技术特征：
1.一种制冷剂控制系统，用以控制一制冷剂于一循环流路流动，该循环流路连接一压缩区并循环被该压缩区压缩的该制冷剂，使得该制冷剂与一冷却体进行热交换，该制冷剂控制系统包括：一储存区，储存该制冷剂；一第一管路，与构成该循环流路的一出口侧管连接并位于该压缩区的一出口侧，使该出口侧管内的该制冷剂经该第一管路流入该储存区；一第二管路，与构成该循环流路的一入口侧管连接并位于该压缩区的一入口侧，使该储存区的该制冷剂经该第二管路流入该入口侧管；一第三管路，连接该入口侧管，其形成让该第三管路的热量低于该出口侧管的热量，借此让热量转移至该储存区的该制冷剂；一第一开关阀，设置在该第一管路，通过切换该第一开关阀让该出口侧管的该制冷剂流入该储存区；一第二开关阀，设置在该第二管路，通过切换该第二开关阀让该储存区的该制冷剂流入该入口侧管；一第三开关阀，设置在该第三管路，通过切换该第三开关阀让该第三管路中与该储存区相关联的一上游部内的该制冷剂流入该第三管路位于该储存区侧边的部分；以及一开关控制区，根据该冷却体的一设定温度控制开启或关闭该第一开关阀、该第二开关阀及该第三开关阀。2.如权利要求1所述的制冷剂控制系统，其中当该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的一临界温度时，该开关控制区开启该第一开关阀及该第三开关阀，并关闭该第二开关阀；当该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度时，关闭该第一开关阀及该第三开关阀，并开启该第二开关阀。3.如权利要求2所述的制冷剂控制系统，其中至少当经一预定方法取得该压缩区的一运转压力值高于一阈值、或该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的该临界温度时，该开关控制区开启该第一开关阀及该第三开关阀，并关闭该第二开关阀；至少当经该预定方法取得该压缩区的一运转压力值低于该阈值、或该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度时，关闭该第一开关阀及该第三开关阀，并开启该第二开关阀。4.如权利要求1至权利要求3任一项所述的制冷剂控制系统，还包括：一第四管路，连接该出口侧管，其形成让该第四管路的热量高于该第三管路的热量，借此让热量转移至该储存区的该制冷剂；以及一第四开关阀，设置在该第四管路，通过切换该第四开关阀让位于该第四管路中与该储存区相关联的一上游部中的该制冷剂流入该第四管路的该储存区的侧边的部分；其中该开关控制区，根据该冷却体的该设定温度控制开启或关闭该第一开关阀、该第二开关阀、该第三开关阀及该第四开关阀。5.如权利要求4所述的制冷剂控制系统，其中当该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的该临界温度时，该开关控制区开启该第一开关阀及该第三开关阀，并关闭该第二开关阀及该第四开关阀；当该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度时，关闭该第一开关阀及该第三开关阀，并开启该第二开关阀及该第四开关阀。6.如权利要求1至权利要求5任一项所述的制冷剂控制系统，其中通过形成一第一子管
及一第二子管，可避免该储存部30内的该制冷剂经该第一子管及该第二子管逆向流入该出口侧管或该入口侧管，该第一子管和该第二子管的各部即位于其他部分上方根据权利要求1所述的该制冷剂控制系统，还包括一防流入区，用以防止外部物质经该第一管路流入该储存区。7.如权利要求1至权利要求6任一项所述的制冷剂控制系统，其中通过形成一第一子管及一第二子管，可避免该储存部内的该制冷剂经该第一子管及该第二子管逆向流入该出口侧管或该入口侧管，该第一子管和该第二子管的各部即位于其他部分上方。8.如权利要求1至权利要求7任一项所述的制冷剂控制系统，还包括一温度调整区，该温度调整区调整该储存区内的该制冷剂的一温度。9.如权利要求1至权利要求8任一项所述的制冷剂控制系统，其中该制冷剂是二氧化碳。10.如权利要求1至权利要求9任一项所述的制冷剂控制系，其中该冷却体是用于冷却一半导体制程系统的制冷剂。11.一种冷却系统，其是使用一制冷剂冷却一冷却体，该冷却系统包括：一压缩区，压缩该制冷剂；一循环流路，包括一冷却体侧管，该冷却体侧管连接该压缩区、位于该冷却体侧边并循环该制冷剂，让被该压缩区压缩的该制冷剂与该冷却体进行热交换；如权利要求1至权利要求10任一项所述的一制冷剂控制系统；以及一热交换区，设置于该冷却体侧管并让该冷却体侧管内的该制冷剂与该冷却体进行热交换。12.如权利要求11所述的冷却系统，其中该热交换区包括一第一热交换区及一第二热交换区，该第一热交换区冷却该冷却体，该第二热交换区加热被该第一热交换区冷却的该冷却体；其中该冷却体侧管包括一第一冷却体侧管及一第二冷却体侧管，该第一冷却体侧管位于该第一热交换区的侧边，该第二冷却体侧管位于第二热交换区的侧边，其中该冷却系统还包括：一侦测区，该侦测区侦测该出口侧管的温度或该入口侧管的温度；一第五管路，与该第一冷却体侧管的该第一热交换区的一上游部及该入口侧管连接；一第五开关阀，设置于该第五管路，该第五开关阀用于调整该冷却体侧管内的该制冷剂流入该入口侧管的数量；以及其中该开关控制区根据该侦测区的一侦测结果控制该第五开关阀的开启角度。13.如权利要求12所述的冷却系统，还包括：一第六开关阀，设置于该第一冷却体侧管内该第一热交换区的一上游部，该第六开关阀调整该第一冷却体侧管内的该制冷流入该第一热交换区的数量；以及一第七开关阀，设置于该第二冷却体侧管内该第二热交换区的一下游部，该第七开关阀调整与该第二热交换区进行热交换且流入该入口侧管的该制冷剂的数量；其中该开关控制区根据通过一预定方法取得该冷却体的一温度，来控制该第六开关阀及该第七开关阀开启角度。14.如权利要求12或权利要求13所述的冷却系统，还包括一压缩控制区，该压缩控制区
根据该侦测区的该侦测结果以及用该预定方法取得该冷却体的该温度控制该压缩区。15.根据权利要求12至权利要求14任一项所述的冷却系统，还包括一制冷剂热交换区，该制冷剂热交换区让位于该第一冷却体侧管的该第一热交换区的该上游部内的该制冷剂与位于该第二冷却体侧管得该第二热交换区的该下游部内的该制冷剂进行热交换。
技术总结
提供一种制冷剂控制系统和冷却系统，可于紧凑的储存部的尺寸中增加制冷剂储存量。制冷剂控制系统包括：储存制冷剂的一个储存部30，连接第一循环流路61其出口侧管62a的一个第一子管71a，连接第一循环流路61其入口侧管62b的一个第二子管71b，连接入口侧管62b的一个第三子管71c，其形成可让第三分管71c的热能低于出口侧管62a的热能，可被传输到储存部中的第一制冷剂。一个第一开关阀72a，设置于第一子管71a，一个第二开关阀72b，设置于第二子管71b，一个第三开关阀72c，设置于第三子管71c，一个开关控制单元，可根据第二制冷剂的温度设定值控制开启和关闭第一开关阀72a、第二开关阀72b和第三开关阀72c。和第三开关阀72c。和第三开关阀72c。
技术研发人员：佐藤敏美 清水和重 深见泰宏 苅谷知行
受保护的技术使用者：ATS日本株式会社
技术研发日：2020.03.10
技术公布日：2021/11/14