清洁热处理装置的制作方法

本发明涉及在清洁的气氛中加热或冷却被处理物的清洁热处理装置。特别地，本发明以下这一点上具有特征：通过旋转工作台使被处理物旋转，从而能够高效且均匀地加热被处理物，并能够高效且均匀地冷却被加热后的被处理物，并且能够减小热处理装置的设置面积。

背景技术：

以往，在半导体设备、液晶显示设备等的制造工序等中，为了在清洁的气氛中加热或冷却被处理物而使用清洁热处理装置。

在此，作为这样的清洁热处理装置，以往已知有专利文献1～3所示的装置。

而且，在这些专利文献1～3所示的装置中，提出了如下的方案：利用送风装置将由加热器等加热后的气体引导至过滤器并进行净化，使以上述方式加热并净化后的气体经过放置有被处理物的处理室内而循环，从而对所述被处理物进行加热处理，并且，在专利文献3所示的装置中提出如下的方案：除了以上述方式对被处理物进行加热处理之外，还利用送风装置将由冷却器等冷却后的气体引导至过滤器并进行净化，使以上述方式冷却并净化后的气体经过放置有被处理物的处理室内而循环，从而对所述被处理物进行冷却处理。

在此，在上述专利文献1～3所示的任一方清洁热处理装置中，由于仅将被处理物设置在处理室内，因此，如上所述地加热并净化后的气体或冷却并净化后的气体仅从一定的方向吹到设置在处理室内的被处理物，因此，在气体吹到被处理物的上游侧和下游侧时被处理物的温度不同，从而存在无法高效且均匀地加热或冷却被处理物的热处理的问题。

此外，在所述专利文献1～3所示的任一方清洁热处理装置中，由于将处理被处理物的处理室和过滤器横向排列地配置，因此，存在设置这些部件的面积变大，设置清洁热处理装置的设置面积变大的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2004-163014号公报

专利文献2：日本专利特开2005-156089号公报

专利文献1：日本特许第6140264号公报

技术实现要素：

本发明的技术问题在于解决在清洁的气氛中加热或冷却被处理物的清洁热处理装置中的如上所述的问题。

特别地，在本发明的清洁热处理装置中，其技术问题在于，通过旋转工作台使被处理物旋转，从而能够高效且均匀地加热被处理物，并能够高效且均匀地冷却被加热后的被处理物，并且能够减小热处理装置的设置面积。

在本发明的清洁热处理装置中，为了解决上述那样的技术问题，提出一种清洁热处理部，具有上层部、中层部和下层部，在所述中层部设置处理部，将处理用气体从导入部引导至载置于旋转工作台并旋转的被处理物并对其进行处理，并将引导至被处理物后的气体从导出部引导至所述上层部或所述下层部，另一方面，在所述上层部和所述下层部中的任一方设置利用热风用风扇对被加热装置加热后的气体进行送风的加热部，在所述上层部和所述下层部中的另一方设置利用冷风用风扇对被冷却装置冷却后的气体进行送风的冷却部，在使所述加热部和所述冷却部中的任一方运转时，使另一方停止，在所述加热部和所述冷却部中的任一方设置过滤器，将被所述加热装置加热后的气体和被所述冷却装置冷却后的气体中的任一方选择性地引导至过滤器并将其净化，并且将被过滤器净化后的气体引导至所述中层部的处理部的导入部。

而且，如本发明的清洁热处理装置那样，在中层部的处理部设置载置被处理物并使其旋转的旋转工作台，一边使载置于所述旋转工作台的被处理物旋转，一边利用热风用风扇将被加热部的加热装置加热后的气体引导至过滤器并将其净化，在将以上述方式加热并净化后的气体如上所述经过导入部吹到旋转的被处理物并对其加热时，加热并净化后的气体被均匀地吹到旋转的被处理物，被处理物被均匀地加热，或者，利用冷风用风扇将被冷却部的冷却装置冷却后的气体引导至过滤器并将其净化，并使以上述方式冷却并净化后的气体如上所述经过导入部并吹到旋转的被处理物并对其进行冷却时，冷却并净化后的气体被均匀地吹到旋转的被处理物，被处理物被均匀地冷却。

