制冷剂控制系统及冷却系统的制作方法

1.本发明关于一种制冷剂控制系统及一种冷却系统。


背景技术：

2.传统上，已提出一种用于冷却一冷却物体的装置。例如，专利文献1的装置包括一个高源制冷循环，此高源制冷循环通过一个管路连接一高源侧压缩机、一高源侧冷凝器、一高源侧隔膜装置和一高源侧蒸发器使制冷剂循环、一低源制冷循环通过一管路连接一个低源侧压缩机、一辅助散热器、一低源侧冷凝器、一低源侧隔膜装置和一低源侧蒸发器并使制冷剂循环。将高源侧蒸发器和低源侧冷凝器连接成为串级冷凝器，通过通过其中的制冷剂进行热交换。再者，由于一低源制冷循环配管中的一低源侧压缩机吸入侧管以一电磁阀与一膨胀箱连接，因此，可将低源制冷循环的压力可被调整，而非一设定压力值，还以此方式打开电磁阀，让低源制冷循环中的制冷剂流入膨胀箱。通过此构造，设置于低源制冷循环的低源侧蒸发器附近的冷却物体与低源制冷循环中的制冷剂可进行热交换以冷却该冷却物体。
3.引证文献清单
4.专利文献
5.专利文献1：国际公开文献wo2014/181399。


技术实现要素：

6.技术问题
7.在此，如上述的专利文献1的装置中，如上所述，由于膨胀箱只用于收集从低源侧压缩机的吸入侧管流出的制冷剂，因此，膨胀箱的尺寸增大，例如，当尝试增加膨胀箱中的制冷剂储存量会导致膨胀箱的安装成本过高的风险。据此，于紧凑尺寸的储存区段中(如膨胀箱)增加制冷剂的储存量，仍有改进空间。
8.鉴于上述情况即制作本发明，本发明旨在提供一种制冷剂控制系统和一种冷却系统，可于紧凑尺寸的储存区内增加制冷剂的储存量。
9.解决问题的方法
10.为能够解决上述问题并达到本发明的目的，如权利要求1所述的一种制冷剂控制系统用以控制一制冷剂于一循环流路流动，该循环流路连接一压缩区并循环被该压缩区压缩的该制冷剂，使得该制冷剂与一冷却体进行热交换，该制冷剂控制系统，该制冷剂控制系统包括：一储存区，该储存区储存该制冷剂；一第一管路，与构成该循环流路的一出口侧管连接并位于该压缩区的一出口侧，使该出口侧管内的该制冷剂经该第一管路流入该储存区；一第二管路，与构成该循环流路的一入口侧管连接并位于该压缩区的一入口侧，使该储存区的该制冷剂经该第二管路流入该入口侧管；一第三管路，连接该入口侧管，其形成让该第三管路的热量低于该出口侧管的热量，借此让热量转移至该储存区的该制冷剂；一第一开关阀，设置在该第一管路，通过切换该第一开关阀让该出口侧管的该制冷剂流入该储存
区；一第二开关阀，设置在该第二管路，通过切换该第二开关阀让该储存区的该制冷剂流入该入口侧管；一第三开关阀，设置在该第三管路，通过切换该第三开关阀让该第三管路中与该储存区相关联的一上游部内的该制冷剂流入该第三管路位于该储存区侧边的部分；以及，一开关控制区，根据该冷却体的一设定温度控制开启或关闭该第一开关阀、该第二开关阀及该第三开关阀。
11.权利要求2的该制冷剂控制系统，如权利要求1所述的该制冷剂控制系统，其中当该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的一临界温度时，该开关控制区开启该第一开关阀及该第三开关阀，并关闭该第二开关阀；当该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度时，关闭该第一开关阀及该第三开关阀，并开启该第二开关阀。
12.权利要求3的该制冷剂控制系统，如权利要求2所述的该制冷剂控制系统，其中至少当经一预定方法取得该压缩区的一运转压力值高于一阈值、或该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的该临界温度时，该开关控制区开启该第一开关阀及该第三开关阀，并关闭该第二开关阀；至少当经该预定方法取得该压缩区的一运转压力值低于该阈值、或该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度时，关闭该第一开关阀及该第三开关阀，并开启该第二开关阀。
13.权利要求4的该制冷剂控制系统，如权利要求1至权利要求3任一项所述的该制冷剂控制系统，还包括：一第四管路，连接该出口侧管，其形成让该第四管路的热量高于该第三管路的热量，借此让热量转移至该储存区的该制冷剂；以及，一第四开关阀，设置在该第四管路，通过切换该第四开关阀让位于该第四管路中与该储存区相关联的一上游部中的该制冷剂流入该第四管路的该储存区的侧边的部分；其中该开关控制区，根据该冷却体的该设定温度控制开启或关闭该第一开关阀、该第二开关阀、该第三开关阀及该第四开关阀。
14.权利要求5的该制冷剂控制系统，如权利要求4所述的该制冷剂控制系统，其中当该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的该临界温度时，该开关控制区开启该第一开关阀及该第三开关阀，并关闭该第二开关阀及该第四开关阀；当该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度时，关闭该第一开关阀及该第三开关阀，并开启该第二开关阀及该第四开关阀。
15.权利要求6的该制冷剂控制系统，如权利要求1至权利要求5任一项所述的该制冷剂控制系统，其中通过形成一第一子管及一第二子管，可避免该储存部内的该制冷剂经该第一子管及该第二子管逆向流入该出口侧管或该入口侧管，该第一子管和该第二子管的各部即位于其他部分上方。
16.权利要求7的该制冷剂控制系统，如权利要求1至权利要求6任一项所述的该制冷剂控制系统，还包括一防流入区，用以防止外部物质经该第一管路流入该储存区。
17.权利要求8的该制冷剂控制系统，如权利要求1至权利要求7任一项所述的该制冷剂控制系统，还包括一温度调整区，该温度调整区调整该储存区内的该制冷剂的一温度。
18.权利要求9的该制冷剂控制系统，如权利要求1至权利要求8任一项所述的该制冷剂控制系统，其中该制冷剂是二氧化碳。
19.权利要求10的该制冷剂控制系统，如权利要求1至权利要求9任一项所述的该制冷剂控制系，其中该冷却体是用于冷却一半导体制程系统的制冷剂。
20.权利要求11的一种冷却系统，其是使用一制冷剂冷却一冷却体，该冷却系统包括：
一压缩区，压缩该制冷剂；一循环流路，包括一冷却体侧管，该冷却体侧管连接该压缩区、位于该冷却体侧边并循环该制冷剂，让被该压缩区压缩的该制冷剂与该冷却体进行热交换；如权利要求1至权利要求10任一项所述的一制冷剂控制系统；以及，一热交换区，设置于该冷却体侧管并让该冷却体侧管内的该制冷剂与该冷却体进行热交换。
21.权利要求12的冷却系统，如权利要求11所述的该冷却系统，其中该热交换区包括一第一热交换区及一第二热交换区，该第一热交换区冷却该冷却体，该第二热交换区加热被该第一热交换区冷却的该冷却体；其中该冷却体侧管包括一第一冷却体侧管及一第二冷却体侧管，该第一冷却体侧管位于该第一热交换区的侧边，该第二冷却体侧管位于第二热交换区的侧边，其中该冷却系统还包括：一侦测区，该侦测区侦测该出口侧管的温度或该入口侧管的温度；一第五管路，与该第一冷却体侧管的该第一热交换区的一上游部及该入口侧管连接；一第五开关阀，设置于该第五管路，该第五开关阀用于调整该冷却体侧管内的该制冷剂流入该入口侧管的数量；以及，其中该开关控制区根据该侦测区的一侦测结果控制该第五开关阀的开启角度。
22.权利要求13的冷却系统，如权利要求12所述的该冷却系统，还包括：一第六开关阀，设置于该第一冷却体侧管内该第一热交换区的一上游部，该第六开关阀调整该第一冷却体侧管内的该制冷流入该第一热交换区的数量；以及，一第七开关阀，设置于该第二冷却体侧管内该第二热交换区的一下游部，该第七开关阀调整与该第二热交换区进行热交换且流入该入口侧管的该制冷剂的数量；其中该开关控制区根据通过一预定方法取得该冷却体的一温度，来控制该第六开关阀及该第七开关阀开启角度。
23.权利要求14的冷却系统，如权利要求12或权利要求13所述的该冷却系统，还包括一压缩控制区，该压缩控制区根据该侦测区的该侦测结果以及用该预定方法取得该冷却体的该温度控制该压缩区。
24.权利要求15的冷却系统，如权利要求12至权利要求14任一项所述的该冷却系统，还包括一制冷剂热交换区，该制冷剂热交换区让位于该第一冷却体侧管的该第一热交换区的该上游部内的该制冷剂与位于该第二冷却体侧管得该第二热交换区的该下游部内的该制冷剂进行热交换。
25.本发明的优点
26.依据权利要求1所述的该制冷剂控制系统及权利要求11所述的该冷却系统，因通过第一管路连接构成该循环流路的出口侧管并位于该压缩区的出口侧，以便让该出口侧管内的该制冷剂经流入该第一管路该储存区；第二管路，与构成该循环流路的一入口侧管连接并位于该压缩区的一入口侧，使该储存区的该制冷剂经该第二管路流入该入口侧管；一第三管路连接该入口侧管，其形成让该第三管路的热量低于该出口侧管的热量，借此让热量转移至该储存区的该制冷剂；一第一开关阀，设置在该第一管路，通过切换该第一开关阀让该出口侧管的该制冷剂流入该储存区；一第二开关阀，设置在该第二管路，通过切换该第二开关阀让该储存区的该制冷剂流入该入口侧管；一第三开关阀，设置在该第三管路，通过切换该第三开关阀让该第三管路中与该储存区相关联的一上游部内的该制冷剂流入该第三管路位于该储存区侧边的部分，即可通过第三管路的热量(冷却热能)冷却该储存区中的该制冷剂。借此，该制冷剂可以高密度状态储存于该储存区，以增加紧凑尺寸的储存区的制冷剂储存量。此外，因该开关控制单元是根据该冷却体的该设定温度控制开启或关闭该第
一开关阀、该第二开关阀及该第三开关阀，可依据该冷却体的该设定温度控制该第一开关阀、该第二开关阀及该第三开关阀的开启与关闭。据此可有效冷却储存区中的制冷剂并提高制冷剂控制系统和冷却系统的可用性。
27.依据权利要求2所述的该制冷剂控制系统，因为当该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的一临界温度时，该开关控制区开启该第一开关阀与该第三开关阀，并关闭该第二开关阀；当该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的一临界温度时，该开关控制区关闭该第一开关阀与该第三开关阀，并开启该第二开关阀。可根据冷却体的设定温度是否高于制冷剂的临界温度来控制开启和关闭第一开关阀、第二开关阀和第三开关阀，进一步有效冷却储存区中的制冷剂。
28.依据权利要求3所述的该制冷剂控制系统，因至少当经一预定方法取得该压缩区的一运转压力值高于一阈值、或该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的该临界温度时，该开关控制区开启该第一开关阀及该第三开关阀，并关闭该第二开关阀；至少当经该预定方法取得该压缩区的一运转压力值低于该阈值、或该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度时，关闭该第一开关阀及该第三开关阀，并开启该第二开关阀。借此与仅根据该冷却体的该设定温度控开启或关闭该第一开关阀、该第二开关阀及该第三开关阀的情况相比，因为该制冷剂流入该储存区的热量抑制流路内的剩余压力，造成在该临界温度下让容易维持该储存区的该温度或维持更多的该制冷剂(或一过热蒸气温度)。
29.依据权利要求4所述的该制冷剂控制系统，因一第四管路连接该出口侧管，其形成让该第四管路的热量高于该第三管路，使得热量得以传送至该储存区中的该制冷剂；以及，一第四开关阀，设置于该第四管路，通过切换该第四开关阀可让位于该第四管路该储存区上游部内的该制冷剂流入该第四管路内的该储存区该侧的一部分，利用该第四管路的热量(加热热量)加热该储存区内的该制冷剂，并当该流路中的该制冷剂数量增加时，降低该储存区内该制冷剂的密度。此外，因该开关控制单元根据该冷却体的该设定温度控制开启或关闭该第一开关阀、该第二开关阀、该第三开关阀及该第四开关阀，即可根据该冷却体的该设定温度控制开启或关闭该第一开关阀、该第二开关阀、该第三开关阀及该第四开关阀。借此可有效冷却与加热该储存区内的该制冷剂并依据该储存区的情况储存该制冷剂。
