一种有效快速吹干晶圆片的送风装置的制作方法

本发明涉及晶圆片干燥，特别涉及一种有效快速吹干晶圆片的送风装置。

背景技术：

1、半导体芯片在制造过程中，晶圆清洗涉及到多个制程领域，做完某一阶段工艺之后就需要清洗晶圆片，比如做完刻蚀、氧化，电镀等工艺，就要做湿法清洗，就是为了清洗掉晶圆片表面的不纯物，晶圆片清洗干净之后才能流转下个工艺。

2、湿法清洗设备中，快速吹干晶圆片的装置都在烘干槽内进行，一般采用氮气加热器的高温气态的异丙基乙醇(ipa)在烘干槽内对圆晶表面进行干燥处理，目前湿法设备烘干槽的，工作原理的基本表现中仍存在一些问题：

3、1、氮气加热器里的高温氮气带ipa药液输送到烘干槽，目前现有装置采用的是高纯不锈钢波纹管+pfa软管连接输送。

4、2、烘干槽内采用pfa软管吹风，但是烘干槽是密封槽，烘干槽内工艺温度需要长时间保持110度高温气体，虽然pfa塑料软管理论值可以耐温260度以内，但是长时间在使用后，还是会产生一定的形变，会导致气体输出的不均匀，会时晶圆片的烘干洗净出现瑕疵。

5、3、现有烘干槽的长时间作业后，会导致晶圆片洗净烘干的不均匀性，一旦发生类似情况，会导致清洗机台的报警，停止清洗作业需要人工干涉才能进行下一步工艺。

技术实现思路

1、(一)要解决的技术问题

2、本发明的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种有效快速吹干晶圆片的送风装置，解决了市面上圆晶表面干燥处理过程中，效率低、氮气消耗大以及塑料pfa吹风管容易形变的问题。

3、(二)技术方案

4、本发明的为解决上述技术问题采用以下技术方案：一种有效快速吹干晶圆片的送风装置，包括支架，所述支架上固定有烘干箱，所述烘干箱内壁固定有4组吹气管，所述烘干箱底部固定有滑动导轨，所述滑动导轨上滑动连接有运输平台，所述运输平台一侧固定有密封板，所述密封板上固定有锁紧机构，所述运输平台表面固定有两块相对应的支撑板，两所述支撑板之间转动连接有转轴，所述转轴通过与支撑板侧壁固定的电机驱动连接，所述转轴上圆周固定有4组夹持机构。

5、优选的，所述夹持机构包括有两组t形支撑杆，两所述t形支撑杆顶部通槽内滑动连接有两连接杆，两所述连接杆通过第一弹簧相连接，两连接杆远离第一弹簧的一端固定连接有夹持板，两所述t形支撑杆内部设置有电动推杆，所述电动推杆伸缩端转动连接有相对应的两传动杆，两所述传动杆远离电动推杆的一端分别与两连接杆转动连接，两所述t形支撑杆相对应的一侧开设有移动槽，所述移动槽上滑动连接有载物台，所述移动槽内设置有限位机构。

6、优选的，所述限位机构包括有限位块和第二弹簧，所述限位块滑动连接于移动槽内壁开设的限位槽内,所述第二弹簧一端与限位块固定连接，另一端与限位槽内壁固定连接，所述载物台与移动槽滑动连接的接触面上开设有卡槽，所述卡槽与限位块相配合。

7、优选的，所述锁紧机构包括有锁紧外壳，所述锁紧外壳两侧开设有滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有滑块，所述滑块上端固定连接有插块，所述滑动槽内设置有第三弹簧所述第三弹簧一端与滑块固定连接，另一端与滑动槽固定连接。

8、优选的，所述烘干箱外壁固定连接有用于与插块相配合的插槽，所述烘干箱与密封板连接处设有密封条。

9、优选的，所述吹气管为石英材质，且4组吹气管呈矩形排列，所述吹气管管道上排列开设有多组出气口，所述吹气管出气孔呈45°角风向排布，并使风向吹向同一区域。

10、优选的，所述在载物台与夹持板上设有安装晶圆片的卡槽。

11、优选的，所述密封板上固定连接有握把。

12、(三)有益效果

13、综上所述，本发明具有以下有益效果：

14、1.该基于一种有效快速吹干晶圆片的送风装置，通过采用矩形排列方式安装吹气管以及管道上开设的45°风向角，能够使4组吹气管的风向在同一区域吹气，并使该区域的中心焦点居于晶圆片中心，使晶圆片快速有效的吹干，不会出现死角和漏角现象，提高了工作效率；而且采用吹风的方式去吹晶圆片，可以快速把晶圆片上的水渍吹干，并能减少ipa药液的使用量，比之前用单纯烘干槽内高温烘干快速很多，能真正起到节能节成本。

