一种具有坩埚防护功能快速预热装置的制作方法

文档序号:28540114发布日期:2022-01-19 14:29阅读:246来源:国知局
一种具有坩埚防护功能快速预热装置的制作方法

1.本实用新型涉及熔硅生产拉晶技术领域,具体为一种具有坩埚防护功能快速预热装置。


背景技术:

2.石英锅的硫酸钡添加,在高温下熔硅与石英坩埚内壁会发生反应sio2+si

sio,石英坩埚被腐蚀后成晶困难,运行时间缩短,拉晶成本高,行业目前普遍通过加入碳酸钡来解决此问题。
3.而现在大多数的石英坩埚在添加碳酸钡的过程中,因为碳酸钡自身熔点高1740℃,碳酸钡在1450℃会分解,中间产物氧化钡熔点更高1923℃,因为硅的熔点为1410℃,因此碳酸钡与二氧化硅反应生成硅酸钡的条件相当苛刻,无法短时间为石英坩埚提供保护层,这就导致rcz拉晶首段引放次数远高于其他各段。
4.所以我们提出了一种具有坩埚防护功能快速预热装置,以便于解决上述中提出的问题。


技术实现要素:

5.本实用新型的目的在于提供一种具有坩埚防护功能快速预热装置,以解决上述背景技术提出的目前市场上而现在大多数的石英坩埚在添加碳酸钡的过程中,因为碳酸钡自身熔点高1740℃,碳酸钡在1450℃会分解,中间产物氧化钡熔点更高1923℃,因为硅的熔点为1410℃,因此碳酸钡与二氧化硅反应生成硅酸钡的条件相当苛刻,无法短时间为石英坩埚提供保护层,这就导致rcz拉晶首段引放次数远高于其他各段的问题。
6.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有坩埚防护功能快速预热装置,包括:
7.坩埚本体,其呈开口向上的“c”字形结构放置于炉灶顶面,所述坩埚本体的顶面开设有限位孔,且坩埚本体的内部底面放置有硅料;
8.防脱装置,其通过螺栓对称设置于坩埚本体的外壁两侧,所述防脱装置的内部通过轴承贯穿转动有导杆,且导杆的左右两侧外壁固定套设有蜗杆;
9.承载架,其边侧呈倾斜状结构放置于所述坩埚本体的顶面,所述承载架的左右两侧底面固定设置有与所述防脱装置配合的锁止杆;
10.外衬环,其固定安装于所述承载架的中部,所述外衬环的内部转动设置有内转环。
11.优选的,所述防脱装置内部的左右两侧均转动设置有蜗轮,所述蜗轮的底面与导杆外壁的蜗杆相互啮合设置,所述蜗轮与锁止杆之间相互啮合设置,使得导杆带动蜗杆旋转的同时能够带动蜗轮进行旋转。
12.优选的,所述蜗轮与蜗杆之间一一对应设置,且蜗轮与蜗杆均关于锁止杆的竖向中心轴线对称分布设置,通过蜗轮的旋转带动锁止杆向下移动之后锁止。
13.优选的,所述承载架的底面与坩埚本体的底面之间为相互接触的平行放置,且承
载架的顶面水平高度大于坩埚本体的顶面水平高度,防止防止坩埚本体与外衬环之间接触之后损坏外衬环。
14.优选的,所述外衬环的内部中心位置处固定设置有加料口,且外衬环的内部贯穿连接于密封板的顶端,通过外衬环对密封板进行导向以及限位。
15.优选的,所述密封板为等角度均匀分布设置,且密封板与外衬环之间为相互贯穿的滑动设置,通过密封板的聚集对石英锅进行封闭。
16.优选的,所述内转环的顶面开设有导向槽,且导向槽的内部连接于密封板的底面,所述导向槽为正六边形结构设置,并且导向槽的侧边长度大于密封板的最大移动长度,通过导向槽带动密封板进行移动,对坩埚本体内部的硫酸钡进行防护。
17.密封板的前端贯穿设置有挤压条,且密封板的底面固定设置有存料台,并且存料台的顶面通过贴合滑动的推杆贯穿设置于密封板的内部,而且挤压条的底端通过拉绳连接于推杆的顶端。
18.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该具有坩埚防护功能的硫酸钡快速预热装置,通过承载架以及坩埚本体左右两侧的防脱装置进行限位,通过承载架顶面的外衬环内部的内转环的转动使得密封板进行开合的同时将硫酸钡进行添加以及密封;
19.1.通过承载架左右两侧的锁止杆贯穿插入坩埚本体边侧的防脱装置装置内部,旋转防脱装置内部的导杆以及蜗杆带动涡轮进行旋转,通过涡轮的旋转带动锁止杆向下移动之后完成承载架的安装;
20.2.通过旋转设置于外衬环内部的内转环,使得内转环带动密封板进行移动挤压之后,密封板顶端的挤压条向内移动带动拉绳将推杆进行带动,通过推杆电动存料台表面的硫酸钡进行下料。
附图说明
21.图1为本实用新型正剖面结构示意图;
22.图2为本实用新型防脱装置结构示意图;