30.依据权利要求5所述的该制冷剂控制系统，因当该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的该临界温度时，该开关控制区开启该第一开关阀及该第三开关阀，并关闭该第二开关阀及该第四开关阀；并于该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度时，该开关控制区关闭该第一开关阀及该第三开关阀，开启该第二开关阀及该第四开关阀。借此跟据该冷却体的该设定温度是否高于该制冷剂的该临界温度，控制开启或关闭该第一开关阀、该第二开关阀、该第三开关阀及该第四开关阀，可有效冷却与加热该储存区内的该制冷剂。
31.依据权利要求6所述的该制冷剂控制系统，通过形成一第一子管及一第二子管，可避免该储存部30内的该制冷剂经该第一子管及该第二子管逆向流入该出口侧管或该入口侧管，该第一子管和该第二子管的各部即位于其他部分上方，冷却该储存区时让该储存区内的该制冷剂的密度高于该第一管路与该第二管路的该制冷剂非常多。借此，即可避免因重力让该储存区内的该制冷剂经该第一管路或该第二管路逆向流入该出口侧管或该入口侧管，并可准确地管理该流路中该制冷剂的该数量。
32.依据权利要求7所述的该制冷剂控制系统，设置一防流入区以防止外部物质经该
第一管路流入该储存区，即可防止以防止外部物质经该第一管路流入该储存区，并防止该储存区内的该制冷剂被外部物质污染。
33.依据权利要求8所述的该制冷剂控制系统，设置一温度调整区，该温度调整区调整该储存区内的该制冷剂的一温度，即可调整该储存区内的该制冷剂的该温度。相应地，可容易的通过利用如该温度调整单元的热(冷热cold heat)冷却该储存区内的该制冷剂，且容易高密度储存该制冷剂于该储存区内。
34.依据权利要求9所述的该制冷剂控制系统，因该制冷剂是二氧化碳，即使二氧化碳比氯氟碳气体更容易扩散该氯氟碳气体，仍可防止该流路的压力过高。
35.依据权利要求10所述的该制冷剂控制系统，因该冷却体为用于冷却该半导体制程系统半导体制程系统的该制冷剂，即使当该冷却体的温度范围较宽的状况下，仍可防止该流路的压力过高，并防止因该储存区内的该制冷剂凝结，造成该流路内的该制冷剂的该流速降低。
36.依据权利要求12所述的该冷却系统，因该冷却体侧管包括一第一冷却体侧管以及一第二冷却体侧管，该第一冷却体侧管位于该第一热交换区的该侧，该第二冷却体侧管位于该第二热交换区的该侧，其中该冷却系统还包括一侦测区，该侦测区侦测该出口侧管内一温度或该入口侧管内的一温度；一第五管路，其与该第一冷却体侧管的该第一热交换区的上游部及该入口侧管连接；以及，一第五开关阀，其位于该第五管路且可调整该冷却体侧管内该制冷剂流入该入口侧管的数量，其中该开关控制区根据该侦测区的一侦测结果控制该第五开关阀的开启角度，即可根据该制冷剂的该温度调整该第五开关阀的开启角度，且有效调整该出口侧管内该制冷剂的该温度。
37.依据权利要求13所述的该冷却系统，因一第六开关阀设置于该第一冷却体侧管内该第一热交换区的一上游部，且第六开关阀调整该第一冷却体侧管内该制冷剂流入该第一热交换区的数量；以及，一第七开关阀，其设置于该第二冷却体侧管内该第二热交换区的一下游部，并调整该制冷剂与该第二热交换区进行热交换并流入该入口侧管的数量，其中该开关控制区根据一预定方法取得该冷却体的一温度控制该第六开关阀与该第七开关阀的开启温度，即可根据该冷却体的该温度调整该第六开关阀与该第七开关阀的开启角度，并有效调整该冷却体侧管内该制冷剂的该温度。
38.依据权利要求14所述的该冷却系统，因一压缩控制区，其根据该侦测区的该侦测结果及用该预定方法取得该冷却体的该温度控制该压缩区，可让该压缩单元根据该制冷剂的该温度与该冷却体的该温度并有效地控制该压缩单元。
39.依据权利要求15所述的该冷却系统，因一制冷剂热交换区，其让该第一冷却体侧管内该第一热交换区的该上游部内的该制冷剂与该第二冷却体侧管内该第二热交换区的该下游部内的该制冷剂之间进行热交换，可提高该第二冷却体侧管内该第二热交换单元的该下游部内的该制冷剂的该温度，并让干燥的该制冷剂流入该压缩单元。
附图说明
40.图1是本发明的一实施例的一冷却系统的概要图；
41.图2是图1的一储存部的一区域的放大图；
42.图3是控制装置的电器配置示意图；
43.图4是该实施例控制流程的步骤流程示意图；
44.图5是当关闭或开启第一开关阀至第四开关阀时，第一制冷剂的流动示意图，其中图5(a)是该第一开关阀与该第三开关阀开启且该第二开关阀与该第四开关阀关闭的状态；图5(b)是该第一开关阀与该第三开关阀关闭且该第二开关阀与该第四开关阀关闭的状态；
45.图6是第一温度调整流程的步骤流程图；
46.图7是第二温度调整流程的步骤流程图；
47.图8是冷却系统修改实例示意图；
48.图9是冷却系统修改实例示意图；
49.图10是第一子管及第二子管修改实例示意图；
50.图11是该冷却系统修改实例示意图；
51.图12是该冷却系统修改实例示意图；
52.图13是该冷却系统修改实例示意图。
53.【符号说明】
54.冷却系统 1
55.第一冷却系统 10
56.压缩单元 20
57.压缩单元本体 21
58.第一出口 22
59.第一入口 23
60.第二出口 24
61.第二入口 25
62.第三入口 26
63.储存部 30
64.第一热交换单元 41
65.第二热交换单元 42
66.第三热交换单元 43
67.第四热交换单元 44
68.第五热交换单元 45
69.第六热交换单元 46
70.第一去除单元 47
71.第二去除单元 48
72.循环单元 50
73.第一循环单元 60
74.第一循环流路 61
75.压缩单元侧管 62
76.出口侧管 62a
77.入口侧管 62b
78.辅助管 62c
79.辅助阀 62d
80.冷却体侧管 63
81.第一冷却体侧管 63a
82.第二冷却体侧管 63b
83.第一子管 71a
84.第二子管 71b
85.第三子管 71c
86.第四子管 71d
87.第五子管 71e
88.第六子管 71f
89.第一开关阀 72a
90.第二开关阀 72b
91.第三开关阀 72c
92.第四开关阀 72d
93.第五开关阀 72e
94.第六开关阀 72f
95.第七开关阀 72g
96.第八开关阀 72h
97.温度侦测单元 73
98.第一压力侦测单元 74a
99.第二压力侦测单元 74b
100.第三压力侦测单元 74c
101.第一排放阀 75a
102.第二排放阀 75b
103.防流入部 76
104.第二循环单元 80
105.第二循环流路 81
106.压力侦测单元 82
107.第二冷却系统 100
108.通风单元 110
109.储存部 120
110.辅助箱 121
111.传输单元 130
112.传输流路 131
113.第一子传输管 132a
114.第二子传输管 132b
115.第三子传输管 132c
116.第四子传输管 132d
117.第五子传输管 132e
118.第一传输开关阀 133a
119.第二传输开关阀 133b
120.第三传输开关阀 133c
121.第四传输开关阀 133d
122.第五传输开关阀 133e
123.泵浦单元 134
124.第一传输温度侦测单元 135a
125.第二传输温度侦测单元 135b
126.第三传输温度侦测单元 135c
127.传输压力侦测单元 136
128.流速侦测单元 137
129.液位侦测单元 138
130.第三冷却系统 200
131.第一传输流路 201
132.第二传输流路 202
133.第六传输开关阀 203
134.第七传输开关阀 204
135.第八传输开关阀 205
136.传输温度侦测单元 206
137.去除单元 207
138.控制装置 300
139.运转单元 310
140.通讯单元 320
141.输出单元 330
142.电源供应单元 340
143.控制单元 350
144.开关控制单元 351
145.压缩控制单元 352
146.储存单元 360
具体实施方式
147.在下文中，将参照附图说明根据本发明的制冷剂控制系统和冷却系统说明其实施例。首先，将说明[i]实施例的基本概念，其次将说明[ii]实施例的具体内容，最后将说明[iii]实施例的修改实例，但本发明范围不限于实施例。
[0148]
[i]实施例的基本概念
[0149]
首先，说明实施例的基本概念。实施例图示涉及一种冷却系统和一种制冷剂控制系统，该制冷系统和制冷剂控制系统用于控制循环流动于一循环流路的制冷剂，借此让被压缩区所压缩的制冷剂与冷却体进行热交换。在此处的「制冷剂」是指用于冷却体的冷却介质且其概念包括，例如，气态制冷剂(如：二氧化碳、氟氯碳和空气等)，液态制冷剂(如：水)及其相似物等。但在实施例中，制冷剂即为二氧化碳。此外，「冷却体」意指要被冷却的物体，
其概念包括如装置本身(或系统本身)、用于该装置(或系统)的冷却制冷剂(如气态或液态的冷却制冷剂)等。但在实施例中，冷却体即为用于半导体制程系统的冷却制冷剂(具体而言即为液体的冷却制冷剂)。
[0150]
[ii]实施例具体内容
[0151]
其次，说明实施例的具体内容。
[0152]
(配置)
[0153]
首先，依据实施例说明该冷却系统的配置。图1是依据本发明的一实施例冷却系统的概要图。图2是图1的一储存部的一区域的放大图。再者，如下所述，图1的该x方向指的是该冷却系统的左右向(该+x方向指的是该冷却系统的左向，且
‑
x方向指的是该冷却系统的右向，图1的y方向指的是该冷却系统的前后向(+y方向指的是该冷却系统的前向，且
‑
y方向指的是该冷却系统的后向)，并且图2的z方向指的是上下向(+z方向指的是该冷却系统的上向，
‑
z方向指的是该冷却系统的下向)。
[0154]
冷却系统1是利用第一制冷剂冷却一第二制冷剂的系统并如图1所示，冷却系统1包括一第一冷却系统10、一第二冷却系统100、一第三冷却系统200、及一控制装置300，其中控制装置300稍后详述于图3。在此，该“第一制冷剂”用于冷却该第二制冷剂并由下文的循环单元50进行循环。此外，该“第二制冷剂”被该第一制冷剂冷却且并由第二冷却系统100的传输流路131送出，将在下文中说明。此外，该第一制冷剂对应于权利要求中的该“制冷剂”，而该第二制冷剂对应于权利要求中的该“冷却体”。
[0155]
(配置
‑
第一冷却系统)
[0156]
该第一冷却系统10是一使该第一制冷剂与每一该第二制冷剂及该第三制冷剂健行热交换的系统，如图1所示，该第一冷却系统10包括一压缩单元20、一储存部30、第一热交换单元41至第六热交换单元46、一第一去除单元47、一第二去除单元48、以及一循环单元50。在此，该"第三制冷剂"用于冷却该第一制冷剂并由下文第三冷却系统200的一第一传输流路201或一第二传输流路202进行传输，基本上包括比如一种气态制冷剂和一种液态制冷剂等。然在实施例中，该第三制冷剂是工业用水。
[0157]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
压缩单元)
[0158]
该压缩单元20是一压缩区，其压缩该第一制冷剂。该压缩单元20通过如现有压缩机(频率控制操作型两段式压缩机，比如，具有逆向器驱动电路的压缩机)及其相似品。具体而言，该压缩单元20包括一压缩单元本体21、一第一出口22、一第一入口23、一第二出口24、一第二入口25、及一第三入口26。
[0159]
其中，该压缩单元本体21是该压缩单元20的基本结构且呈中空形状。此外，该第一出口22是让该压缩单元本体21内的该第一制冷剂流出到下文所述的一第一循环流路的开口61的开口。此外，该第一入口23是让下文所述的该第一循环流路的开口61内的该第一制冷剂流入该压缩单元本体21的开口。再者，该第二出口24是让该压缩单元本体21内的该第一制冷剂流出到下文所述的一第二循环流路81。此外，该第二入口25是让下文所述的该第二循环流路81内的该第一制冷剂流入该压缩单元本体21的开口。此外，该第三入口26是让下文所述的一辅助管62内的该第一制冷剂(与下文第二去除单元48分离的油剂)流入该压缩单元本体21的开口。
