一种新型烧结炉的制作方法

本实用新型涉及石英舟加工技术领域，具体为一种新型烧结炉。

背景技术：

烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结；

石英舟又名石英玻璃，石英玻璃是以含二氧化硅物质，如水晶、硅石，石英玻璃主要用于电光源，半导体，光学新技术等方面，烧结炉是石英舟加工过程中重要的装置，现有的石英舟加工用烧结炉存在以下问题：1.现有的石英舟加工用烧结炉大多结构单一，很多烧结炉都只有简单的熔烧炉，加工完成后因为结构的原因造成不易对其进行存取的问题，2.现有的石英舟加工用烧结炉大多采用的都是暴露式烧槽，炉带脏污导致的el烧结不良和el雾状发黑的问题，3.现有的石英舟加工用烧结炉在加工的过程中通过内部不同的加工层会产出不同的气体，很多气体不能分类就直接对其进行排放，导致了现有烧结炉的生产质量问题。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种新型烧结炉，通过安装了滑动装置、箱体和排气装置，解决了现有的石英舟加工用烧结炉存在以下问题：1.现有的石英舟加工用烧结炉大多结构单一，很多烧结炉都只有简单的熔烧炉，加工完成后因为结构的原因造成不易对其进行存取的问题，2.现有的石英舟加工用烧结炉大多采用的都是暴露式烧槽，炉带脏污导致的el烧结不良和el雾状发黑的问题，3.现有的石英舟加工用烧结炉在加工的过程中通过内部不同的加工层会产出不同的气体，很多气体不能分类就直接对其进行排放，导致了现有烧结炉的生产质量问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种新型烧结炉，包括箱体、柜门、储物槽，第一管道、第二管道、滑动装置、排气装置、加热层、中置层和冷却层，所述箱体的左侧设有第一管道，所述箱体的右侧设有第二管道，所述箱体的外部设有柜门，所述排气装置包括转盘、扇叶和电路，所述箱体的内部设有储物槽，所述储物槽的两侧设有滑动装置，所述滑动装置的内部通过嵌合的方式连接滑块，所述滑块通过嵌合的方式连接固定块，所述固定块通过嵌合的方式连接滑槽。

优选的，所述箱体的内部固定连接加热层，所述加热层的顶部固定连接中置层，所述中置层的顶部固定连接冷却层。

优选的，所述箱体的两侧固定连接排气装置，所述排气装置呈对称分布形式，所述排气装置的内部通过螺纹连接转盘，所述转盘通过焊接的方式连接扇叶，所述扇叶呈平均分布形式，所述排气装置固定连接电路。

优选的，所述排气装置的左侧通过焊接的方式连接第一管道，所述第二管道通过焊接的方式连接排气装置。

优选的，所述储物槽通过嵌合的方式连接滑块，所述储物槽呈对称分布形式。

优选的，所述储物槽的外部通过焊接的方式连接把手，所述把手呈平均分布形式，所述箱体通过嵌合的方式连接柜门。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种新型烧结炉。具备以下有益效果：

(1)、该新型烧结炉，通过滑动装置的内部通过嵌合的方式连接滑块，滑块通过嵌合的方式连接固定块，固定块通过嵌合的方式连接滑槽，在储物槽的两侧安装了滑动装置，主要的有益好处就是在加工完成后便于把箱体内部的石英舟拿出，提高了此装置的实用性和多功能性。

(2)、该新型烧结炉，通过箱体的内部固定连接加热层，加热层的顶部固定连接中置层，中置层的顶部固定连接冷却层，此装置采取柜式烧结方式，减少硅片和外界接触，并且箱体内部的分层明确，提高了对石英舟的加工效率与质量。

(3)、该新型烧结炉，通过箱体的两侧固定连接排气装置，排气装置的内部通过螺纹连接转盘，转盘通过焊接的方式连接扇叶，排气装置固定连接电路，在箱体的两侧安装了排气装置，主要的有益好处就是对分别对各个加工层进行分隔式排气，便于处理内部不同的热气和有机气体。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型整体内部的结构示意图；