另外，如本发明的清洁热处理装置那样，在位于设置有处理部的所述中层部的上下的上层部和下层部中的任一方设置过滤器，所述过滤器对被加热装置加热后的气体或被冷却装置冷却后的气体进行净化，在将被所述过滤器净化后的气体引导至所述处理部的导入部时，与将处理被处理物的处理部和过滤器横向排列配置的情况相比，能够减小设置这些部件的面积，并能够减小清洁热处理装置的设置面积。

在此，在本发明的清洁热处理装置中，在所述上层部设置利用热风用风扇对被加热装置加热后的气体进行送风的所述加热部，并且设置所述过滤器，另一方面，在所述下层部设置利用冷风用风扇对被冷却装置冷却后的气体进行送风的所述冷却部，并设置从所述冷却部将被冷风用风扇冷却后的气体引导至所述上层部的冷风引导管，能够在所述加热部运转时，利用所述热风用风扇将被所述加热装置加热后的气体引导至所述过滤器，通过所述过滤器将加热的气体净化并将其引导至所述处理部的导入部，另一方面，能够在所述冷却部运转时，利用所述冷风用风扇将被所述冷却装置冷却后的气体从所述冷风引导管引导至设置于所述上层部的所述过滤器，并通过所述过滤器将冷却后的气体净化并将其引导至所述处理部的导入部。

在此，在本发明的清洁热处理装置中，能够在所述处理部的所述导入部设置分散导入构件，所述分散导入构件具有将处理用气体分散引导至载置于旋转工作台并旋转的被处理物的多个孔，并且能够在对引导至被处理物后的气体进行引导的导出部设置分散导出构件，所述分散导出构件使引导至被处理物后的气体分散并将其引导至导出部内。

而且，若在设置于处理部的所述分散导入构件和所述分散导出构件中的至少一个的与旋转工作台相对的部分设置呈圆弧状的凹部，则能够进一步减小将被处理物载置于旋转工作台并使其旋转的处理部的面积，从而能够减小设置清洁热处理装置的设置面积。

另外，在本发明的清洁热处理装置中，能够将所述处理部中的使旋转工作台旋转的旋转装置设置于处理部下的下层部内。这样一来，能够防止如将旋转装置设置在处理部内的情况那样，在处理部内配置利用旋转装置旋转的旋转工作台的位置变成问题、或者在对被处理物进行加热处理或冷却处理的情况下，能够防止旋转装置被加热或被冷却而发生故障。

在本发明的清洁热处理装置中，如上所述，在中层部的处理部设置载置被处理物并使其旋转的旋转工作台，一边使载置于所述旋转工作台的被处理物旋转，一边利用热风用风扇将被加热部的加热装置加热后的气体引导至过滤器并将其净化，并且将以上述方式加热并净化后的气体如上所述经过导入部吹到旋转的被处理物并对其进行加热，因此，加热并净化后的气体被均匀地吹到旋转的被处理物，被处理物被均匀地加热，或者，利用冷风用风扇将被冷却部的冷却装置冷却后的气体引导至过滤器而对其进行净化，并使以上述方式冷却并净化后的气体如上所述经过导入部吹到旋转的被处理物并对其进行冷却，因此，冷却并净化后的气体被均匀地吹到旋转的被处理物，被处理物被均匀地冷却。

另外，在本发明的清洁热处理装置中，如上所述，在位于设置有处理部的中层部的上下的上层部和下层部中的任一方设置过滤器，所述过滤器对被加热装置加热后的气体或被冷却装置冷却后的气体进行净化，将被所述过滤器净化后的气体引导至中层部的处理部的导入部，因此，与将处理被处理物的处理部和过滤器横向排列配置的现有的情况相比，能够减小配置这些部件的面积，并能够减小清洁热处理装置的设置面积。