[0160]
再者，压缩单元20可为任意的具体操作内容，但在本实施例说明如下。首先由下文
所述的该第一循环流路61流出经该第一入口23流入该压缩单元本体21的该第一制冷剂被压缩，且压缩后的该第一制冷剂经该第二出口24流出到下文所述的该第二循环流路81(以下称为“第一压缩运转”)。其次，由下文所述的该第二循环流路81流出经该第二入口25流入该压缩单元本体21的该第一制冷剂被压缩，且该被压缩的该第一制冷剂经该第一出口22流出到下文所述的该第一循环流路61(以下称为“第二压缩运转”)。随后，一运转循环包括该第一压缩运转及该第二压缩运转的运转循环。借此，被该压缩单元20压缩两次的该第一制冷剂可由下文所述的该第一循环流路61流出，与仅进行一次压缩运转的情况相比该第一制冷剂可被有效的被压缩。
[0161]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
储存部)
[0162]
该储存部30是一储存区，该储存区储存该第一制冷剂。该储存部30是比如由一现有制冷剂储存装置(比如，一具有可让第一制冷剂进出的一个流进端口(未图示)的中空柱状膨胀箱)所构成，并如图1所示，位于第二冷却系统100对应压缩单元20的一侧。
[0163]
再者，该储存部30的明确尺寸为任意(比如，直径和高度)，但可根据测试结果等状况设定尺寸，因为只要能达到储存该第一制冷剂的期望数量的目的，该储存部30的尺寸越小越好。
[0164]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
第一热交换单元至第六热交换单元)
[0165]
该第一热交换单元41是一第一热交换区，该第一热交换区让如下文所述的第一循环流路61内的该第一制冷剂与该第二制冷剂进行热交换，并冷却该第二制冷剂。该第一热交换单元41是比如由一现有热交换器(比如，蒸发器)或其类似物品所构成，如图1所示，该第一热交换单元41位于邻近第二冷却系统100处，(图1中，如下文所述的该传输流路131的上游部分)。
[0166]
该第二热交换单元42是一第二热交换区，该第二热交换区让如下文所述的第一循环流路61内的该第一制冷剂与该第二制冷剂进行热交换，并可加热被该第一热交换单元41冷却的该第二制冷剂。该第二热交换单元42是比如由一现有热交换器(比如，平板式热交换器)或其相似物品所构成，如图1所示，该第二热交换单元42位于邻近该第二冷却系统100处，(图1中，如下文所述的该传输流路131的下游部分)。借此，第二热交换单元42可加热被该第一热交换单元41过度冷却的该第二制冷剂，并可容易地将下文所述的该传输流路131的下游部分的温度在一期望温度。此外，该“第一热交换单元41”及该“第二热交换单元42”对应于权利要求中的该“热交换区”。
[0167]
该第三热交换单元43是一第三热交换区，该第三热交换区如下文所述的第一循环流路61内的该第一制冷剂与第三制冷剂该进行热交换，并可冷却该第一制冷剂。该第三热交换单元43是比如由现有热交换器(比如，热交换器)或其相似物品所构成，并如图1所示，该第三热交换单元43位于邻近该第三冷却系统200处。
[0168]
该第四热交换单元44是一第四热交换区，第四热交换区让如下文所述的第一循环流路61内的该第一制冷剂与该第三制冷剂进行热交换，并可冷却该第一制冷剂。该第四热交换单元44是比如由一现有热交换器或其类似物品所构成，如图1所示，该第四热交换单元44位于邻近该第三冷却系统200处(图1中，不同于该第三热交换单元43的位置)。
[0169]
该第五热交换单元45是一第五热交换区，第五热交换区让如下文所述的第一冷却体侧管63a内该第一热交换单元41上游部内的该第一制冷剂与如下文所述的第六子管71f
内的该第一制冷剂进行热交换，并可冷却如下文所述的第一冷却体侧管63a内该第一制冷剂。该第五热交换单元45是由比如由一现有热交换器或其相似物品所构成，如图1所示，该第五热交换单元45位于该第二热交换单元42与该第三热交换单元43之间。借此，第五热交换单元45可冷却(过冷)如下文所述的第一冷却体侧管63a内该第一热交换单元41上游部内的该第一制冷剂，并改善该冷却系统1的冷却效率，相较于未设置第五热交换单元45的情况，对第二制冷剂的冷却效果更佳。
[0170]
该第六热交换单元46是一制冷剂热交换区，该制冷剂热交换区让如下文所述的第一冷却体侧管63a内该第一热交换单元41上游部内的该第一制冷剂与如下文所述的该第二冷却体侧管63b内该第二热交换单元42该下游部内的该第一制冷剂进行热交换，并可加热如下文所述的该第二冷却体侧管63b内的该第一制冷剂。该第六热交换单元46是由比如一现有热交换器或其类似物品所构成，并如图1所示，位于该储存部30与该第一热交换单元41(或该第二热交换单元42)之间。借此，第六热交换单元46可提高如下文所述的该第二冷却体侧管63b内该第二热交换单元42该下游部内的该第一制冷剂的温度，并让干燥的该第一制冷剂流入该压缩单元20。
[0171]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
第一去除单元)
[0172]
该第一去除单元47是第一去除段，用于去除外部物质(比如：碎屑、灰尘、等)、水份、或包含在如下文所述的该第一循环流路61内该第一制冷剂中的前述物质及其类似物。该第一去除单元47的配置使用比如：一现有制冷剂去除装置(比如：过滤干燥器)及其类似物，且如图1所示，该第一去除单元47位于该第三热交换单元43与该第五热交换单元45之间。
[0173]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
第二去除单元)
[0174]
该第二去除单元48是一第二去除段，用于去除外部物质(比如：油或其相似物)包含在如下文所述的该第一循环流路61内该第一制冷剂中。该第二去除单元48的配置使用比如，一现有的油分离器或其相似物，且如图1所示，该第二去除单元48位于该压缩单元20与该储存部30之间。
[0175]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
循环单元)
[0176]
该循环单元50是用于循环该第一制冷剂的一循环段，如图1所示，该循环单元50包括一第一循环单元60及一第二循环单元80。
[0177]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
循环单元
‑
第一循环单元)
[0178]
该第一循环单元60是用于循环该第一制冷剂朝向该第二冷却系统100，如图1所示，该第二冷却系统100包括一第一循环流路61、第一子管71a至第六子管71f、一第一开关阀72a至第八开关阀72h、一温度侦测单元73、一第一压力侦测单元74a至第三压力侦测单元74c、一第一排放阀75a及第二排放阀75b。
[0179]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
循环单元
‑
第一循环单元
‑
第一循环流路)
[0180]
该第一循环流路61是一循环流路用于循环该第一制冷剂，借此让被该压缩单元20压缩的该第一制冷剂与该第二制冷剂间进行热交换。该第一循环流路61的配置使用比如：一现有的封闭式循环流路，如图1所示，穿过压缩单元20、该第二去除单元48、该储存部30、该第一热交换单元41至该第六热交换单元46及该第一去除单元47。此外，如图1所示，该第一循环流路61包括一压缩单元侧管62及一冷却体侧管63。
[0181]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
循环单元
‑
第一循环单元
‑
第一循环流路
‑
压缩单元侧管)
[0182]
该缩单元侧管62是构成第一循环流路61位于压缩单元20的该侧的一个管路。该压缩单元侧管62的配置使用比如：一现有制冷剂管路或其相似物(此外，其他管路配置也相同)且如图1所示，包括一出口侧管62a、一入口侧管62b及一辅助管62c。
[0183]
该出口侧管62a是位于该压缩单元20的第一出口22的一个管路，并接到该压缩单元20的第一出口22和冷却体侧管63的上游端部。具体而言，如图1所示，该出口侧管62a的连接可让整个该出口侧管位于该储存部30的外部。
[0184]
该入口侧管62b是位于压缩单元20的第一入口23侧的一个管路，如图1所示，该入口侧管62b连接压缩单元20的第一入口23和冷却体侧管63的下游端部。
[0185]
该辅助管62c是位于压缩单元20的第三入口26侧的一个管路，如图1所示，该辅助管62c连接到压缩单元20的第三入口26和第二去除单元48。此外，该辅助管62c设置可用于切换是否可让辅助管62c中的油剂流入压缩单元本体21的辅助阀62d(如现有用于电磁阀的开关阀)。
[0186]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
循环单元
‑
第一循环单元
‑
第一循环流路
‑
冷却体侧管)
[0187]
该冷却体侧管63是位于构成第一循环流路61管路中的第二冷却系统100侧(冷却体侧)的一个管路，如图1所示，包括一第一冷却体侧管63a和一第二冷却体侧管63b。
[0188]
该第一冷却体侧管63a是位于第一热交换单元41侧的一个管路，连接出口侧管62a下游端部和入口侧管62b的上游端部。具体而言，如图1所示，第一冷却体侧管的连接依序经过第六热交换单元46、第三热交换单元43、第一去除单元47、第五热交换单元45、第一热交换单元41和第六热交换单元46。
[0189]
该第二冷却体侧管63b是位于第二热交换单元42侧的一个管路，连接出口侧管62a的下游端部和入口侧管62b的上游端部。具体而言，如图1所示，第二冷却体侧管的连接依序穿过第二热交换单元42和第六热交换单元46。再者，在本实施例方式中，如图1所示，第二冷却体侧管63b的下游部(具体而言，是从第二冷却体侧管63b的下游端部向第六热交换单元46上游侧延伸的部分)与第一冷却体侧管63a的下游部一体成型，还可用作为第一冷却体侧管63a的下游部。
[0190]
此外，第一制冷剂在第一循环流路61中的流动说明如下。
[0191]
首先，一部分被该压缩单元20压缩的该第一制冷剂经该出口侧管62a流出到该第一冷却体侧管63a。接者，流出到该第一冷却体侧管63a的该第一制冷剂被该第三热交换单元43及该第五热交换单元45冷却，且通过该第一热交换单元41与该第二制冷剂(具体而言，此热交换为冷却第二制冷剂)进行热交换。随后，与该第二制冷剂进行热交换的该第一制冷剂被该第六热交换单元46加热并经该第一冷却体侧管63a与该入口侧管62b流入该压缩单元20。此外，被该压缩单元20压缩的该第一制冷剂的另一部分经该出口侧管62a流出到该第二冷却体侧管63b。其次，流出到该第二冷却体侧管63b的该第一制冷剂通过该第二热交换单元42与该第二制冷剂进行热交换(具体而言，此热交换为加热第二制冷剂)。随后，exchanging heat with与该第二制冷剂进行热交换的该第一制冷剂被该第六热交换单元46加热，并经该第二冷却体侧管63b与该入口侧管62b流进该压缩单元20。
[0192]
此第一循环流路61可循环该第一制冷剂，使得该第一循环流路61中的该第一制冷剂能与如下方所述的该传输流路131中的该第二制冷剂进行热交换。
[0193]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
循环单元
‑
第一循环单元
‑
第一子管至第六子管)
[0194]
该第一子管71a是一第一管路，用于让该出口侧管62a内的该第一制冷剂经该第一子管71a流入该储存部30。该第一子管71a与该出口侧管62a连接。具体而言，如图1所示，该第一子管71a的上游端部连接该出口侧管62a中与该储存部30相关联的该上游部，且该第一子管71a的下游端部设置于该储存部30内部。借此，第一子管71a可让该出口侧管62a内的该第一制冷剂流入该储存部30并防止第一循环流路61中的压力过大。特别是，与第一子管71a连接该入口侧管62b的情况相比，该第一子管71a连接该出口侧管62a可有效地防止该第一循环流路61的压力过大。此外，因该第一制冷剂流入该储存部30的热可让该储存部30内的温度也能容易为持在第一制冷剂的临界温度或以上(如31℃、或31℃以上、或相似温度)，即可抑制因该储存部30内的该第一制冷剂凝结造成该第一循环流路61内的该制冷剂数量减少的情况。
