一种应用于半导体低温泵冷凝装置的制作方法

本技术涉及半导体低温泵，具体为一种应用于半导体低温泵冷凝装置。

背景技术：

1、在半导体元器件的制造工艺中，许多需要高真空、高清洁度或低温的环境，在这些方面半导体低温泵具有非常明显的优势。半导体低温泵在设备的真空腔体内部没有运动部件，无需润滑和密封，不会给真空腔体带入任何外来物质，因此可以获得高清洁度的真空环境。

2、现有的半导体低温泵有如下缺陷：

3、现有半导体低温泵设备中，低温泵运转过程中出现超低温，使气体中的分子冷凝，且气体流通时会出现反流现象,这就需要给低温泵一个合理的冷凝装置。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种应用于半导体低温泵冷凝装置，解决了现有有半导体低温泵设备中，低温泵运转过程中出现超低温，使气体中的分子冷凝，且气体流通时会出现反流现象,这就需要给低温泵一个合理的冷凝装置的技术问题。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种应用于半导体低温泵冷凝装置，包括装置本体，所述装置本体包括冷凝盖板、流通块组和流通口组，所述流通块组设有三个，三个所述流通块组和流通口组呈环状等距方式安装在冷凝盖板底部；

5、优选的，所述流通块组包括小流通块、中流通块和大流通块，所述小流通块、中流通块和大流通块呈横向等距方式分布，所述小流通块、中流通块和大流通块均呈弧度状结构；

6、优选的，所述流通块组包括小流通口、中流通口和大流通口，所述小流通口、中流通口和大流通口呈横向等距方式分布，所述小流通口、中流通口和大流通口呈弧度状结构。

7、优选的，所述冷凝盖板顶部和底部均设有一组呈对称方式分布的坐标标识和宣传标识。

8、优选的，所述冷凝盖板底部设有两组呈环状等距方式分布的定位块，所述定位块底部开设有定位固定孔，所述定位固定孔呈贯通式结构。

9、优选的，所述冷凝盖板顶部开设有两组呈环状等距方式分布的锁紧孔。

10、(三)有益效果

11、本实用新型提供了一种应用于半导体低温泵冷凝装置。具备以下有益效果：

12、该种应用于半导体低温泵冷凝装置可以有效地防止气体流通时会出现反流现象，从而达到冷凝的目的，进一步保证了低温泵运行的稳定性，该种装置结构简单，安装方便，便于对安装在低温泵上进行使用。

技术特征：

1.一种应用于半导体低温泵冷凝装置，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括冷凝盖板(2)、流通块组(3)和流通口组(4)，所述流通块组(3)设有三个，三个所述流通块组(3)和流通口组(4)呈环状等距方式安装在冷凝盖板(2)底部；

2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵冷凝装置，其特征在于：所述冷凝盖板(2)顶部和底部均设有一组呈对称方式分布的坐标标识(11)和宣传标识(12)。

3.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵冷凝装置，其特征在于：所述冷凝盖板(2)底部设有两组呈环状等距方式分布的定位块(13)，所述定位块(13)底部开设有定位固定孔(14)，所述定位固定孔(14)呈贯通式结构。

4.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵冷凝装置，其特征在于：所述冷凝盖板(2)顶部开设有两组呈环状等距方式分布的锁紧孔(15)。

技术总结
本技术公开了一种应用于半导体低温泵冷凝装置，包括装置本体，所述装置本体包括冷凝盖板、流通块组和流通口组，所述流通块组设有三个，三个所述流通块组和流通口组呈环状等距方式安装在冷凝盖板底部；所述流通块组包括小流通块、中流通块和大流通块，所述小流通块、中流通块和大流通块呈横向等距方式分布，所述小流通块、中流通块和大流通块均呈弧度状结构；所述流通块组包括小流通口、中流通口和大流通口，所述小流通口、中流通口和大流通口呈横向等距方式分布，所述小流通口、中流通口和大流通口呈弧度状结构。该种装置可以有效地防止气体流通时会出现反流现象，从而达到冷凝的目的，进一步保证了低温泵运行的稳定性。

技术研发人员：崔汉博
受保护的技术使用者：上海优尊真空设备有限公司
技术研发日：20230716
技术公布日：2024/2/1