附图说明

图1是示出在本发明的一个实施方式的清洁热处理装置中，在上层部设置加热部、在中层部设置处理部、在下层部设置冷却部的情况下，使所述上层部、中层部和下层部分离，以理解上述构件的内部结构的示意说明图。

图2是示出在所述实施方式的清洁热处理装置中，利用旋转装置使载置在设置于中层部的处理部的旋转工作台上的被处理物旋转，并将在上层部的加热部中被加热并被过滤器净化后的加热用的处理用气体引导至所述处理部，并对被处理物进行加热处理的状态的示意剖切说明图。

图3是示出在所述实施方式的清洁热处理装置中，利用旋转装置使载置在设置于中层部的处理部的旋转工作台上的被处理物旋转，并利用上层部的过滤器对在下层部的冷却部中被冷却的气体进行净化，并将净化后的冷却用的处理用气体引导至所述处理部，而对被处理物进行冷却处理的状态的示意剖切说明图。

图4是示出在所述实施方式的清洁热处理装置中，在将处理用气体从导入部经过分散导入构件引导至载置在设置于处理部的旋转工作台上的被处理物时，在所述分散导入构件的与旋转工作台相对的部分设置呈圆弧状的凹部的改变例的示意立体图。

符号说明

10：装置主体

11：上搁板

11a：送风口

11b：返回开口部

11c：引导孔

12：下搁板

12a：返回孔

12b：通孔

13：上层部

14：中层部

15：下层部

20：加热部

21：加热装置

22：安装板

23：热风用风扇

30：处理部

31：导入部

32：旋转工作台

33：旋转装置

34：分散导入构件

34a：孔

34b：凹部

35：导出部

36：分散导出构件

36a：孔

40：冷却部

41：返回管

41a：返回分支管

42：返回侧开闭阀

43：冷却装置

44：冷却用风扇

45：冷风引导管

45a：分支冷风引导管

46：输送侧开闭阀

f：过滤器

x：被处理物。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明实施方式的清洁热处理装置进行具体说明。另外，本发明的清洁热处理装置并不限定于下述实施方式所示的结构，能在不改变发明思想的范围内进行适当改变来加以实施。

在本实施方式的清洁热处理装置中，如图1等所示，在装置主体10的内部以将装置主体10内上下分隔的方式设置上搁板11和下搁板12，以将装置主体10内分割为位于上搁板11上的上层部13、位于上搁板11与下搁板之间的中层部14、以及位于下搁板12下的下层部15。

而且，在本实施方式的清洁热处理装置中，在所述上层部13设置加热部20，通过设置于加热装置21的下游侧的安装板22的热风用风扇23对被加热装置21加热后的气体进行送风，将由该热风用风扇23加热的气体引导至设置于送风方向下游侧的位置的所述上搁板11上的过滤器f，并通过所述过滤器f将加热后的气体净化，并从所述加热部20使以上述方式加热并净化后的处理用气体经过设置于处于所述过滤器f下的上搁板11的部分的送风口11a而引导至所述中层部14。

另外，在位于所述上搁板11与所述下搁板12之间的中层部14设置处理部30，在比从所述过滤器f经过送风口11a导入处理用气体的导入部31靠下游侧的位置设置载置被处理物x并使其旋转的旋转工作台32，通过设置在所述下搁板12下的旋转装置33使所述旋转工作台32旋转。

而且，在所述导入部31与所述旋转工作台32之间设置具有多个孔34a的分散导入构件34，使引导至导入部31的处理用气体经过分散导入构件34的各孔34a而吹到载置于旋转工作台32并旋转的被处理物x。

并且，在将吹到载置于旋转工作台32并旋转的被处理物x后的气体引导至位于比旋转工作台32靠下游侧的导出部35的中途的位置处设置具有使所述气体经过的多个孔36a的分散导出构件36，以抑制从导入部31导入的处理用气体直接被引导至导出部35，从而利用处理用气体均匀地加热载置于旋转工作台32并旋转的被处理物x。