[0195]
该第二子管71b是一第二管路，让该储存部30内的该第一制冷剂经该第二子管71b流入该入口侧管62b。该第二子管71b连接该入口侧管62b。具体而言，如图1所示，该第二子管71b的该上游端部连接该入口侧管62b中与该压缩单元20相关联的该上游部，且该第二子管71b的该下游部设置于该储存部30的内部。此外，如图1所示，在实施例中，该第二子管71b在该储存部30侧边的部分与该第一子管71a在该储存部30的部分一体成形连接，可做为第一子管71a于储存部30侧的一部分。然而，本发明不限于此，例如，第二子管可与第一子管71a储存部30侧的一部分分开，此第二子管71b可让储存部30内的第一制冷剂(剩余的第一制冷剂)流进入口侧管62b，因为其流进的热量可让入口侧管62b的温度上升，在第一制冷剂中，可避免饱和蒸汽流进压缩单元20所造成的压缩单元20功能劣化或故障等问题。
[0196]
该第三子管71c是一第三管路，用于将第三子管71c中比出口侧管62a更低的热能(具体而言，被该第三子管71c内的第一制冷剂所冷却的第三子管71c的低温热)传输至储存部30中的第一制冷剂，第三子管71c连接至入口侧管62b(具体而言，即为入口侧管62b中压缩单元20该侧的一部分)。
[0197]
此外，形成第三子管71c可为任意方法，但在本实施例中，第三子管71c的形成可让热能传输到储存部30的第一制冷剂中。具体而言，如图1所示，该第三子管71c的一部分大致弯曲成u形，借此该第三子管71c的一部分可容纳在储存部30中。但本发明不限于此，例如，第三子管可以是第三管路弯曲呈现圈状的部分，借此让第三管路的一部分位于储存部30外部并缠绕储存部30。
[0198]
该第四子管71d是一第四管路，用于将第四子管71d中比第三子管71c更高的热能(具体而言，即为第四子管71d中被第一制冷剂所加热的第三子管71c热能)传输至储存部30的第一制冷剂中，第四子管71d连接出口侧管62a(具体而言，即为出口侧管62a中与第二去除单元48相关联的下游部)。
[0199]
此外，形成第四子管71可为任意方法，但在本实施例中，该第四子管71d的形成可让热能传输到储存部30内的第一制冷剂。具体而言，如图1所示，第四子管71d的一部分大致弯曲成u形，第四子管71d的一部分容纳在储存部30中。但本发明不限于此，例如，第四子管71d的一部分可弯曲成线圈状，让第四子管71d的一部分位在储存部30外并缠绕储存部30。
[0200]
该第五子管71e是一第五管路，用于让该第一冷却体侧管63a内的该第一制冷剂流入该入口侧管62b，且该第五子管71e连接该第一冷却体侧管63a及该入口侧管62b。具体而
言，如图1所示，该第五子管与该第一冷却体侧管63a中与该第一热交换单元41相关联的该上游部及该入口侧管62b的该上游部连接。借此，第五子管71e可让该第一冷却体侧管63a中与该第一热交换单元41相关联的该上游部内的该第一制冷剂流入该入口侧管62b，且可通过该第一制冷剂的流动调整该第一循环流路61内该第一制冷剂的温度。
[0201]
该第六子管71f是位于该第五热交换单元45侧边的第六管路，并连接该第四子管71d、该第一冷却体侧管63a、及该第三子管71c，并穿过该第六热交换单元46。具体而言，如图1所示，该第六子管71f的该上游端部连接该第四子管71d与对该储存部30相关的该上游部，且该第六子管71f的下游端部连接该第三子管71c的该下游端部。借此第六子管71f可让该第六子管71f内的该第一制冷剂与该第一冷却体侧管63a内的该第一制冷剂进行热交换。
[0202]
在此处，第一子管71a和第二子71b可为任意的特定配置，但是本实施例中，其配置如下。
[0203]
由于第一子管71a和第二子管71b的形成可让第一子管71a和第二子管71b中的各部分位于另一部分的上方，即可防止该储存部30内的该第一制冷剂经该第一子管71a或该第二子管71b逆向流入该出口侧管62a或该入口侧管62b。具体而言，如图2所示，该第一子管71a与该第二子管71b皆呈弯曲状，可弯曲收纳在第一子管71a、第二子管71b和第二子管71b中的每个储存部30中，其附近的一部分位于其他部分的上方(更具体而言，收纳在储存部30的前端部是位于储存部30上端部附近，并位于第三子管71c和第四子管71d上方)。因此，因为当冷却储存部30时，储存部30中的第一制冷剂密度远大于第一子管71a和第二子管71b中的第一制冷剂密度，即可防止储存部30中的第一制冷剂因为重力作用经第一子管71a或第二子管71b逆向流到出口侧管62a或入口侧管62b，可精确管理第一制冷剂在第一循环流路61中的流量。
[0204]
此外，如图2所示，该第一子管71a具有一防流入部76。该防流入部是一防流入区，用于防止外部物质(比如：油或相似物质)经该第一子管71a流入该储存部30，防流入部76是位于第一子管71a侧部的穿透孔，且部分容置于储存部30内的第一子管71a(具体而言，即为该对应部分的下端部)。因此，当第一制冷剂经过第一子管71a流入储存部30时，外部物质可经过防流入部76排出到第一子管71a的外部。因此，可防止外部物质经过第一子管71a流入储存部30，也可防止储存部30中的第一制冷剂受外部物质污染。
[0205]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
循环单元
‑
第一循环单元
‑
第一开关阀至第八开关阀)
[0206]
回到图1，该第一开关阀72a是用于切换可让出口侧管62a中的第一制冷剂流入储存部30的一个阀门。该第一开关阀72a的配置利用比如一现有开关阀(比如一电磁阀)或类似物件(相同应用的其他开关阀)，且设置于该第一子管71a。具体而言，如图1所示，该第一开关阀连接到该第一子管71a中该压缩单元20的侧边部分。
[0207]
该第二开关阀72b是让该储存部30内的该第一制冷剂是否流入该入口侧管62b的一个阀门，且设置于该第二子管71b。具体而言，如图1所示，该第二开关阀连接到该第二子管71b中该压缩单元20的侧边部分。
[0208]
该第三开关阀72c是切换是否可让第三子管71c储存部30上游部的第一制冷剂流进第三子管71c储存部30侧部的一个阀门，设置在第二子管71b。具体而言，如图1所示，该第三开关阀与该第三子管71c的上游端部与该储存部30连接。
[0209]
该第四开关阀72d是用于切换是否可让第四子管71d储存部30上游部的第一制冷
剂流进第四子管71d储存部30侧部的一个阀门，设置于第四子管71d中。具体而言，如图1所示，该第四开关阀与该第四子管71d的上游端部及该储存部30连接。
[0210]
该第五开关阀72e是用于调整该冷却体侧管63内的该第一制冷剂流入该入口侧管62b的数量的阀门，并设置于该第五子管71e。具体而言，如图1所示，该第五开关阀连接该第五子管71e的该上游部。
[0211]
该第六开关阀72f是用于调整该冷却体侧管63内的该第一制冷剂流入该第一热交换单元41的数量的阀门，且设置于该第一冷却体侧管63a。具体而言，如图1所示，该第六开关阀与该第一冷却体侧管63a的该第一热交换单元41及该第五热交换单元45连接。
[0212]
该第七开关阀72g是用于调整该第一制冷剂与该第二热交换单元42进行热交换与流入该入口侧管62b的数量，并设置于该第二冷却体侧管63b。具体而言，如图1所示，该第七开关阀连接到该第二冷却体侧管63b中于该第一热交换单元41相关连的该下游部in。
[0213]
该第八开关阀72h是用于调整该第六子管71f中相关于该第五热交换单元45的该上游部内的该第一制冷剂流入该第六子管71f中相关于该第五热交换单元45的该下游部的数量，且该第八开关阀72h设置于该第六子管71f。具体而言，如图1所示，该第八开关阀连接该第六子管71f的该上游部。
[0214]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
循环单元
‑
第一循环单元
‑
温度侦测单元)
[0215]
该温度侦测单元73是一侦测区，用于侦测该出口侧管62a的温度。该温度侦测单元73的配置使用比如一现有温度侦测器或其相似物品(此外，该相同应用的其他温度侦测单元)，并设置于该出口侧管62a。具体而言，如图1所示，该温度侦测单元与该出口侧管62a邻近该压缩单元20的部分连接。
[0216]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
循环单元
‑
第一循环单元
‑
第一压力侦测单元至第三压力侦测单元)
[0217]
该第一压力侦测单元74a用于侦测该出口侧管62a的压力。该第一压力侦测单元74a的配置可利用比如一现有压力侦测器、压力开关、或类似物，且设置于该出口侧管62a的多个位置(如图1，两个位置)。具体而言，如图1所示，该第一压力侦测单元连接该出口侧管62a邻近该压缩单元20的部分。
[0218]
该第二压力侦测单元74b是用于侦测该入口侧管62b压力的侦测器。该第二压力侦测单元74b的配置可以是比如一现有压力侦测器或类似物，(此外，该携同应用可用于该第三压力侦测单元74c、如下所述的压力侦测单元82及一传输压力侦测单元136)，且设置于该入口侧管62b。具体而言，如图1所示，该第二压力侦测单元连接设置于该入口侧管62b邻近该压缩单元20处。
[0219]
该第三压力侦测单元74c用于侦测该冷却体侧管63的压力且设置于该第一冷却体侧管63a。具体而言，如图1所示，该第三压力侦测单元连接到该第五热交换单元45内的该第一冷却体侧管63a与该第六开关阀72f之间。
[0220]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
循环单元
‑
第一循环单元
‑
第一排放阀、第二排放阀)
[0221]
该第一排放阀75a是用于切换是否可让出口侧管62a中的第一制冷剂排出至第一排出部(未图示)的一个阀门，如图1所示，设置在出口侧管62a中。
[0222]
该第二排放阀75b是用于切换是否可让入口侧管62b中的第一制冷剂排出至第二排出部(未图示)的一个阀门，如图1所示，设置在入口侧管62b中。
[0223]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
循环单元
‑
第二循环单元)
[0224]
该第二循环单元80用于循环该第一制冷剂朝向该第二冷却系统100并包括，如图1，一第二循环流路81及该压力侦测单元82。
[0225]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
循环单元
‑
第二循环单元
‑
第二循环流路)
[0226]
该第二循环流路81是一用于循环该第一制冷剂的流路，借此让被该压缩单元20压缩的该第一制冷剂与该第三制冷剂间进行热交换。该第二循环流路81的配置可以是比如一现有封闭循环流路作为管路，且如图1所示，设置让其经过第四热交换单元44。第二循环流路81可循环该第一制冷剂，借此让该第二循环流路81内的该第一制冷剂与在下文的该第一传输流路201内的该第三制冷剂间进行热交换。
[0227]
(配置
‑
第一冷却系统
‑
循环单元
‑
第二循环单元
‑
压力侦测单元)
[0228]
该压力侦测单元82用于侦测该第二循环流路81的压力且设置于该第二循环流路81。具体而言，如图1所示，该压力侦测单元连接到该第二循环流路81的该下游部。
[0229]
(配置
‑
第二冷却系统)
[0230]
该第二冷却系统100是一系统，用于该第二制冷剂与该第一制冷剂的热交换，该第二冷却系统100包括，如图1所示，一通风单元110、一储存部120及一传输单元130。
