30。各密封部件30具备在厚度方向贯通的开口部30a。开口部30a能够通过密封栓31关闭，并且能够通过取下密封栓31而开放。

如图4中的(a)所示，在注入工序中，以玻璃管21的中心轴线l成为水平的状态保持玻璃管21。然后，使一方的密封部件30的开口部30a开放。此时，以开口部30a位于正下方的方式配置玻璃管21以及密封部件30。然后，从开放的开口部30a向玻璃管21内静静地注入用于形成第一防反射膜22的涂料29。此时，抑制所注入的涂料29向玻璃管21的周向扩展，从而涂料29笔直地流动。

于是，如图4中的(b)所示，在玻璃管21的最下部，涂料29遍及玻璃管21的轴线方向整体存积。之后，通过密封栓31密封为了注入涂料29而开放的开口部30a。

接下来，进行内周涂覆工序。

如图5中的(a)～(c)所示，在内周涂覆工序中，一边维持玻璃管21的中心轴线l成为水平的状态，一边将中心轴线l作为旋转轴线使玻璃管21旋转360度。此时，以存积的涂料29的液面不波动的方式使玻璃管21静静地旋转。于是，玻璃管21的内表面通过涂料29的存积的部分，在玻璃管21的内表面整体涂覆涂料29，遍及玻璃管21的周向整体形成涂膜29a。而且，若玻璃管21旋转360度，则在旋转之前存积有涂料29的地方再次位于正下方，残留的涂料29成为存积于玻璃管21的最下部的状态。

接下来，进行涂料排出工序。

如图6所示，在涂料排出工序中，首先，从一方的密封部件30取下密封栓31，使开口部30a开放。接下来，以开放的开口部30a即玻璃管21的轴线方向一端成为下端的方式，使玻璃管21倾斜而使玻璃管21的中心轴线l相对于水平倾斜。此时，固定玻璃管21的周向位置，使玻璃管21以不旋转的状态倾斜。于是，当残留在玻璃管21内的涂料29从玻璃管21的上端侧朝向下端在涂膜29a上成为笔直的流而流动时，从开口部30a向玻璃管21外排出。

由于在排出涂料29之后的玻璃管21内，至涂料29被排出为止，涂料29处于存积于涂膜29a上的状态，所以涂膜29a中的涂料29流动的部分和其他部分相比，涂膜29a的厚度较厚。

接下来，进行干燥工序。

如图7所示，在涂料排出工序中保持着玻璃管21倾斜的状态下，并且在玻璃管21的周向位置固定的状态下，从另一方的密封部件30也取下密封栓31，将玻璃管21的轴线方向两端开放。然后，从上端侧的开口部30a将热风n送入玻璃管21内，使在玻璃管21的内表面形成的涂膜29a干燥。若涂膜29a干燥，则形成第一防反射膜22。

如图2的放大图或者图7所示，在所形成的第一防反射膜22，且在涂料排出工序中涂料29流过的部分，形成有和其他部分相比厚度较厚的膜厚部22a。膜厚部22a遍及玻璃管21的轴线方向整体直线状延伸。

接下来，说明外周成膜工序。

外周成膜工序具有：外周涂覆工序，在该工序中，使玻璃管21与存积于存积部的涂料接触，在玻璃管21的外表面涂覆涂料；上拉工序，在该工序中，从存积于存积部的涂料上拉玻璃管21；以及干燥工序，在该工序中，干燥通过外周涂覆工序涂覆的涂膜。

如图8中的(a)所示，在外周成膜工序中，首先，通过密封部件30密封玻璃管21的轴线方向的两端开口。虽然密封部件30和在内周成膜工序中所使用的密封部件相同，但开口部30a通过密封栓31密封。此外，也可以不使用具备开口部30a的密封部件30，而使用不具备开口部30a的密封部件30。

接下来，以玻璃管21的中心轴线l成为水平的状态维持玻璃管21。然后，使玻璃管21朝向存积有涂料29的存积部41移动，遍及玻璃管21的轴线方向整体，使玻璃管21的外表面的一部分与涂料29接触。这里，如图8中的(b)所示，在涂料29与玻璃管21的外表面接触时，在内周成膜工序中形成的第一防反射膜22的膜厚部22a位于正下方。