23.图3为本实用新型外衬环俯视结构示意图;
24.图4为本实用新型密封板结构示意图;
25.图5为本实用新型密封板侧剖面结构示意图;
26.图6为本实用新型图5中a处放大结构示意图。
27.图中:1、坩埚本体;101、限位孔;102、硅料;2、防脱装置;201、导杆;202、蜗杆;203、蜗轮;3、承载架;301、锁止杆;4、外衬环;401、内转环;402、加料口;403、密封板;404、导向槽;405、挤压条;406、存料台;407、推杆;408、拉绳。
具体实施方式
28.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
29.请参阅图1-6,本实用新型提供一种技术方案:一种具有坩埚防护功能快速预热装
置,包括:
30.坩埚本体1,其呈开口向上的“c”字形结构放置于炉灶顶面,坩埚本体1的顶面开设有限位孔101,且坩埚本体1的内部底面放置有硅料102;
31.防脱装置2,其通过螺栓对称设置于坩埚本体1的外壁两侧,防脱装置2的内部通过轴承贯穿转动有导杆201,且导杆201的左右两侧外壁固定套设有蜗杆202;通过旋转贯穿设置于防脱装置2内部的导杆201带动导杆201外壁的蜗杆202进行旋转,与蜗杆202之间啮合的蜗轮203旋转带动锁止杆301下降之后,对锁止杆301进行限位锁止;
32.承载架3,其边侧呈倾斜状结构放置于坩埚本体1的顶面,承载架3的左右两侧底面固定设置有与防脱装置2配合的锁止杆301;
33.外衬环4,其固定安装于承载架3的中部,外衬环4的内部转动设置有内转环401,通过旋转外衬环4带动密封板403移动完成封闭以及开合。
34.防脱装置2内部的左右两侧均转动设置有蜗轮203,蜗轮203的底面与导杆201外壁的蜗杆202相互啮合设置,蜗轮203与锁止杆301之间相互啮合设置,蜗轮203与蜗杆202之间一一对应设置,且蜗轮203与蜗杆202均关于锁止杆301的竖向中心轴线对称分布设置。
35.如图2,通过旋转贯穿设置于防脱装置2内部的导杆201带动蜗杆202以及蜗轮203进行旋转之后,蜗轮203的旋转带动锁止杆301向下移动之后对锁止杆301进行锁止限位,防止在承载架3使用的过程中发生偏移的情况,承载架3的底面与坩埚本体1的底面之间为相互接触的平行放置,且承载架3的顶面水平高度大于坩埚本体1的顶面水平高度。
36.外衬环4的内部中心位置处固定设置有加料口402,且外衬环4的内部贯穿连接于密封板403的顶端,密封板403为等角度均匀分布设置,且密封板403与外衬环4之间为相互贯穿的滑动设置。
37.内转环401的顶面开设有导向槽404,且导向槽404的内部连接于密封板403的底面,导向槽404为正六边形结构设置,并且导向槽404的侧边长度大于密封板403的最大移动长度。
38.密封板403的前端贯穿设置有挤压条405,且密封板403的底面固定设置有存料台406,并且存料台406的顶面通过贴合滑动的推杆407贯穿设置于密封板403的内部,而且挤压条405的底端通过拉绳408连接于推杆407的顶端。
39.如图5-图6,密封板403顶端的挤压条405受到挤压后在密封板403的内部滑动,通过挤压条405的滑动带动拉绳408以及推杆407进行移动,使得推杆407将放置于存料台406表面的硫酸钡进行下料。
40.工作原理:在使用该具有坩埚防护功能的硫酸钡快速预热装置之前,需要先检查装置整体情况,确定能够进行正常工作,如图1-图6所示,首先在需要对承载架3进行支撑限位时,首先将承载架3底面左右两侧固定设置的锁止杆301插入坩埚本体1左右两侧的防脱装置2内部,与蜗杆202之间啮合的蜗轮203旋转带动锁止杆301下降之后,对锁止杆301进行限位锁止,防止在坩埚本体1使用的过程中承载架3发生偏移的情况;
41.如图3-图6所示,通过旋转贯穿设置于外衬环4内部的内导杆201,使得内转环401顶面的导向槽404带动密封板403进行移动之后相互挤压,通过密封板403移动后的封闭对坩埚本体1进行密封,防止物料受到污染。
42.尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来
说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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