[0231]
(配置
‑
第二冷却系统
‑
通风单元)
[0232]
该通风单元110用于排出累积于如下所述的该传输流路131内空气，且其配置可以是比如一现有排气装置(如排气箱)或其相似物。如图1所示，该通风单元设置于邻近该第二热交换单元42处。
[0233]
(配置
‑
第二冷却系统
‑
储存部)
[0234]
该储存部120用于储存该第二制冷剂且其配置可为比如一现有制冷剂储存区(比如一具有辅助箱121的一储存槽(或一不具有辅助箱121的一储存槽))或其类似物。如图1所示，该储存部设置于邻近该传输流路131处。
[0235]
(配置
‑
第二冷却系统
‑
传输单元)
[0236]
该传输单元130是一传输段用于传送该第二制冷剂朝向该第一冷却系统10并包括如图1所示，该传输流路131、第一子传输管132a至第五子传输管132e、一第一传输开关阀133a至第五传输开关阀133e、泵浦单元134、第一传输温度侦测单元135a至第三传输温度侦测单元135c、该传输压力侦测单元136、流速侦测单元137及液位侦测单元138。
[0237]
(配置
‑
第二冷却系统
‑
传输单元
‑
传输流路)
[0238]
该传输流路131是一流路用于传送该第二制冷剂朝向该第一冷却系统10。该传输流路131的配置可以是比如一现有流路配置为一管路(此外，该相同配置也可用于其他传输流路的配置)，且该传输流路131设置于穿过第一入口部(图未示)，可让第二制冷剂从外部流进传输流路131、该第一热交换单41、该第二热交换单元42、该通风单元110及第一出口部(图未示)，让该第二制冷剂由该传输流路131流到如图1所示的外部。具体来说，该传输流路131的上游端部连接该第一入口部，且该传输流路131的下游端部连接该第一出口部。借此，传输流路131可传送该第二制冷剂，以便该传输流路131的该第二制冷剂与该第一循环流路61的该第一制冷剂进行热交换。
[0239]
(配置
‑
第二冷却系统
‑
传输单元
‑
第一子传输管至第五子传输管)
[0240]
该第一子传输管132a是一管路，用于让该通风单元110内的该第二制冷剂经该第
一子传输管132a流入该储存部120。如图1所示，该第一子传输管132a的该上游端部连接该通风单元110，且该第一子传输管132a的下游端部连接该储存部120。
[0241]
该第二子传输管132b是一管路，用于让该储存部120内的该第二制冷剂经该第二子传输管132b流入该通风单元110。如图1所示，该第二子传输管132b的上游端部连接该储存部120，且该第二子传输管132b的下游端部连接该通风单元110。
[0242]
该第三子传输管132c是一管路，让该传输流路131的该上游部内的该第二制冷剂of经该第三子传输管132c流入该传输流路131的该下游部。如图1所示，该第三子传输管132c的该上游端部连接该传输流路131的该下游部，且该第三子传输管132c的下游端部连接该传输流路131的该下游部。
[0243]
该第四子传输管132d是一管路，用于将该传输流路131内的该第二制冷剂经该第四子传输管132d排放到第三排放部(图未示)。如图1所示，该第四子传输管132d的该上游端部连接该传输流路131与该第一热交换单元41侧边部分，该第四子传输管132d的该下游端部连接到该第三排放部。
[0244]
该第五子传输管132e是一管路，用于将该通风单元110内的该第二制冷剂经该第五子传输管132e排放到第四排放部(图未示)。如图1所示，该第五子传输管132e的该上游端部连接到该传输流路131的该下游部，且该第四子传输管132d的该下游端部连接到该第四排放部。
[0245]
(配置
‑
第二冷却系统
‑
传输单元
‑
第一传输开关阀至第五传输开关阀)
[0246]
该第一传输开关阀133a是用于切换可让第二制冷剂从第一入口部流进传输流路131的阀门。该第一传输开关阀133a的配置可以是比如一现有开关阀(比如一闸阀)或类似物(此外，相同应用可配置于该第二传输开关阀133b)，且设置于如图1所示，该传输流路131的该上游端部。
[0247]
该第二传输开关阀133b是用于切换可让第二制冷剂从传输流路131向第一出口部流出的一个阀门，如图1所示，设置在传输流路131下游端部。
[0248]
该第三传输开关阀133c是用于切换可让第三子传输管132c中的第二制冷剂流进传输流路131下游部的阀门。例如，第三传输开关阀133c的配置即使用一个已知的开关阀(如球阀)(再者，相同应用可配置于第四传输开关阀133d)，如图1所示，设置于第三子传输管132c。
[0249]
该第四传输开关阀133d是第四传输开关阀133d是用于切换可将第四子传输管132d中的第二制冷剂排出至第三排出部的一个阀门，如图所示，设置在第第四子传输管132d中。
[0250]
该第五传输开关阀133e是可让第五子传输管132e中的第二制冷剂排出至第四排出部的一个阀门，如图1所示，设置在第五子传输管132e中。
[0251]
(配置
‑
第二冷却系统
‑
传输单元
‑
泵浦单元)
[0252]
该泵浦单元134用于将该传输流路131内的该第二制冷剂由该第一入口部传输朝向该第一出口部，该泵浦单元134的配置可利用比如现有泵浦或类似物，且如图1所示，设置于该传输流路131的该下游部。
[0253]
(配置
‑
第二冷却系统
‑
传输单元
‑
第一传输温度侦测单元至第三传输温度侦测单元)
[0254]
该第一传输温度侦测单元135a用于侦测该传输流路131的温度，且如图1所示，设置于该传输流路131的该上游部。
[0255]
该第二传输温度侦测单元135b用于侦测该传输流路131的温度，且如图1所示，设置于该传输流路131中该第一热交换单元41的侧边部分。
[0256]
该第三传输温度侦测单元135c用于侦测该传输流路131的温度，且如图1所示，设置于该传输流路131的该下游部。
[0257]
(配置
‑
第二冷却系统
‑
传输单元
‑
传输压力侦测单元)
[0258]
该传输压力侦测单元136用于侦测该传输流路131的压力，且如图1所示，设置于该传输流路13的该下游部。
[0259]
(配置
‑
第二冷却系统
‑
传输单元
‑
流速侦测单元)
[0260]
该流速侦测单元137用于侦测该传输流路131内该第二制冷剂的该流速，该流速侦测单元137的配置可以比如一现有流速侦测器或其类似物，且如图1所示，设置于该传输流路131的该下游部。
[0261]
(配置
‑
第二冷却系统
‑
传输单元
‑
液位侦测单元)
[0262]
该液位侦测单元138用于侦测该储存部120的液位高度，其配置可以是比如一现有液位侦测器或相似物，且如图1所示，设置于该第一子传输管132a。
[0263]
(配置
‑
第三冷却系统)
[0264]
该第三冷却系统200一系统，用于让该第三制冷剂与该第一制冷剂进行热交换，且包括如图1所示，该第一传输流路201、该第二传输流路202、第六传输开关阀203至第八传输开关阀205、传输温度侦测单元206及去除单元207。
[0265]
(配置
‑
第三冷却系统
‑
传输流路)
[0266]
该第一传输流路201是一流路，用于传输该第三制冷剂朝向该第一冷却系统10且设置于穿过第二入口部(图未示)，该第二入口部可让第三制冷剂从外部流进传输流路201、第三热交换单元43和第二出口部(图未示)，如图1所示，第二出口部可让第三制冷剂从第一传输流路201向外部流动。具体而言，第一传输流路201的上游端部接至第二入口部，第一传输流路201下游端部接至第二出口部。此第一传输流路201可传输第三制冷剂，让第一传输流路201中的第三制冷剂与第一循环流路61中的第一制冷剂之间进行热交换。
[0267]
该第二传输流路202是一流路，如图1所示，其设置可经过第二入口部(未图示)，该第二流进部可让第三制冷剂从外部流进传输流路201、第三热交换单元43和第二出口部(未图示)，第二出口部可让第三制冷剂从第一传输流路201向外部流动。具体而言，第一传输流路201上游端部接至第二入口部，第一传输流路201下游端部接至第二出口部。此第一传输流路201可传输第三制冷剂，让第一传输流路201中的第三制冷剂与第一循环流路61中的第一制冷剂之间进行热交换。
[0268]
(配置
‑
第三冷却系统
‑
第六传输开关阀至第八传输开关阀)
[0269]
第六传输开关阀203是用于切换可让第一传输流路201内的第三制冷剂向第二出口部流出的一个阀门，例如，第六传输开关阀203的配置即使用一个已知的开关阀(如水控阀)，如图1所示，设置在第一传输流路201下游部。
[0270]
第七传输开关阀204是用于切换可让第二传输流路202内的第三制冷剂向第二流出部流出的一个阀门，例如，第七传输开关阀204配置即使用一个已知的开关阀(如电磁
阀)，如图1所示，设置在第二传输流路202下游部。
[0271]
第八传输开关阀205是用于调整第一传输流路201内的第三制冷剂的一个阀门，例如，第八传输开关阀205配置即使用一个已知的开关阀(如恒流控制阀)，如图1所示，设置在第二传输流路202上游部。
[0272]
(配置
‑
第三冷却系统
‑
传输温度侦测单元)
[0273]
该传输温度侦测单元206用于侦测该第一传输流路201的温度，并如图1所示，设置于该第一传输流路201的该上游部。
[0274]
(配置
‑
第三冷却系统
‑
去除单元)
[0275]
该去除单元207用一去除段，用于去除该第一传输流路201内该第三制冷剂包含的外部物质。如图1所示，去除单元207配置即使用一个已知的过滤装置，设置在第一传输流路201上游部。
[0276]
(配置
‑
控制装置)
[0277]
图3是控制装置的电器配置示意图。该控制装置300用于控制该冷却系统1的每一单元的装置f，设置于邻近该第一冷却系统10，并包括如图3所示，一运转单元310、一通讯单元320、一输出单元330、一电源供应单元340、一控制单元350及一储存单元360。再者，在实施例中，将说明该控制装置300电性连接第一冷却系统10、第二冷却系统100和第三冷却系统200的每个配线(未图示)电气零件(如各种开关阀、侦测单元等)。
[0278]
(配置
‑
控制装置
‑
运转单元)
[0279]
该运转单元310是用于接收各种信息运转输入的运转段，运转单元310的配置可用已知运转段，比如触控面板、远程运转段，比如遥控器的或硬体开关。
[0280]
(配置
‑
控制装置
‑
通讯单元)
[0281]
该通讯单元320是用于第一冷却系统10、第二冷却系统100和第三冷却系统200每个电子元件或管理服务器等外部装置进行通讯的通讯段，通过下列方式进行配置：如使用一个现有通讯段，或相似物等。
[0282]
(配置
‑
控制装置
‑
输出单元)
[0283]
该输出单元330是通过控制单元350控制输出各种信息的输出段，输出单元330的配置可使用现有显示段，如液晶显示器的平板显示器、有机电致发光显示器或喇叭等已知的音频输出段来进行配置。
[0284]
(配置
‑
控制装置
‑
电源供应单元)
[0285]
该电源供应单元340是将商用电源(未示出)或储存在电源单元340中的电力供应到控制装置300的电源段。
[0286]
(配置
‑
控制装置
‑
控制单元)
[0287]
该控制单元350是控制其控制装置300各段的控制段，具体而言，控制单元350是内含cpu的电脑，需在cpu上解译和执行的各种应用程序(如os基本控制程序和在os上启动执行特定功能的应用程序)及内部储存器，如用于储存各种程序和各种数据的ram。
[0288]
此外，如图3所示，在功能概念上，控制单元350包括开关控制单元351和压缩控制单元352。
[0289]
开关控制部351是一个开关用的控制段，可控制开启和关闭第一开关阀72a、第二开关阀72b及第三开关阀72c，根据预设的第二制冷剂温度设定值进行控制。
[0290]
压缩控制部352是根据温度侦测单元73侦测结果和用一预定方法取得第二制冷剂的预设温度，用于控制压缩控制单元20的压缩控制段。再者，稍后将详细说明控制单元350的执行过程。
[0291]
(配置
‑
控制装置
‑
储存单元)
[0292]