如图9中的(a)所示，在外周涂覆工序中，将玻璃管21的中心轴线l作为旋转轴线，使玻璃管21旋转360度。此时，以存积于存积部41的涂料29的液面不波动的方式使玻璃管21静静旋转。于是，如图9中的(b)所示，在玻璃管21的外表面整体涂覆涂料29，形成涂膜29a。然后，若玻璃管21旋转360度，则在旋转之前与涂料29接触的地方位于正下方，再次与涂料29接触。

接下来，进行上拉工序。

在上拉工序中，首先，在玻璃管21的轴线方向一端成为下端并且固定玻璃管21的周向位置而使其不旋转的状态下，从轴线方向另一端上拉玻璃管21，使玻璃管21的中心轴线l相对于水平倾斜。为了不使玻璃管21旋转，在玻璃管21的内表面形成的膜厚部22a和当上拉玻璃管21时涂料29接触的部分位于玻璃管21的内周以内。然后，随着玻璃管21被上拉，从玻璃管21的外表面沿轴线方向拉离涂料29。

此时，随着玻璃管21被上拉，涂料29顺序地从玻璃管21的外表面离开。因此，能够抑制涂料29成为液滴而从玻璃管21的外表面滴下的情况。而且，若从涂料29上拉玻璃管21的轴线方向一端，则遍及玻璃管21的轴线方向整体从涂料29被上拉。

这里，在从涂料29上拉之后的玻璃管21的外表面中从涂料29上拉时涂料29接触的部分和其他部分相比，涂料29减少，涂膜29a的厚度较薄。

接下来，进行干燥工序。

如图9中的(c)所示，在上拉工序中保持着玻璃管21倾斜的状态下，且在保持着玻璃管21的周向位置固定的状态下，配置玻璃管21，使位于玻璃管21的外侧的涂膜29a自然干燥。而且，若涂膜29a干燥，则形成第二防反射膜23。

在第一防反射膜22以及第二防反射膜23干燥后，将玻璃管21配置在高温环境下规定时间，进行将第一防反射膜22以及第二防反射膜23向玻璃管21烧结。

如图2的放大图或者图9中的(c)所示，在第二防反射膜23，且在上拉工序中涂料29从玻璃管21拉离的部分，形成有和其他部分相比厚度较薄的膜薄部23a。膜薄部23a遍及玻璃管21的轴线方向整体直线状延伸。

第一防反射膜22的膜厚部22a和第二防反射膜23的膜薄部23a分别在玻璃管21的周向上仅在一个部位形成为条纹状延伸的形状。另外，在玻璃管21的径向上隔着玻璃管21对置的位置，形成有膜厚部22a和膜薄部23a。

通过上述内周成膜工序形成有第一防反射膜22并且通过外周成膜工序形成有第二防反射膜23的玻璃管21以膜厚部22a以及膜薄部23a位于反聚光面21b的方式设置于太阳能集热管10。具体而言，以膜厚部22a以及膜薄部23a位于玻璃管21的上端的方式设置有玻璃管21。

根据上述实施方式，能够获得以下那样的作用及效果。

(1)在内周成膜工序中，使封入有涂料29的玻璃管21旋转，在玻璃管21的内表面形成涂膜29a，在外周成膜工序中，在玻璃管21与涂料29接触的状态下，使玻璃管21旋转，在外表面形成涂膜29a。因此，当和铅垂地配置玻璃管21来涂布涂料29的情况相比时，玻璃管21的周长比朝向轴线方向的长度短，因此能够缩短成膜所需的时间。

(2)虽然在涂料排出工序中从玻璃管21内排出涂料29时，以及在上拉工序中从涂料29上拉玻璃管21时，形成膜厚部22a、膜薄部23a，但使膜厚部22a以及膜薄部23a位于玻璃管21的反聚光面21b。因此，即便形成了膜厚部22a以及膜薄部23a，也几乎不影响聚光功能。因此，即便是形成了膜厚部22a以及膜薄部23a的制造方法，太阳能集热管10的功能仍不降低，能够缩短太阳能集热管10的成膜所需的时间。