而且，在所述导出部35的上搁板11的部分设置返回开口部11b，所述返回开口部11b将引导至导出部35的加热处理后的气体引导至上层部13的加热部20，另一方面，在导出部35的下搁板12的部分设置一对返回孔12a，一对所述返回孔12a使加热处理后的气体返回至后述的设置于下层部15的冷却部40。

此外，在所述下搁板12下的下层部15设置冷却部40，在该冷却部40中，从返回管41分支出的返回分支管41a分别插通设置于所述导出部35的下搁板12的一对返回孔12a，并且在返回分支管41a汇流而成的返回管41设置返回侧开闭阀42，打开该返回侧开闭阀42，并利用冷却装置43冷却经过返回管41返回的气体。

并且，在这样利用冷风用风扇44输送被冷却装置43冷却后的气体的冷风引导管45设置输送侧开闭阀46，打开该输送侧开闭阀46，将经过冷风引导管45送来的冷却的气体引导至分支输送的一对分支冷风引导管45a。

此外，将所述一对分支冷风引导管45a从设置于所述下搁板12的各通孔12b经过所述中层部14中的处理部30插通到设置在所述上搁板11中的过滤器f附近的各引导孔11c，并且经过各分支冷风引导管45a将冷却后的气体输送至所述上层部13，将该冷却后的气体引导至设置于上层部13的所述过滤器f，并通过该过滤器f将冷却后的气体净化，并使得以上述方式冷却并净化后的处理用气体经过设置在所述过滤器f下的上搁板11的部分的送风口11a并引导至所述中层部14。

在此，基于图2具体地说明以下情况：在本实施方式的清洁热处理装置中，利用旋转装置33使载置于旋转工作台32的被处理物x旋转，并利用在所述加热部20中被加热后的处理用气体对被处理物x进行加热处理。

在这种情况下，在所述下层部15的冷却部40中，将设置于所述返回管41的返回侧开闭阀42以及设置于冷风引导管45的输出侧开闭阀46关闭，并且使所述冷却装置43以及所述冷风用风扇44停止。

另一方面，在所述上层部13的加热部分20中，使所述加热装置21和热风用风扇23工作，通过设置于安装板22的热风用风扇23对被加热装置21加热后的气体进行送风，并引导至设置在送风方向的下游侧位置的上搁板11上的所述过滤器f，并通过所述过滤器f将加热后的气体净化，并使以上述方式加热并净化后的处理用气体经过设置在所述过滤器f下的上搁板11的部分的送风口11a引导至中层部14的处理部30中的所述导入部31。

然后，将以上述方式引导至处理部30的导入部31且加热并净化后的处理用气体经过设置在比导入部31靠下游侧位置的所述分散导入构件34的多个各孔34a而吹到载置于所述旋转工作台32上并旋转的被处理物x并对其进行加热。另外，将以上述方式加热被处理物x后的加热处理后的气体经过设置在其下游侧的所述分散导出构件36的多个各孔36a并引导至所述导出部35，将以上述方式引导至导出部35的加热处理后的气体经过设置于导出部35的上搁板11的所述返回开口部11b并返回至加热部20，重复进行上述操作，充分地对载置于旋转工作台32上并旋转的被处理物x加热处理。

另外，在本实施方式的清洁热处理装置中，由于是将以上述方式加热并净化后的处理用气体从分散导入构件34的多个各孔34a吹到载置于旋转工作台32上并旋转的被处理物x而对被处理物x进行加热，因此，加热并净化后的气体被均匀地吹到旋转的被处理物x，能够均匀地对被处理物x进行加热处理。

接着，基于图3对以下情况进行具体说明，即在本实施方式的清洁热处理装置中，利用旋转装置33使载置于旋转工作台32的被处理物x旋转，并利用在所述冷却部40中被冷却后的处理用气体对被处理物x进行冷却处理。

