一种防止炉管污染的方法与流程

本申请实施例涉及太阳电池片制造，尤其涉及一种防止炉管污染的方法。

背景技术：

1、目前，全球的太阳能电池生产线得到了爆发式的发展，太阳能电池发电是太阳能发电的主流。扩散炉是太阳能电池生产线前道工序的重要工艺设备，主要用途是对硅片进行掺杂，改变和控制硅片内的杂质类型、浓度和分布，建立起不同的电场区域，以便于在有光照条件下，产生的自由电子可以通过场域，顺利的被输出。

2、扩散炉在使用过程当中，会使用到加热炉体，石英管等器件，现有的扩散炉机架炉体安装完成后，石英管安装进炉体，炉体端部设置有炉口法兰，分别起到固定支撑石英管、以及配合密封圈对石英管进行密封的作用，而长期高温与酸气环境条件下，炉口法兰会有不同程度的腐蚀，生长出金属铁屑。此外，高温环境下，炉口密封圈使用寿命有限，一旦密封圈老化损坏后，漏率则不能达到工艺要求，导致管内产品方阻异常等不良。

3、为解决以上问题，一般采用更换密封圈的方式。在作业过程中，操作人员需要对炉口法兰和密封圈进行拆卸，拆卸过程中，炉口法兰锈蚀颗粒不可避免地会进入石英管，造成炉管污染，一旦出现石英管污染，会出现产品发黑不良和效率异常。操作人员需要对石英管进行清洗，石英器件易损且拆卸工作量大，易出现炉管损坏，造成产线产出匹配异常，从而导致产能损失，且会影响现场设备稳定性和设备稳定产出，产品质量亦会造成重大损失。

技术实现思路

1、为实现上述目的，本申请实施例提供一种防止炉管污染的方法，能够防止炉口的颗粒物脏污进入扩散炉的石英管内，避免石英管发生污染。

2、本申请实施例提供一种防止炉管污染的方法，用于清洁扩散炉时，防止所述扩散炉的石英管发生污染，包括：

3、利用塞体堵塞所述扩散炉的石英管一端的开口；

4、向所述石英管内通入气体，使得所述石英管内的压力大于外部压力；和

5、清洁安装在所述石英管的端部位置的固定组件。

6、进一步地，所述固定组件包括管体法兰，所述管体法兰与所述石英管的一端相连，所述利用塞体堵塞所述扩散炉的石英管一端的开口，包括：

7、利用所述塞体堵塞在所述管体法兰的端口，所述塞体与所述管体法兰的接触面形成有缝隙。

8、进一步地，所述石英管包括管体、进气管和出气管，所述进气管和所述出气管分别与所述管体连通，所述向所述石英管内通入气体，使得所述石英管内的压力大于外部压力包括：通过开启所述进气管，且关闭所述出气管，向所述石英管内通入气体，使得所述石英管内的压力大于外部压力。

9、进一步地，所述固定组件还包括第一炉口法兰、第二炉口法兰和密封部，所述第一炉口法兰和所述第二炉口法兰套设在所述管体法兰上，所述密封部设置在所述第一炉口法兰和所述第二炉口法兰之间，所述清洁安装在所述石英管的端部位置的固定组件包括：从所述管体法兰上拆除所述第一炉口法兰、所述第二炉口法兰和所述密封部；对所述管体法兰、所述第一炉口法兰、所述第二炉口法兰和所述密封部进行清洁；将所述第一炉口法兰、所述第二炉口法兰和所述密封部重新安装到所述管体法兰上。