储存单元360是储存控制装置300运转作所需的程序和各种数据的一个记录段，例如，其配置即使用硬盘(未示出)作为外部记录装置。但也包括一个磁记录媒体(如磁盘)、一个光记录媒体(如dvd和blu
‑
ray光盘)或一个电记录媒体(如闪存、usb储存器和sd卡)，即任何其他可替代硬盘或与硬盘一起使用的记录媒体。
[0293]
如上述的冷却系统1，可有效地利用该第一制冷剂冷却该第二制冷剂。此外，可利用第三子管71c的热量(冷却用的热能)来冷却储存部30中的第一制冷剂。借此，可以高密度(具体而言即为高压和高密度)将第一制冷剂储存在储存部30，以便于紧凑尺寸的储存部30中增加储存部30的储存量。此外，可通过第四子管71d的热能(加热的热能)加热储存部30中的第一制冷剂。因此，可通过低密度(具体而言即为低压和低密度)将第一制冷剂储存在储存部30中，并根据储存部30的情况储存第一制冷剂。此外，该“储存部30”、该“第一子管71a”、该“第二子管71b”、该“第三子管71c”、该“第四子管71d”、该“第一开关阀72a”、该“第二开关阀72b”、该“第三开关阀72c”、该“第四开关阀72d”及该“开关控制单元351”对应于权利要求中该“制冷剂控制系统”。
[0294]
(控制过程)
[0295]
其次，将说明具有上述配置的冷却系统1执行控制的过程。图4是根据该实施例的控制过程的流程图(在下文的每个过程中，此步骤即缩写为「s」)。图5是第一开关阀72a相对于第四开关阀72d进行开关动作时，关于第一制冷剂的流动图，图5(a)是第一开关阀72a的状态图，图5(b)是关闭第一开关阀72a和第三开关阀及第三开关阀72c关闭及开启第二开关阀72b和第四开关阀72d的状态图。
[0296]
该控制过程是用以控制该冷却系统1的过程。执行该控制过程可为任意时机，但在本实施例中，将冷却系统1电源接通即为开始的时机。
[0297]
此外，在本实施例中，控制过程的前提如下。假设压缩单元20内含预期容量的第一制冷剂，此外，假设第一开关阀72a、第三开关阀72c、第三传输开关阀133c、第四传输开关阀133d和第五传输开关阀133e为关闭状态，但冷却系统1其他的开关阀是开启状态，因此，假设第一制冷剂可在第一循环流路61和第二循环流路81循环，第二制冷剂在传输流路131中流动，第三制冷剂在第一传输流路201和第二传输流路202中流动。
[0298]
启动控制过程时，如图4所示，控制装置300的控制单元350设定好第一制冷剂的设定温度(如大约+70℃至+90℃等)，在sa1下文中称为「第一设定温度」。第一设定温度可使用任意的设定方法，但在本实施例中，将显示温度设定值输入的资讯即通过运转单元310设定为第一设定温度的数值。但本发明不限于此，例如，可预先将储存在储存单元360中的设定温度信息或通过通讯单元320从外部设备接收到的设定温度信息设定为第一设定温度的数值，再者，关于下文sa2的第二设定温度，其设定方法也是如此。
[0299]
在sa2中，控制装置300的控制部350设定好第二制冷剂的设定温度(如左右，以下称为「第二设定温度」)。
[0300]
在sa3中，控制装置300的压缩控制单元352控制压缩单元20(具体而言，即重复控
制压缩单元20的运转周期)。再者，在该实施例中，假设sa3的过程被连续执行直到控制过程结束为止。
[0301]
在此，该压缩单元20的控制压缩内容为任意，但在实施例中，根据sa3过程的该温度侦测单元73的该侦测结果及该第一传输温度侦测单元135a至该第三传输温度侦测单元135c于sa3过程的至少一侦测结果控制该压缩单元20(具体而言，该压缩单元20的运转频率)。
[0302]
比如，当该第一传输温度侦测单元135a(或第二传输温度侦测单元135b或第三传输温度侦测单元135c)取得该第二制冷剂的温度高于sa2的第二设定温度时，通过提高该压缩单元20的运转频率，提高由该压缩单元20流出的该第一制冷剂的流速，借此降低该温度侦测单元73取得的第一制冷剂的温度。
[0303]
此外，当该第一传输温度侦测单元135a(或第二传输温度侦测单元135b或第三传输温度侦测单元135c)取得该第二制冷剂的温度低于sa2的第二设定温度时，通过降低该压缩单元20的运转频率，降低由该压缩单元20流出的该第一制冷剂的流速，借此提高该温度侦测单元73取得的第一制冷剂的温度。
[0304]
通过此过程，可根据第一制冷剂和第二制冷剂的温度来控制压缩单元20，即可有效控制压缩单元20。
[0305]
在sa4，该控制装置300的该开关控制单元351根据sa2设定的该第二设定温度控制开启或关闭该第一开关阀72a、该第二开关阀72b、该第三开关阀72c及该第四开关阀72d。
[0306]
在此，第一开关阀72a、第二开关阀72b、第三开关阀72c及第四开关阀72d可任意的开关控制过程内容，但在本实施例中，这些阀门的控制如下。
[0307]
当该第一制冷剂的该第二设定温度高于该临界温度(比如，事先储存于该储存单元360内的该第一制冷剂的该临界温度)，该第一开关阀72a及该第三开关阀72c都开启，且该第二开关阀72b及该第四开关阀72d都关闭。相应的，如图5(a)所示，该出口侧管62a内的该第一制冷剂流入该储存部30且该第三子管71c的热量(冷却热能)会被传送至该储存部30的该第一制冷剂。
[0308]
此外，当该第一制冷剂的该第二设定温度低于该临界温度，该第一开关阀72a与该第三开关阀72c都关闭，且该第二开关阀72b及该第四开关阀72d都开启。相应的，如图5(b)所示，该储存部30内的该第一制冷剂流入该入口侧管62b，且该第四子管71d的热量(warm heat)会被传送到该储存部30内的该第一制冷剂。
[0309]
通过此方法，可通过依据该第二设定温度控制开启或关闭该第一开关阀72a、该第二开关阀72b、该第三开关阀72c及该第四开关阀72d有效冷却与加热该储存部30内的该第一制冷剂，并改善该冷却系统1的可用性(具体而言，该制冷剂控制系统)。特别是，当该第二设定温度高于第一制冷剂的该临界温度，该第一制冷剂可由该出口侧管62a流入该储存部30，且该储存部30内的该第一制冷剂可被该第三子管71c的热量所冷却。相应地，于抑制该第一循环流路61的剩余压力时可增加该储存部30内该第一制冷剂的密度，或当该第二设定温度高的时候提高过度冷却能力。此外，当该第二设定温度低于该第一制冷剂的该临界温度，该储存部30内的该第一制冷剂可流入该入口侧管62b，且该储存部30内的该第一制冷剂可被该第四子管71d的热量加热。相应地，当该第一循环流路61的该制冷剂的数量增加十，可降低该储存部30内的该第一制冷剂的密度。此外，因该第一制冷剂是二氧化碳，虽然二氧
化碳比该氯氟碳气体更容易膨胀，但仍可防止该第一循环流路61的压力过高。此外，该第二制冷剂是用于冷却半导体制程系统的制冷剂。相应地，即使该第二制冷剂的温度范围相对宽广，仍可防止该第一循环流路61的压力过高以及因防止该储存部30内的该第一制冷剂凝结造成该第一循环流路61内的第一制冷剂的流速降低。
[0310]
回到图4，在sa5，该控制装置300的该开关控制单元351控制该第八开关阀72h的开起与关闭。此外，在实施例中，sa5的过程将持续到控制过程结束为止。
[0311]
在此，第八开关阀72h可为任意的开关控制过程，但在本实施例中，即根据第二温度设定值来控制开启和关闭。
[0312]
比如，当该第二设定温度低于该储存单元360是先储存的该阈值，该第八开关阀72h开启至一预先设定的开启角度。相应地，因该第六子管71f与该第五热交换单元45相关连的该上游部内的该第一制冷剂流入该第六子管71f与该第五热交换单元45相关连的该下游部，让该第一制冷剂与该第五热交换单元45进行热交换。
[0313]
此外，当该第二设定温度高于该阈值，该第八开关阀72h关闭。相应地，因该第六子管71f与该第五热交换单元45相关连的该上游部内的该第一制冷剂不流入该第六子管71f与该第五热交换单元45相关连的该下游部，使得该第一制冷剂不与该第五热交换单元45进行热交换。
[0314]
通过此过程，可根据该第二设定温度调整该第八开关阀72h的开启角度，并有效调整该第一冷却体侧管63a内的该第一制冷剂的温度。
[0315]
sa5过程后，该控制装置300的该开关控制单元351开始第一温度调整过程(sa6)。
[0316]
(控制过程
‑
第一温度调整过程)
[0317]
接者，将说明图4的第一个温度调整过程(sa6)，图6是第一个温度调整过程的流程图。该第一温度调整过程是调整该冷却体侧管63内该第一制冷剂的温度的过程。
[0318]
当该第一温度调整过程开始。如图6所示，在sb1，该控制装置300的该开关控制单元351由第一传输温度侦测单元135a、该第二传输温度侦测单元135b及该第三传输温度侦测单元135c其中任一取得该第二制冷剂的温度。
[0319]
在sb2，该控制装置300的该开关控制单元351判断sb1取得的该第二制冷剂的温度是否为该第二设定温度。随后，该控制装置300的该开关控制单元351执行sb3，当该第二制冷剂的温度被判定不是该第二设定温度(sb2，否)，结束该第一温度调整过程，当该第二制冷剂的温度被判定是该第二设定温度(sb2，是)回到执行图4的该控制过程。
[0320]
在sb3，该控制装置300的该开关控制单元351根据在sb1取得的该第二制冷剂的温度控制开启或关闭该第六开关阀72f与该第七开关阀72g。然后，控制装置300的开关控制单元351进行到sb1过程，并重复从sb1到sb3的过程，直到将第二制冷剂温度判定为sb2的第二设定温度数值为止。
[0321]
此外，第六开关阀72f和第七开关阀72g可为任意的开启量控制过程，例如可以是下文中的控制开启量。
[0322]
当在sb1取得的该第二制冷剂的温度高于在sa2设定的该第二设定温度，该第六开关阀72f的开启角度会比该第一参考开启角度更宽，且该第七开关阀72g的该开启角度会比第一参考开启角度更窄。相应地，因该第一冷却体侧管63a内该第一制冷剂流入该第一热交换单元41的数量增加，且通过该第二热交换单元42进行热交换的该第一制冷剂的数量也增
加，流入该入口侧管62b的数量减少时，则第二热交换单元42的发热量即减小，因此，即促成第一制冷剂引发第二制冷剂的冷却作用。
[0323]
此外，当在sb1取得的该第二制冷剂的温度低于在sa2设定的该第二设定温度，该第六开关阀72f的开启角度比该第一参考开启角度窄，该第七开关阀72g的开启角度比第一参考开启角度宽。相应地，因该第一冷却体侧管63a内该第一制冷剂流入该第一热交换单元41的数量减少，且通过该第二热交换单元42热交换及流入该入口侧管62b的该第一制冷剂的数量增加，该第二热交换单元42的加热数量增加，因此，促成第一制冷剂引发第二制冷剂的冷却作用。此外，该“第一参考开启角度”指的是比如，当该第二制冷剂的温度与该第二设定温度相同时，该开关阀的开启角度。
[0324]
通过此过程，可根据该第二制冷剂的温度调整该第六开关阀72f及该第七开关阀72g的开启角度，并有效调整该冷却体侧管63内该第一制冷剂的温度。
[0325]
此外，调整该冷却体侧管63内该第一制冷剂的温度，借此第一温度调整过程可让该第二制冷剂的温度成为该第二设定温度，并有效冷却第二制冷剂。
[0326]
回到图4，在sa6过程后，该控制装置300的该开关控制单元351开始第二温度调整过程(sa7)。
[0327]
(控制过程
‑
第二温度调整过程)
[0328]
接下来，将说明图4的第二个温度调整过程(sa7)。图7是第二个温度调整过程的流程图,第二个温度调整过程是用于调整出口侧管62a中第一制冷剂温度的过程。
[0329]
当该第二温度调整过程开始，如图7所示，在sc1，该控制装置300的该开关控制单元351由该温度侦测单元73取得第一制冷剂的温度。
[0330]
在sc2，该控制装置300的该开关控制单元351判断sc1取得的该第一制冷剂的温度是否为该第一设定温度。随后，该控制装置300的该开关控制单元351执行sc3当该第一制冷剂的温度被判定不是该第一设定温度(sc2，否)，结束该第二温度调整过程，并当判定该第一制冷剂的温度小于该第一设定温度(sc2,是)时，回到执行图4的该控制过程。