在这种情况下，使设置于所述上层部13中的加热部20的所述加热装置21和所述热风用风扇23停止，以使加热后的处理用气体不会被引导至所述过滤器f。

另一方面，在所述下层部15的冷却部40中，将设置于所述返回管41的返回侧开闭阀42和设置于冷风导管45的输送侧开闭阀46打开，并且使所述冷却装置43和所述冷风用风扇44工作。

并且，利用所述冷风用风扇44，从插通到设置于导出部35的下搁板12的一对各返回孔12a中的各返回分支管41a经过返回管41抽吸所述中层部14的处理部30的下游侧的导出部35中的气体，并引导至设置于所述返回管41的所述冷却装置43，并利用冷却装置43对所述气体进行冷却，之后，利用所述冷风用风扇44，将以上述方式冷却后的气体从返回管41输送到冷风引导管45，并从该冷风引导管45将冷却后的气体引导至一对分支冷风引导管45a。

在此，所述一对分支冷风引导管45a如上所述地从设置于下搁板12的各通孔12b经过所述中层部14中的处理部30并插通到设置于上搁板11的过滤器f附近的各引导孔11c中，而将如上所述地从冷风引导管45引导至各分支冷风引导管45a的冷却后的气体引导至上层部13，并输送至设置于上层部13的所述过滤器f，并通过所述过滤器f对冷却后的气体进行净化，并使以上述方式冷却并净化后的处理用气体经过设置在所述过滤器f下的上搁板11的部分的送风口11a引导至所述中层部14的处理部30中的导入部31。

接着，将以上述方式引导至处理部30的导入部31的冷却并净化的处理用气体经过设置在比导入部31更靠下游侧的位置的所述分散导入构件34的多个各孔34a吹到载置于所述旋转工作台32上并旋转的被处理物x并对其进行冷却。

另外，将以上述方式冷却被处理物x后的冷却处理后的气体经过设置在其下游侧的所述分散导出构件36的多个各孔36a引导至所述导出部35，并如上所述利用冷风用风扇44从插通到设置于导出部35的下搁板12的一对各返回孔12a的各返回分支管41a经过返回管41抽吸以上述方式引导至导出部35的冷却处理后的气体，并利用冷却装置43进行冷却，重复进行上述操作，而充分地对载置于旋转工作台32上并旋转的被处理物x进行冷却处理。

而且，即使在以上述方式对载置于旋转工作台32上并旋转的被处理物x进行冷却的情况下，在本实施方式的清洁热处理装置中，将如上所述冷却并净化的处理用气体从分散导入构件34的多个各孔34a吹到载置于旋转工作台32上并旋转的被处理物x并对被处理物体x进行冷却，因此，冷却并净化后的气体被均匀地吹到旋转的被处理物x，从而能够均匀地对被处理物x进行冷却处理。

在此，在本实施方式的清洁热处理装置中，在如上所述将处理用气体从导入部31引导至载置于旋转工作台32上并旋转的被处理物x的部分设置呈平板状的部件，以作为具有多个孔34a的分散导入构件34，但如图4所示，若在分散导入构件34的与旋转工作台32相对的部分处设置呈圆弧状的凹部34b，则能够减小将被处理物x载置于旋转台32并旋转的处理部30的面积，并能够减小设置清洁热处理装置的设置面积。另外，尽管未图示，但对于具有将引导至被处理物x后的气体分散引导至供引导至被处理物x后的气体引导的导出部35的所述多个孔36a的分散导出构件36，也与所述分散导入部件34相同，在与旋转工作台32相对的部分设置呈圆弧状的凹部，能够减小处理部30的面积，并能够减小设置清洁热处理装置的设置面积。

另外，在本实施方式的清洁热处理装置中，如上所述，将装置主体10内分割为位于上搁板11上的上层部13、位于上搁板11与下搁板之间的中层部14、以及位于下搁板12下的下层部15，在中层部14设置处理部30，在上层部13设置加热部20，在下层部15设置冷却部40，尽管未示出，但也能够在上层部13设置冷却部40，在下层部15设置加热部20。