一种退火炉密封防爆装置的制作方法

1.本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种退火炉密封防爆装置。


背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
3.退火是一种金属热处理工艺，指的是将金属缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却，目的是降低硬度，改善切削加工性，消除残余应力等，为了保护工作人员的安全，人们设计出了多种炉口密封装置防止高温气体泄漏，但这些设计存在一个缺点，就是由于炉中气体温度高，打开过程中密封装置中的气体受热体积快速膨胀，导致密封装置内部压力迅速增大，容易造成爆炸，这就需要增设密封防爆装置，但是普通退火炉的密封防爆装置泄压速度无法调节，泄压时突发的高压高温容易造成危险事故；因此市场急需研制一种退火炉密封防爆装置来帮助人们解决现有的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种退火炉密封防爆装置，以解决上述背景技术中提出的普通退火炉的密封防爆装置泄压速度无法调节的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种退火炉密封防爆装置，包括炉体和密封防爆装置，所述密封防爆装置与炉体固定连接，所述炉体的上方分别安装有第一液压顶和第二液压顶，且第一液压顶和第二液压顶均与炉体固定连接，所述第一液压顶和第二液压顶的上方均安装有连接板，且第一液压顶和第二液压顶均与连接板固定连接，所述连接板的下方安装有拉杆，且拉杆与连接板固定连接，所述密封防爆装置的内部设置有密封头，且密封头与密封防爆装置滑动连接，所述密封头与拉杆固定连接，所述炉体的下方安装有底座，且底座与炉体固定连接。
6.优选的，所述炉体的上方设置有加热室，且加热室与炉体设置为一体结构，所述加热室的内部设置有隔热板，所述隔热板与炉体固定连接，所述隔热板的上方安装有喷火器，且喷火器与隔热板固定连接，所述喷火器的一侧安装有喷火管，且喷火管与喷火器固定连接。
7.优选的，所述炉体的一侧安装有滑杆，且滑杆与炉体固定连接，所述炉体的上方安装有第一电机，且第一电机与炉体固定连接，所述第一电机的后端面上安装有第一减速器，所述第一减速器与第一电机通过联轴器固定连接。
8.优选的，所述滑杆的内侧设置有炉门，且炉门与滑杆滑动连接，所述滑杆的内侧设置有转轴，且转轴与滑杆转动连接，所述转轴的外侧安装有驱动轮，且驱动轮与转轴固定连接，所述第一减速器的前端面上安装有皮带轮，所述皮带轮与驱动轮通过皮带转动连接。
9.优选的，所述转轴的外侧安装有第一齿轮，且第一齿轮与转轴固定连接，所述滑杆的一侧安装有第二齿轮，且第二齿轮与滑杆转动连接，所述第一齿轮和第二齿轮的外侧均设置有链条，且第一齿轮和第二齿轮均与链条咬合连接，所述炉门的前端面上分别安装有第一横板和第二横板，且第一横板和第二横板均与炉门固定连接，所述第一横板和第二横板均与链条固定连接。
10.优选的，所述炉体的前端面上安装有第二电机，且第二电机与炉体固定连接，所述第二电机的后端面上安装有第二减速器，所述炉体的内部设置有转辊，所述转辊的一侧安装有连接轴，且连接轴与转辊固定连接，所述连接轴和第二电机均通过联轴器与第二减速器固定连接，所述转辊的外侧设置有钢带，且钢带与转辊贴合。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.1.该实用新型通过密封防爆装置的设置，密封防爆装置的内部设置有密封头，密封头可将密封防爆装置的出气通道堵住，同时密封头与第一液压顶和第二液压顶通过拉杆和连接板连接，通过第一液压顶和第二液压顶可将密封头从密封防爆装置的出气口处抽出，密封头为类圆锥体，向上移动根据不同上升的高度，可释放不同体积的热量，从而通过移动的高度决定热量释放的速度，从而实现可调节泄压的效果，使得此密封防爆装置使用起来更加的安全，避免危险事故的发生。
13.2.该实用新型通过钢带的设置，钢带可通过转辊而转动，将待退火金属配件放置在钢带上，通过钢带输送至退火炉的内部，再通过钢带输送出来，从而方便金属配件在退火炉内部的输送，提高退火炉的使用便捷性。
附图说明
14.图1为本实用新型的一种退火炉密封防爆装置的正视图；
15.图2为本实用新型的一种退火炉密封防爆装置的剖视图；
16.图3为本实用新型的炉门的正视图。