[0331]
在sc3，该控制装置300的该开关控制单元351根据在sc1取得的该第一制冷剂的温度控制开启或关闭该第五开关阀72e。然后，该控制装置300的该开关控制单元351进行到sc1过程，并重复从sc1到sc3的过程，直到判定该第一制冷剂的温度低于在sc2的该第一设定温度。
[0332]
此外，第五开关阀72e可为任意的开启量控制过程，例如可以是下文中的控制开启量。
[0333]
当在sa1取得的该第一制冷剂的温度高于在sa1设定的该第一设定温度，该第五开关阀72e的开启角度会比该第二参考开启角度宽。相应地，因该冷却体侧管63内该第一制冷剂流入该入口侧管62b的数量增加，可降低该出口侧管62a内的该第一制冷剂的温度。
[0334]
此外，当在sc1取得的该第一制冷剂的温度与在sa1设定的第一设定温度相符，该第五开关阀72e的开启角度会维持在该第二参考开启角度。相应地，因保持该冷却体侧管63内该第一制冷剂流入该入口侧管62b的数量，可避免该出口侧管62a内该第一制冷剂的温度上升。此外，该“第二参考开启角度”指得是比如，当该第一制冷剂的温度与该第一设定温度相同时，该开关阀的开启角度。
[0335]
通过此过程，可根据该第一制冷剂的温度调整该第五开关阀72e的开启角度并有
效调整该出口侧管62a内该第一制冷剂的温度。
[0336]
通过上述第二温度调整过程，该出口侧管62a内的第一制冷剂的温度可被调整，使得该第一制冷剂的温度成为该第一设定温度。借此，当该出口侧管62a内的该第一制冷剂经该第一子管71a流入该储存部30时，流入的第一制冷剂其本身的热能使然，储存部30中的温度容易维持在第一制冷剂的临界温度以上。
[0337]
回到图4，在sa8，该控制装置300的该控制单元350判定是否该为结束控制过程时(以下称为「结束时机」)，确定结束时机是否到来可为任意的方法，例如，可根据是否通过运转单元310收到预设运转的信息来判定。在此处，收到预设运转信息即可判定结束时机已到，未收到预设运转信息即表示结束时机未到。然后，判定结束时机已到来时(sa8
‑
是)，控制装置300的控制单元350即结束控制过程。另一方面，判定尚未到达结束时机时(sa8
‑
否)，即进行到sa6过程，从sa6进行到sa8过程，直到判定结束时机已到sa8的状态中为止。
[0338]
通过上述的控制过程，可维持冷却系统1的可用性，也可通过第一制冷剂有效冷却第二制冷剂。
[0339]
(实施例的效果)
[0340]
依据一实施例，因该第一子管71a连接构成该第一循环流路61的该出口侧管62a，并位于该压缩单元20的该出口侧，让该出口侧管62a内的该制冷剂经该第一子管71a流入该储存部30，第二子管71b连接构成该第一循环流路61的该入口侧管62b，并位于该压缩单元20的入口侧，让该储存部30内的该制冷剂经该第二子管71b流入该入口侧管62b，该第三子管71c连接该入口侧管62b，其形成让该第三子管71c低于该出口侧管62a热量的热量传送至该储存部30的该制冷剂，该第一开关阀72a设于第一子管71a且可切换是否让该出口侧管62a的该制冷剂流入该储存部30，该第二开关阀72b设置于该第二子管71b且可切换是否让该储存部30内的该制冷剂流入该入口侧管62b，该第三开关阀72c设于该第三子管71c且可切换是否让该第三子管71c中与该储存部30相关连的该上游部内的制冷剂流入该第三子管71c中该储存部30侧边的部分，可使用该第三子管71c的热量(冷却用的热量)冷却该储存部30内的该制冷剂。此外，可让该制冷剂以高密度状态储存于该储存部30，在紧凑的该储存部30的尺寸中提高该储存部30的储存数量。此外，该开关控制单元351用于根据该冷却体的该设定温度控制开启或关闭该第一开关阀72a、该第二开关阀72b及该第三开关阀72c，即可根据该冷却体的该设定温度控制开启或关闭、该第二开关阀72b及该第三开关阀72c。相应地，可有效地冷却该储存部30内的该制冷剂并改善该制冷剂控制系统及该冷却系统1的使用性。
[0341]
此外，当该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的该临界温度十，该开关控制单元351开启该第一开关阀72a及该第三开关阀72c，并关闭该第二开关阀72b，当该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度时，关闭该第一开关阀72a及该第三开关阀72c，并开启该第二开关阀72b，即可根据该冷却体的该设定温度是否高于该制冷剂的该临界温度控制开启或关闭该第一开关阀72a、该第二开关阀72b及该第三开关阀72c，并有效地冷却该储存部30内的该制冷剂。
[0342]
此外，该第四子管71d连接该出口侧管62a，且其形成让该第四子管71d内高于该第三子管71c热量的热量能传送到该储存部30内的该制冷剂，且该第四开关阀72d设置于该第四子管71d并可切换是否让该第四子管71d内与该储存部30相关联的该上游部内的该制冷
剂流入该第四子管71d中该储存部30侧边的部分，即可使用该第四子管71d的热量(warm heat)加热该储存部30内的该制冷剂，并当该第一循环流路61内该制冷剂数量增加时，降低该储存部30内的该制冷剂的密度。此外，因该开关控制单元351根据该冷却体的该设定温度控制开启或关闭该第一开关阀72a、该第二开关阀72b、该第三开关阀72c及该第四开关阀72d，即可根据该冷却体的该设定温度控制开启或关闭该第一开关阀72a、该第二开关阀72b、该第三开关阀72c及该第四开关阀72d。因此，可有效冷却和加热储存部30中的制冷剂，并根据情况将制冷剂储放在储存部30。
[0343]
此外，因该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的该临界温度时该开关控制单元351开启该第一开关阀72a及该第三开关阀72c，并关闭该第二开关阀72b与该第四开关阀72d，当该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度时关闭该第一开关阀72a与该第三开关阀72c，并开启该第二开关阀72b及该第四开关阀72d，即可根据该冷却体的该设定温度是否高于该制冷剂的该临界温度控制开启或关闭该第一开关阀72a、该第二开关阀72b、该第三开关阀72c及该第四开关阀72d，并可有效冷却与加热该储存部30内的该制冷剂。
[0344]
此外，通过形成该第一子管71a及第二子管71b，可避免该储存部30内的该制冷剂经逆向流入该出口侧管62a或该入口侧管62b，第一子管71a和第二子管71b的各部即位于其他部分上方，冷却储存部30时，储存部30中的制冷剂密度即远大于第一子管71a和第二子管71b中的制冷剂密度。因此，可防止储存部30内的制冷剂因重力经由第一子管71a或第二子管71b逆流至出口侧管62a或入口侧管62b，即可准确管理第一循环流路61中的制冷剂流量。
[0345]
此外，因该防流入部76用于防止外部物质经该第一子管71a流入该储存部30，即可防止外部物质经该第一子管71a流入该储存部30，且防止该储存部30内的该制冷剂被外部物质污染。
[0346]
再者，由于第一制冷剂为二氧化碳，因此，即使二氧化碳比氯氟烃气体更容易膨胀，也可防止第一循环流路61内的压力过大。
[0347]
此外，冷却体是用于冷却半导体制造系统的制冷剂。因此，即使在冷却体温度范围较宽的情况下，也可防止第一循环流路61的压力过大，也可防止第一循环流路61因为第一制冷剂在储存部30冷凝造成第一制冷剂流量的降低。
[0348]
此外，该冷却体侧管63包括该第一冷却体侧管63a与该第二冷却体侧管63b，第一冷却体侧管63a位于该第一热交换单元41的侧边，该第二冷却体侧管63b位于该第二热交换单元42的侧边，该侦测区侦测出口侧管62a的温度或该入口侧管62b的温度。该第五子管71e与该第一冷却体侧管63a中与该第一热交换单元41相关联的该上游部以及该入口侧管62b连接，该第五开关阀72e设于该第五子管71e并用于调整该冷却体侧管63内该制冷剂流入该入口侧管62b的数量，且该开关控制单元351根据该侦测区的该侦测结果控制开启或关闭该第五开关阀72e的开启角度，即可根据该制冷剂的该温度调整该第五开关阀72e的开启角度，并a能有效调整该出口侧管62a内该制冷剂的该温度。
[0349]
此外，因该第六开关阀72f设置于该第一冷却体侧管63a中与该第一热交换单元41相关联的该上游部并用于调整该第一冷却体侧管63a内该制冷剂流入该第一热交换单元41的数量，且该第七开关阀72g设置于该第二冷却体侧管63b中与第二热交换单元42相关联的该下游部，并用于调整利用该第二热交换单元42进行热交换与流入该入口侧管62b的该制冷剂的数量，该开关控制单元351用于根据利用预定方法取得该冷却体的该温度控制p该第
六开关阀72f及该第七开关阀72g的开启角度，即可根据该冷却体的该温度调整该第六开关阀72f及该第七开关阀72g的开启角度，并可有效调整该冷却体侧管63内该制冷剂的该温度。
[0350]
此外，因该压缩控制单元352根据该侦测区的该侦测结果及根据利用预定方法取得该冷却体的该温度控制该压缩单元20，即可根据该制冷剂的该温度与该冷却体的该温度控制该压缩单元20，并可有效地控制该压缩单元20。
[0351]
此外，该第六热交换单元46让该第一冷却体侧管63a内与该第一热交换单元41相关联的该上游部内的制冷剂与该第二冷却体侧管63b内与第二热交换单元42相关联的该下游部内的制冷剂进行热交换，即可提高该第二冷却体侧管63b内与第二热交换单元42相关联的该下游部内的制冷剂的该温度并可让干燥的制冷剂流入该压缩单元20。
[0352]
[iii]实施例的修改实例
[0353]
虽然上文已说明本发明的实施例，但在专利申请范围所提及各个发明技术范围内，仍可任意地修改并改进本发明的具体配置和区段，下文将说明修改实例。
[0354]
(要解决的问题和发明效果)
[0355]
首先，本发明要解决的问题和本发明的效果不限于上述内容，本发明解决或实现上述未说明的问题和效果。再者，本发明仅解决上述一些问题或仅实现上述一些效果。
[0356]
(分配和整合)
[0357]
此外，上述每个电气零件均属功能概念，实体配置未必如图所示。各部的分配或整合其具体形式不限于附图所示，可根据各种负载和使用条件和类似状况，以任意单元在功能上或实体上进行全部或部分的分配或整合。此外，本发明申请中的「系统」不限于为多个装置的系统配置，但包括配置为单一装置的系统。此外，本发明申请中的「装置」不限于单一装置的配置，而是包括多个装置的配置。此外，上述实施例中的每个信息数据结构均可任意改变。例如，控制装置300可分布到彼此通讯的多个装置中，控制单元350可设置在多个装置的某部分中，储存单元360可设置在多个装置的另一部分中。
[0358]
(形状、数值、结构和时间序列)
[0359]
实施例或附图所示的元件中，可在本发明技术范围内任意修改并改进多个元件的形状、数值、结构或时间序列等关系。
[0360]
(第三制冷剂)
[0361]
在上述实施例中，已说明第三制冷剂是工业用水的状况，但本发明不限于此。例如，第三制冷剂可以是空气。在此情况下，第三冷却系统200可包括将第三制冷剂传输到第三热交换单元43的一个第一传输单元(如现有的鼓风机)，以及将第三制冷剂传输到第四热交换单元44的一个第二传输单元(如现有的鼓风机)。
[0362]
(第一冷却系统)
[0363]
在上述实施例中，已说明第一冷却系统10包括第五热交换单元45、第六热交换单元46、第一去除单元47和第二去除单元48，但本发明不限于此。例如，可省略第五热交换单元45、第六热交换单元46、第一去除单元47和第二去除单元48中的至少一个。再者，省略第五热交换单元45时，即可省略第八开关阀72h。
[0364]
此外，在上述实施例中，已说明第一冷却系统10包括第五开关阀72e、第六开关阀72f、第七开关阀72g和第八开关阀72h，但本发明不限于此。例如，可省略第五开关阀72e、第
