一种洁净室流量控制系统的制作方法

本技术涉及流量控制系统，更具体的说是涉及一种洁净室流量控制系统。

背景技术：

1、电子产业中的ic半导体、光电等行业目前为洁净室工程行业最主要的下游行业，其发展对洁净行业企业的未来发展具有重要影响。随着数字家庭时代的到来、液晶面板的升级换代、3d技术和led技术的国产化等，ic半导体、光电等产业在未来相当长的一段时期内仍处于高速发展时期，具备很大的发展空间与潜力。

2、国内主要使用品牌美国非尼克斯，韩国surjin,加拿大rosenmex,上海嵘翰等品牌。国内外各大公司的相应控制系统，也存在着不足：首先文丘里阀用作变风量装置，需要通过快速风阀执行器调节阀杆，改变它的风量设定值。但它是一个机械装置，其压力无关的功能主要通过标定的弹簧装置实现的。但随着时间推移，弹簧会逐渐老化，变得不再精确。当送排风系统出现不平衡时，送排风系统的风流紊动多变，而文丘里阀弹簧频率也是多样的，当风流紊动频率靠近文丘里阀的频率时，就易出现喘振现象，喘振引起共振，同时会影响到总风道波动，使系统无法工作。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种洁净室流量控制系统，以期解决背景技术中的技术问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、一种洁净室流量控制系统，包括：阀体外壳，所述阀体外壳具有细腰处；调节主轴，所述调节主轴通过沿轴向设置在所述阀体外壳的轴心处；固定架套，所述固定架套设置在所述阀体外壳内，用于支撑所述调节主轴，所述调节主轴与所述固定架套滑动连接；驱动机构，所述驱动机构设置在阀体外壳外，通过传动杆与所述调节主轴连接；调风球，所述调风球设置在所述调节主轴上，在初始状态下，所述调风球在驱动机构的作用下置于所述细腰处的一侧，且所述调风球在所述调节主轴上的位置随阀体外壳内风压的改变而改变，使得调风球与阀体外壳的细腰处的间隙改变。

4、在一些实施例中，所述调风球包括：上盖、下盖、导向筒、上端盖、下端盖、弹簧、压盖，所述压盖固定在所述调节主轴上，所述导向筒套设在所述压盖上，所述弹簧置于所述导向筒内且套设在所述调节主轴上，所述上端盖和下端盖扣合且均套设在所述导向筒内，所述下端盖扣合在所述导向筒的一端，且将所述下端盖固定，所述上端盖扣合在所述导向筒的另一端，且将所述上端盖固定，所述上端盖、下端盖均与所述调节主轴滑动连接；所述弹簧的一端与所述压盖连接，所述弹簧的另一端与所述上端盖抵接，在初始状态下，所述弹簧在风压的作用下被压缩。

5、在一些实施例中，所述上盖呈球面设置，且在上盖与导向筒相适配的位置处设有与导向筒的外壁相贴合的第一水平段，所述上端盖通过第一水平段将上端盖锁定在所述导向筒上。

6、在一些实施例中，所述下盖呈锥面设置，且在下盖与导向筒相适配的位置处设有与导向筒的外壁相贴合的第二水平段，所述下端盖通过第二水平段将下端盖锁定在所述导向筒上。

7、在一些实施例中，所述上盖与下盖之间卡扣或螺纹连接。

8、在一些实施例中，所述压盖通过卡圈锁定在所述调节主轴上。

9、在一些实施例中，所述上端盖的一侧朝向进风向设置。

10、本实用新型与现有技术相比具有的有益效果是：

11、本申请通过在以前的产品的基础上，通过改良。制作吻合的壳体和调风球关系；选择了合适的弹簧材料t304，并经过合适的工艺过程处理，保证了弹簧的使用寿命在10年以上；整套的阀芯单元，确定了合适的运动阻尼系统，通过阻尼系统，快速的消耗了喘振及振动，把共振消灭在摇篮里，保证了任何时候，均不存在阀芯共振现象。

技术特征：

1.一种洁净室流量控制系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种洁净室流量控制系统，其特征在于，所述调风球包括：上盖、下盖、导向筒、上端盖、下端盖、弹簧、压盖，所述压盖固定在所述调节主轴上，所述导向筒套设在所述压盖上，所述弹簧置于所述导向筒内且套设在所述调节主轴上，所述上端盖和下端盖扣合且均套设在所述导向筒内，所述下端盖扣合在所述导向筒的一端，且将所述下端盖固定，所述上端盖扣合在所述导向筒的另一端，且将所述上端盖固定，所述上端盖、下端盖均与所述调节主轴滑动连接；所述弹簧的一端与所述压盖连接，所述弹簧的另一端与所述上端盖抵接，在初始状态下，所述弹簧在风压的作用下被压缩。

3.根据权利要求2所述的一种洁净室流量控制系统，其特征在于，所述上盖呈球面设置，且在上盖与导向筒相适配的位置处设有与导向筒的外壁相贴合的第一水平段，所述上端盖通过第一水平段将上端盖锁定在所述导向筒上。

4.根据权利要求2所述的一种洁净室流量控制系统，其特征在于，所述下盖呈锥面设置，且在下盖与导向筒相适配的位置处设有与导向筒的外壁相贴合的第二水平段，所述下端盖通过第二水平段将下端盖锁定在所述导向筒上。

5.根据权利要求2所述的一种洁净室流量控制系统，其特征在于，所述上盖与下盖之间卡扣或螺纹连接。

6.根据权利要求2所述的一种洁净室流量控制系统，其特征在于，所述压盖通过卡圈锁定在所述调节主轴上。

7.根据权利要求2所述的一种洁净室流量控制系统，其特征在于，所述上端盖的一侧朝向进风向设置。

技术总结
本技术公开了一种洁净室流量控制系统，包括：阀体外壳，所述阀体外壳具有细腰处；调节主轴，所述调节主轴通过沿轴向设置在所述阀体外壳的轴心处；固定架套，所述固定架套设置在所述阀体外壳内，用于支撑所述调节主轴，所述调节主轴与所述固定架套滑动连接；驱动机构，所述驱动机构设置在阀体外壳外，通过传动杆与所述调节主轴连接；调风球，所述调风球设置在所述调节主轴上，在初始状态下，所述调风球在驱动机构的作用下置于所述细腰处的一侧，且所述调风球在所述调节主轴上的位置随阀体外壳内风压的改变而改变，使得调风球与阀体外壳的细腰处的间隙改变。

技术研发人员：崔静涛,李飞
受保护的技术使用者：四川川净洁净技术股份有限公司
技术研发日：20230418
技术公布日：2024/1/15