17.图中：1、炉体；2、底座；3、加热室；4、密封防爆装置；5、第一液压顶；6、连接板；7、第二液压顶；8、拉杆；9、滑杆；10、第一电机；11、第一减速器；12、第一齿轮；13、转轴；14、驱动轮；15、链条；16、第二齿轮；17、炉门；18、第一横板；19、第二横板；20、第二电机；21、第二减速器；22、密封头；23、喷火器；24、喷火管；25、隔热板；26、转辊；27、连接轴；28、钢带。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
19.请参阅图1
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3，本实用新型提供的一种实施例：一种退火炉密封防爆装置，包括炉体1和密封防爆装置4，密封防爆装置4与炉体1固定连接，炉体1的上方分别安装有第一液压顶5和第二液压顶7，且第一液压顶5和第二液压顶7均与炉体1固定连接，第一液压顶5和第二液压顶7的上方均安装有连接板6，且第一液压顶5和第二液压顶7均与连接板6固定连接，连接板6的下方安装有拉杆8，且拉杆8与连接板6固定连接，密封防爆装置4的内部设置有密封头22，且密封头22与密封防爆装置4滑动连接，密封头22与拉杆8固定连接，炉体1的下方
安装有底座2，且底座2与炉体1固定连接。
20.进一步，炉体1的上方设置有加热室3，且加热室3与炉体1设置为一体结构，加热室3的内部设置有隔热板25，隔热板25与炉体1固定连接，隔热板25的上方安装有喷火器23，且喷火器23与隔热板25固定连接，喷火器23的一侧安装有喷火管24，且喷火管24与喷火器23固定连接，喷火器23设置和隔热板25均设置有两个，两个隔热板25之间设置有泄压用的出气孔。
21.进一步，炉体1的一侧安装有滑杆9，且滑杆9与炉体1固定连接，炉体1的上方安装有第一电机10，且第一电机10与炉体1固定连接，第一电机10的后端面上安装有第一减速器11，第一减速器11与第一电机10通过联轴器固定连接，滑杆9设置有两个。
22.进一步，滑杆9的内侧设置有炉门17，且炉门17与滑杆9滑动连接，滑杆9的内侧设置有转轴13，且转轴13与滑杆9转动连接，转轴13的外侧安装有驱动轮14，且驱动轮14与转轴13固定连接，第一减速器11的前端面上安装有皮带轮，皮带轮与驱动轮14通过皮带转动连接，转轴13与两个滑杆9都是通过轴承转动连接。
23.进一步，转轴13的外侧安装有第一齿轮12，且第一齿轮12与转轴13固定连接，滑杆9的一侧安装有第二齿轮16，且第二齿轮16与滑杆9转动连接，第一齿轮12和第二齿轮16的外侧均设置有链条15，且第一齿轮12和第二齿轮16均与链条15咬合连接，炉门17的前端面上分别安装有第一横板18和第二横板19，且第一横板18和第二横板19均与炉门17固定连接，第一横板18和第二横板19均与链条15固定连接，链条15、第一齿轮12和第二齿轮16均设置有两个。
24.进一步，炉体1的前端面上安装有第二电机20，且第二电机20与炉体1固定连接，第二电机20的后端面上安装有第二减速器21，炉体1的内部设置有转辊26，转辊26的一侧安装有连接轴27，且连接轴27与转辊26固定连接，连接轴27和第二电机20均通过联轴器与第二减速器21固定连接，转辊26的外侧设置有钢带28，且钢带28与转辊26贴合，转辊26设置有若干个，转辊26都是通过钢带28相互传动，转动连接的。
25.工作原理：使用时，启动第一电机10，第一电机10将通过第一减速器11减速后驱使皮带轮转动，皮带轮带动驱动轮14转动，驱动轮14通过转轴13带动第一齿轮12转动，第一齿轮12通过链条15和第一横板18拉动炉门17向上移动，从而打开炉门17，炉门17打开后将待退火配件通过输送装置输送到炉体1的门口，启动第二电机20，第二电机20将通过第二减速器21减速后驱使连接轴27转动，连接轴27带动转辊26转动，转辊26带动钢带28转动，从而将配件输送至炉体1的内部，再次启动第一电机10将炉门17关闭，喷火器23将通过喷火管24释放火焰对配件烘烤，进行缓慢的退火工作，当退火工作完成后，进入冷却阶段，启动第一液压顶5和第二液压顶7，第一液压顶5和第二液压顶7将推动连接板6上移，连接板6通过拉杆8带动密封头22上移，密封头22将密封防爆装置4的通气通道打开，从而实现缓慢泄压，防止炉体1内部压力过大而爆炸的现象发生。
26.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制
所涉及的权利要求。