(3)在内周涂覆工序中，使玻璃管21旋转了360度。因此，在使玻璃管21旋转之前存积有涂料29的部分、和在涂料排出工序中涂料29流动的部分相同，仅在第一防反射膜22的周向的一个部位形成膜厚部22a。因此，例如，和膜厚部22a在周向形成于两个部位的情况相比，能够减少防止反射功能降低的部位。

(4)在外周涂覆工序中，使玻璃管21旋转了360度。因此，在使玻璃管21旋转之前与涂料29接触的部分、和在上拉工序中涂料29从玻璃管21拉离的部分相同，仅在第二防反射膜23的周向的一个部位形成膜薄部23a。因此，例如，和膜薄部23a在周向形成于两个部位的情况相比，能够减少防止反射功能降低的部位。

(5)在外周成膜工序中，与在内周成膜工序中形成的膜厚部22a对应地形成有膜薄部23a。因此，在径向隔着玻璃管21，膜厚部22a和膜薄部23a形成在对置的位置。因此，能够将膜厚部22a以及膜薄部23a形成于玻璃管21的周向的一个部位。例如，和膜厚部22a以及膜薄部23a形成于周向的不同位置的情况相比，能够减少防止反射功能降低的部位。

(6)在内周涂覆工序以及外周涂覆工序中，使玻璃管21旋转将涂料29涂覆于玻璃管21。因此，涂料29的液面不容易摇动，能够抑制涂膜29a的厚度产生偏差。

此外，上述实施方式也可以如以下那样变更。

○在内周涂覆工序中，玻璃管21也可以在180度以上359度以下的范围旋转。此时，使玻璃管21旋转的角度越是比359度小，在涂料排出工序时涂料29流动的部分形成的位置越是远离在使玻璃管21旋转之前存积有涂料29的部分。但是，由于膜厚部22a位于玻璃管21的反聚光面21b，所以几乎不影响防止反射功能。

○在外周涂覆工序中，玻璃管21也可以在180度以上359度以下的范围旋转。此时，使玻璃管21旋转的角度越是比359度小，在上拉工序时涂料29流下的部分形成的位置越是远离在使玻璃管21旋转之前与涂料29接触的部分。但是，由于膜薄部23a位于玻璃管21的反聚光面21b，所以几乎不影响防止反射功能。

○在内周涂覆工序以及外周涂覆工序中，也可以在任一工序中使玻璃管21旋转360度，在另一工序中使玻璃管21在180度以上359度以下的范围旋转。

○在实施方式中，虽然在形成有第一防反射膜22之后，形成有第二防反射膜23，但不限定于此。也可以一边在外周成膜工序中干燥玻璃管21的外侧一边进行内周成膜工序。

此时，外周成膜工序中的干燥工序通过自然干燥进行。因此，当通过内周成膜工序形成第一防反射膜22时，玻璃管21不会因为干燥工序而振动，对形成第一防反射膜22没有影响。因此，能够同时进行外周成膜工序的一部分和内周成膜工序，能够缩短防反射膜的成膜工序所需的时间。

○只要第一防反射膜22的膜厚部22a和第二防反射膜23的膜薄部23a位于玻璃管21的半周以内，也可以形成于在玻璃管21的周向偏离的位置。

○内周成膜工序中的干燥工序也可以通过输送热风的方法以外的方法来进行，例如，也可以进行对玻璃管21内减压使其干燥的减压干燥。

○外周成膜工序中的干燥工序也可以通过自然干燥以外的方法来进行，例如，也可以通过朝向玻璃管21输送热风使其干燥的方法来进行。

○也可以通过不锈钢以外的金属形成不锈钢管11、波纹管16。

接下来，以下追加叙述根据上述实施方式以及其他例子能够把握的技术思想。

(1)一种太阳能集热管的制造方法，一边在上述外周成膜工序中使上述玻璃管的外侧干燥一边进行上述内周成膜工序。

附图标记说明：

l…中心轴线；10…太阳能集热管；11…作为金属管的不锈钢管；21…玻璃管；22…第一防反射膜；23…第二防反射膜；29…涂料；29a…涂膜；41…存积部。