10、进一步地，在所述利用塞体堵塞所述扩散炉的石英管一端的开口之前，还包括：将所述石英管内的温度降至400摄氏度以下，开启所述扩散炉的炉门。

11、进一步地，在所述清洁或更换安装在所述石英管的端部位置的固定组件之后，还包括：将所述塞体从所述扩散炉的石英管一端的开口处移除。

12、进一步地，所述塞体包括底座和突起部，所述底座呈圆盘形，所述突起部连接在所述底座的一侧。

13、进一步地，所述塞体的突起部包括多个片状部和连接部，所述片状部相互平行设置，并且通过所述连接部相连，所述多个片状部形成容纳所述气体的储气空间。

14、进一步地，所述塞体由耐腐蚀耐高温材料制成。

15、进一步地，所述管体法兰、所述第一炉口法兰和所述第二炉口法兰均由金属材质制成，所述气体为氮气。

16、在本申请实施例提供的防止炉管污染的方法中，当清洁或者更换安装在扩散炉的石英管的端部位置的固定组件时，由于利用塞体堵塞石英管一端的开口，塞体能够防止端部位置的固定组件上的颗粒物等脏污进入石英管内，并且由于石英管内通入气体，使得石英管内的压力大于外部压力，气流会从炉内向炉外流动，进一步防止固定组件上的颗粒物等脏污进入石英管内，从而防止石英管内发生污染，避免太阳电池片生产过程中发生发黑不良和效率异常，同时操作人员无需清洗石英管，不会造成炉管损坏，从而提高设备维护后的效率和良率稳定性，能够降低产品损坏风险，降低生产成本。

技术特征：

1.一种防止炉管污染的方法，用于防止所述扩散炉的石英管发生污染，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述固定组件包括管体法兰，所述管体法兰与所述石英管的一端相连，所述利用塞体堵塞所述扩散炉的石英管一端的开口，包括：

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述石英管包括管体、进气管和出气管，所述进气管和所述出气管分别与所述管体连通，所述向所述石英管内通入气体，使得所述石英管内的压力大于外部压力包括：通过开启所述进气管，且关闭所述出气管，通过所述进气管向所述石英管内通入气体，使得所述石英管内的压力大于外部压力。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述固定组件还包括第一炉口法兰、第二炉口法兰和密封部，所述第一炉口法兰和所述第二炉口法兰套设在所述管体法兰上，所述密封部设置在所述第一炉口法兰和所述第二炉口法兰之间，所述清洁或更换安装在所述石英管的端部位置的固定组件包括：从所述管体法兰上拆除所述第一炉口法兰、所述第二炉口法兰和所述密封部；对所述管体法兰、所述第一炉口法兰、所述第二炉口法兰和所述密封部进行清洁或者更换；将所述第一炉口法兰、所述第二炉口法兰和所述密封部重新安装到所述管体法兰上。

5.如权利要求1至4任一项所述的方法，其特征在于，在所述利用塞体堵塞所述扩散炉的石英管一端的开口之前，还包括：将所述石英管内的温度降至400摄氏度以下，开启所述扩散炉的炉门。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，在所述清洁或者更换安装在所述石英管的端部位置的固定组件之后，还包括：将所述塞体从所述扩散炉的石英管一端的开口处移除。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述塞体包括底座和突起部，所述底座呈圆盘形，所述突起部连接在所述底座的一侧。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述塞体的突起部包括多个片状部和连接部，所述片状部相互平行设置，并且通过所述连接部相连，所述多个片状部形成容纳所述气体的储气空间。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述塞体由耐腐蚀耐高温材料制成。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述管体法兰、所述第一炉口法兰和所述第二炉口法兰均由金属材质制成，所述气体为氮气。

技术总结
本申请实施例提供一种防止炉管污染的方法，用于防止所述扩散炉的石英管发生污染，包括：利用塞体堵塞所述扩散炉的石英管一端的开口；向所述石英管内通入气体，使得所述石英管内的压力大于外部压力；和清洁或者更换安装在所述石英管的端部位置的固定组件。本申请实施例提供的防止炉管污染的方法，能够实现清洁扩散炉时，炉口的颗粒物不会进入扩散炉的石英管内，避免石英管发生污染。

技术研发人员：雷小龙
受保护的技术使用者：通威太阳能（成都）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/11