图3为本实用新型滑动装置的结构示意图；

图4为本实用新型排气装置的结构示意图。

图中，箱体-1、柜门-2、储物槽-3、第一管道-4、第二管道-5、滑动装置-6、滑块-61、固定块-62、滑槽-63、排气装置-7、转盘-71、扇叶-72、电路-73、加热层-8、中置层-9、冷却层-10、把手-11。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型实施例提供一种技术方案：一种新型烧结炉，包括箱体1、柜门2、储物槽3，第一管道4、第二管道5、滑动装置6、排气装置7、加热层8、中置层9和冷却层10，所述箱体1的左侧设有第一管道4，所述箱体1的右侧设有第二管道5，所述箱体1的外部设有柜门2，所述排气装置7包括转盘71、扇叶72和电路73，所述箱体1的内部设有储物槽3，所述储物槽3的两侧设有滑动装置6，所述滑动装置6的内部通过嵌合的方式连接滑块61，所述滑块61通过嵌合的方式连接固定块62，所述固定块62通过嵌合的方式连接滑槽63，在储物槽3的两侧安装了滑动装置6，主要的有益好处就是在加工完成后便于把箱体1内部的石英舟拿出，提高了此装置的实用性和多功能性。

所述箱体1的内部固定连接加热层8，所述加热层8的顶部固定连接中置层9，所述中置层9的顶部固定连接冷却层10，此装置采取柜式烧结方式，减少硅片和外界接触，并且箱体1内部的分层明确，提高了对石英舟的加工效率与质量。

所述箱体1的两侧固定连接排气装置7，所述排气装置7呈对称分布形式，所述排气装置7的内部通过螺纹连接转盘71，所述转盘71通过焊接的方式连接扇叶72，所述扇叶72呈平均分布形式，所述排气装置7固定连接电路73，在箱体1的两侧安装了排气装置7，主要的有益好处就是对分别对各个加工层进行分隔式排气，便于处理内部不同的热气和有机气体。

所述排气装置7的左侧通过焊接的方式连接第一管道4，所述第二管道5通过焊接的方式连接排气装置7，通过在箱体1的外部安装了第一管道4和第二管道5，主要的有益好处就是对箱体1内部产生的气体进行分类排出，提高此装置的多功能性。

所述储物槽3通过嵌合的方式连接滑块61，所述储物槽3呈对称分布形式，通过在箱体1的内部安装了储物槽3，主要的有益好处不仅可以对其进行分层储存，而且配合滑动装置6对放置物进行存取。

所述储物槽3的外部通过焊接的方式连接把手11，所述把手11呈平均分布形式，所述箱体1通过嵌合的方式连接柜门2，通过在箱体1的外部安装了柜门2，主要的有益好处就是为箱体1提供密封的空间，避免外部灰尘落入箱体1，并且封闭式加工便于热熔工作。

工作原理：在使用此装置时，把此装置与外部的供能系统连接完成后，打开柜门2，把需要加工的石英舟分别放在不同的储物槽3内，然后关闭柜门2，使用外部的控制系统给此装置进行供能，加热层8内部迅速升温对储物槽3内的石英舟进行热加工，放置在中置层9的石英舟会根据外部控制系统设定的供能进行加工，顶部冷却层10则是对热加工的半成品进行降温工作，在加工的过程中需要排气的时候，使用外部的控制系统根据需要分别通过电路73打开不同部位的转盘71，转盘71带动外部的扇叶72开始旋转，扇叶72在旋转的过程中会把箱体1内部的气流抽出，根据加工层来分别产生的有机气体和热气流，并通过第一管道4和第二管道5排出，加工结束后，打开柜门2，拉动把手11，滑动装置6内部的滑块61受力带动储物槽3向箱体1外部移动，把石英舟拿出后进行下一环节的加工。

本实用新型的箱体1、柜门2、储物槽3、第一管道4、第二管道5、滑动装置6、滑块61、固定块62、滑槽63、排气装置7、转盘71、扇叶72、电路73、加热层8、中置层9、冷却层10、把手11，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本实用新型解决的问题是现有的石英舟加工用烧结炉结构简单，功能单一的问题，本实用新型通过上述部件的互相组合，解决了现有的石英舟加工用烧结炉存在以下问题：1.现有的石英舟加工用烧结炉大多结构单一，很多烧结炉都只有简单的熔烧炉，加工完成后因为结构的原因造成不易对其进行存取的问题，2.现有的石英舟加工用烧结炉大多采用的都是暴露式烧槽，炉带脏污导致的el烧结不良和el雾状发黑的问题，3.现有的石英舟加工用烧结炉在加工的过程中通过内部不同的加工层会产出不同的气体，很多气体不能分类就直接对其进行排放，导致了现有烧结炉的生产质量问题。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。