15、2.该基于一种有效快速吹干晶圆片的送风装置，通过采用石英管替代pfa软管，既能耐高温，又能解决金属离子颗粒，保持输入ipa药液的纯度，提高晶圆片的洁净度。

16、3.该基于一种有效快速吹干晶圆片的送风装置，通过载物台、t形支撑杆、夹持板、电动推杆、连接杆和第一弹簧的配合使用，能够在安装晶圆片的过程中通过载物台将晶圆片运输至夹持机构上，并通过电动推杆和夹持板自动对晶圆片进行夹持固定，代替了手动的夹持工作，避免了对晶圆片造成污染，提高晶圆片的洁净度，同时采用4组夹持机构进行夹持吹干处理，当第一组晶圆片进行吹干处理时，剩下的3组晶圆片仍会受到吹风，从而使得下一组晶圆片在吹干处理时，其吹干速度会比上一组更快，以此类推最终提高了整体4组晶圆片的吹干效率。

技术特征：

1.一种有效快速吹干晶圆片的送风装置，其特征在于：包括支架(1)，所述支架(1)上固定有烘干箱(2)，所述烘干箱(2)内壁固定有4组吹气管(3)，所述烘干箱(2)底部固定有滑动导轨(4)，所述滑动导轨(4)上滑动连接有运输平台(5)，所述运输平台(5)一侧固定有密封板(6)，所述密封板(6)上固定有锁紧机构(7)，所述运输平台(5)表面固定有两块相对应的支撑板(8)，两所述支撑板(8)之间转动连接有转轴(9)，所述转轴(9)通过与支撑板(8)侧壁固定的电机(10)驱动连接，所述转轴(9)上圆周固定有4组夹持机构(11)。

2.根据权利要求1所述的有效快速吹干晶圆片的送风装置，其特征在于：所述夹持机构(11)包括有两组t形支撑杆(111)，两所述t形支撑杆(111)顶部通槽内滑动连接有两连接杆(112)，两所述连接杆(112)通过第一弹簧(113)相连接，两连接杆(112)远离第一弹簧(113)的一端固定连接有夹持板(114)，两所述t形支撑杆(111)内部设置有电动推杆(115)，所述电动推杆(115)伸缩端转动连接有相对应的两传动杆(116)，两所述传动杆(116)远离电动推杆(115)的一端分别与两连接杆(112)转动连接，两所述t形支撑杆(111)相对应的一侧开设有移动槽(117)，所述移动槽(117)上滑动连接有载物台(118)，所述移动槽(117)内设置有限位机构(12)。

3.根据权利要求2所述的有效快速吹干晶圆片的送风装置，其特征在于：所述限位机构(12)包括有限位块(121)和第二弹簧(122)，所述限位块(121)滑动连接于移动槽(117)内壁开设的限位槽内，所述第二弹簧(122)一端与限位块(121)固定连接，另一端与限位槽内壁固定连接，所述载物台(118)与移动槽(117)滑动连接的接触面上开设有卡槽(123)，所述卡槽(123)与限位块(121)相配合。

4.根据权利要求1所述的有效快速吹干晶圆片的送风装置，其特征在于：所述锁紧机构(7)包括有锁紧外壳(701)，所述锁紧外壳(701)两侧开设有滑动槽(702)，所述滑动槽(702)内滑动连接有滑块(703)，所述滑块(703)上端固定连接有插块(704)，所述滑动槽(702)内设置有第三弹簧(705)所述第三弹簧(705)一端与滑块(703)固定连接，另一端与滑动槽(702)固定连接。

5.根据权利要求4所述的有效快速吹干晶圆片的送风装置，其特征在于：所述烘干箱(2)外壁固定连接有用于与插块(704)相配合的插槽(13)，所述烘干箱(2)与密封板(6)连接处设有密封条。

6.根据权利要求1所述的有效快速吹干晶圆片的送风装置，其特征在于：所述吹气管(3)为石英材质，且4组吹气管(3)呈矩形排列，所述吹气管(3)管道上排列开设有多组出气口，所述吹气管(3)出气孔呈45°角风向排布，并使风向吹向同一区域。

7.根据权利要求1所述的有效快速吹干晶圆片的送风装置，其特征在于：所述在载物台(118)与夹持板(114)上设有安装晶圆片的卡槽。

8.根据权利要求1所述的有效快速吹干晶圆片的送风装置，其特征在于：所述密封板(6)上固定连接有握把。

技术总结
本发明公开了一种有效快速吹干晶圆片的送风装置，涉及一种有效快速吹干晶圆片的送风装置。该有效快速吹干晶圆片的送风装置，包括支架、烘干箱、吹气管、锁紧机构、夹持机构和限位机构，所述吹气管管道上排列开设有多组呈45°角风向的出气口，所述夹持机构，包括T形支撑杆、连接杆、第一弹簧、夹持板、电动推杆、传动杆和载物台。该有效快速吹干晶圆片的送风装置，通过45°角风向的吹气管，能够使吹气管的风向在同一区域吹气，并使该区域的中心焦点居于晶圆片中心，使晶圆片快速有效的吹干，不会出现死角和漏角现象，通过4组夹持机构，当一组晶圆片吹干时，其他3组同时会受到吹风，从而减少下组吹干时间，最终提高整体晶圆片的吹干效率。

技术研发人员：高建锋
受保护的技术使用者：湖州维德光电科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/1