六开关阀72f、第七开关阀72g和第八开关阀72h中的至少一个。再者，省略第五开关阀72e时，即可忽略控制过程中的sa7过程。此外，省略第六开关阀72f和第七开关阀72g时，即可省略控制过程中的sa6过程。此外，省略第八开关阀72h时，即可省略控制过程中的sa5过程。
[0365]
此外，在上述实施例中，已说明第一冷却系统10包括压缩单元20、储存部30、第一热交换单元41至该第六热交换单元46、该第一去除单元47、该第二去除单元48及该循环单元50，但本发明不限于此。例如，除了这些元件以外，还可设置温度调整单元。在此处，温度调整单元即为用于调整储存部30第一制冷剂温度的温度调整区，例如，其配置即使用一个现有的温度调整器(如具有加热或冷却功能的温度调整器等)，设置于储存部30中。此外，安装温度调整单元可为任意的方法，例如，温度调整单元可安装在储存部30，或可缠绕在储存部30外部。此温度调整单元可用于调整储存部30第一制冷剂的温度，并可通过温度调整单元的热能(冷却用的热能)来冷却储存部30中的制冷剂。因此，制冷剂容易以高密度的状态储放在储存部30中。
[0366]
此外，在上述实施例中，已说明第一冷却系统10包括一个第四子管71d和一个第四开关阀72d，但本发明不限于此。图8是压缩冷却系统的修改实例说明图，例如，如图8所示，可省略第四子管71d和第四开关阀72d。在此情况下，在sa4控制过程中，根据sa中的第二温度设定值，即可开关控制第一开关阀72a、第二开关阀72b和第三开关阀72c。具体而言，当第二温度设定值高于第一制冷剂和第一开口的临界温度时，可打开第一开关阀72a和第三开关阀72c，并可关闭第二开关阀72b。当第二温度设定值低于第一制冷剂的临界温度时，可关闭第一开关阀72a，并可打开第二开关阀72b。因此，可根据第二温度设定值是否高于第一制冷剂的临界温度来开关控制第一开关阀72a、第二开关阀72b和第三开关阀72c，有效地冷却储存部30中的第一制冷剂。
[0367]
(循环单元)
[0368]
在上述实施例中，已说明循环单元50的出口侧管62a和第六子管71f为各别的分离构件，但本发明不限于此。图9是压缩冷却系统1的修改实例说明图，例如，从减少管路数量而言，如图9所示，出口侧管路62a和第六子管71f可彼此一体成型。
[0369]
此外，在上述实施例中，已说明这样的情况，其中第一子管71a和第二子管71b可弯曲各部收纳于储存部30上端附近的第一子管71a和第二子管71b中，第一子管71a和第二子管71b即位于第三子管71c和第四子管71d上方，但本发明不限于此。图10是第一子管71a和第二子管71b的修改实例说明图，如图10所示，第一子管71a和第二子管71b可弯曲外，未收纳于第一子管71a和第二子管71b，仍可位于第三子管71c和第四子管71d的上方。
[0370]
此外，在上述实施例中，已说明防流入部76设置于循环单元50的第一子管71a中，但本发明不限于此。例如，可省略防流入部76。
[0371]
(储存部)
[0372]
在上述实施例中，已说明安装数个储存部30当中一个的情况，但本发明不限于此。图11至图13是冷却系统1的修改实例说明图，例如，如图11所示，已安装的储存部30数量可以是两个或更多。在此情况下，第一子管71a和第二子管71b可各别分支，分支段可设置在每个储存部30中，让储存部30中的第一制冷剂从中流过。此外，每个储存部30可设置第三子管71c和第四子管71d中的每一个子管，让每个储存部30中的第一制冷剂可通过第三子管的热量(冷却用的热能)来进行冷却，可通过第四子管71d的热量(加热的热能)加热第三子管71c
和储存部30内的第一制冷剂。
[0373]
再者，在图11中，出口侧管62a和第六子管71f彼此分开，但本发明不限于此。例如，如图12所示，出口侧管62a和第六子管71f可彼此一体成型。此外，在图11中，设置有第四子管71d和第四开关阀72d，但本发明不限于此。如图8所示，可省略第四子管71d和第四开关阀72d。此外，在图11中，出口侧管62a中的第一制冷剂通过第一开关阀72a选择性流进多个储存部30当中，但本发明不限于此。例如，可设置与每个储存部30相对应的第一开关阀72a，并通过第一开关阀72a让出口侧管62a中的第一制冷剂各别并选择性地流进各个储存部30(也适用于第二开关阀72b、第三开关阀72c和第四开关阀72d)。
[0374]
(压缩单元)
[0375]
在上述实施例中，已说明压缩单元20是频率控制运转型的压缩机，但本发明不限于此。例如，压缩单元可以是恒速运转型的压缩机。
[0376]
此外，在上述实施例中，已说明压缩单元20是两段式压缩机，但本发明不限于此。例如，压缩单元20可以是一段式压缩机。在此情况下，冷却系统1可省略第四热交换单元44、第二循环单元80、第二传输流路202和第二传输开关阀204。
[0377]
(第二冷却系统)
[0378]
在上述实施例中，已说明第二冷却系统100包括通风单元110、储存部120，第一传输子管132a至第四传输子管132d、第一传输开关阀133a到第四传输开关阀133d、泵浦单元134、第一传输温度侦测单元135a、第二传输温度侦测单元135b、传输压力侦测单元136和流量侦测单元137，但本发明不限于此。例如，通风单元110、储存部120、第一传输子管132a至第四传输子管132d、第一传输开关阀133a至第四传输开关阀133d、泵浦单元134、第一传输温度侦测单元135a、第二传输温度侦测单元135b、传输压力侦测单元136和流速侦测单元137等，至少有其中一个可省略。
[0379]
(第三冷却系统)
[0380]
在上述实施例中，已说明第三冷却系统200包括第六传输开关阀203至第八传输开关阀205和传输温度侦测单元206，但本发明不限于此。例如，第六传输开关阀203至第八传输开关阀205和传输温度侦测单元206其中的至少一个可省略。
[0381]
(控制过程)
[0382]
在上述实施例中，已说明根据温度侦测单元73和sa3中的第一传输温度侦测单元135a到第三传输温度侦测单135c，其中至少一个侦测结果，借此控制压缩单元20的运转频率，但本发明不限于此。例如，压缩单元20的运转频率可控制为恒定频率。
[0383]
再者，在上述实施例中，说明sa4过程当第二温度设定值高于第一制冷剂的临界温度时，即可打开第一开关阀72a和第三开关阀72c并关闭第二开关阀72b和第四开关阀72d。当第二温度设定值低于第一制冷剂的临界温度时，即关闭第一开关阀72a和第三开关阀72c并打开第二开关阀72b和第四开关阀72d。例如，可控制如下。
[0384]
当第二温度设定值高于第一制冷剂的临界温度时，可打开第一开关阀72a和第三开关阀72c并关闭第二开关阀72b和第四开关阀72d，直到储存部30的压力达预设压力值为止。然后，当压力状态达到预设的高压状态时，可打开第三开关阀72c，同时关闭第一开关阀72a，并关闭第二开关阀72b和第四开关阀72d。此外，当第二温度设定值低于第一制冷剂的临界温度时，可关闭第一开关阀72a和第三开关阀72c，并打开第二开关阀72b和第四开关阀
72d，直到储存部30中的压力状态达到预设低压状态为止。然后，当压力状态达到预设低压状态时，可关闭第二开关阀72b，同时关闭第一开关阀72a和第三开关阀72c，并打开第四开关阀72d。
[0385]
另外，至少通过预设方法得知压缩单元20的运转压力值(例如，从第一压力侦测单元74a得知的压力值等)高于阀值或第二温度设定值时，在高于第一制冷剂临界温度的情况下，可打开第一开关阀72a和第三开关阀72c，并关闭第二开关阀72b和第四开关阀72d。另一方面，至少当压缩单元20的运转压力值低于阀值或第二温度设定值低于第一制冷剂临界温度时，可打开第一开关阀72a和第三开关阀72c，并关闭第二开关阀72b和第四开关阀72d。以此方式，可根据压缩运转20其中至少一个运转压力值和第二温度设定值，开关控制第一开关阀72a、第二开关阀72b、第三开关阀72c和第四开关阀72d，由于流进储存部30的第一制冷剂热量可避免第一循环流路61压力过大，因此，容易将储存部30内的温度维持在第一制冷剂的临界温度以上(或过热的蒸汽温度)。此情况即只根据第二温度设定值(另外，也可省略第四子管71d和第四开闭阀72d的冷却系统1，后续也可采用相同的方法。)，来开关控制第一开关阀72a、第二开闭阀72b、第三开闭阀72c和第四开关阀72d。
[0386]
注释
[0387]
注释1的制冷剂控制系统用以控制一制冷剂于一循环流路流动，该循环流路连接一压缩区并循环被该压缩区压缩的该制冷剂，使得该制冷剂与一冷却体进行热交换，该制冷剂控制系统，该制冷剂控制系统包括：一储存区，该储存区储存该制冷剂；一第一管路，与构成该循环流路的一出口侧管连接并位于该压缩区的一出口侧，使该出口侧管内的该制冷剂经该第一管路流入该储存区；一第二管路，与构成该循环流路的一入口侧管连接并位于该压缩区的一入口侧，使该储存区的该制冷剂经该第二管路流入该入口侧管；一第三管路，连接该入口侧管，其形成让该第三管路的热量低于该出口侧管的热量，借此让热量转移至该储存区的该制冷剂；一第一开关阀，设置在该第一管路，通过切换该第一开关阀让该出口侧管的该制冷剂流入该储存区；一第二开关阀，设置在该第二管路，通过切换该第二开关阀让该储存区的该制冷剂流入该入口侧管；一第三开关阀，设置在该第三管路，通过切换该第三开关阀让该第三管路中与该储存区相关联的一上游部内的该制冷剂流入该第三管路位于该储存区侧边的部分；以及，一开关控制区，根据该冷却体的一设定温度控制开启或关闭该第一开关阀、该第二开关阀及该第三开关阀。
[0388]
注释2的制冷剂控制系统，依据注释1该制冷剂控制系统，其中当该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的一临界温度时，该开关控制区开启该第一开关阀及该第三开关阀，并关闭该第二开关阀；当该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度时，关闭该第一开关阀及该第三开关阀，并开启该第二开关阀。
[0389]
注释3的制冷剂控制系统，依据注释2该制冷剂控制系统，其中至少当经一预定方法取得该压缩区的一运转压力值高于一阈值、或该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的该临界温度时，该开关控制区开启该第一开关阀及该第三开关阀，并关闭该第二开关阀；至少当经该预定方法取得该压缩区的一运转压力值低于该阈值、或该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度时，关闭该第一开关阀及该第三开关阀，并开启该第二开关阀。
[0390]
注释4的制冷剂控制系统，如注释1至注释3任一项所述的该制冷剂控制系统，还包括：一第四管路，连接该出口侧管，其形成让该第四管路的热量高于该第三管路的热量，借
此让热量转移至该储存区的该制冷剂；以及，一第四开关阀，设置在该第四管路，通过切换该第四开关阀让位于该第四管路中与该储存区相关联的一上游部中的该制冷剂流入该第四管路的该储存区的侧边的部分；其中该开关控制区，根据该冷却体的该设定温度控制开启或关闭该第一开关阀、该第二开关阀、该第三开关阀及该第四开关阀。
[0391]
注释5的制冷剂控制系统，如注释4所述的该制冷剂控制系统，其中当该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的该临界温度时，该开关控制区开启该第一开关阀及该第三开关阀，并关闭该第二开关阀及该第四开关阀；当该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度时，关闭该第一开关阀及该第三开关阀，并开启该第二开关阀及该第四开关阀。
[0392]
注释6的该制冷剂控制系统，如注释1至注释5任一项所述的该制冷剂控制系统，其中通过形成一第一子管及一第二子管，可避免该储存部30内的该制冷剂经该第一子管及该第二子管逆向流入该出口侧管或该入口侧管，该第一子管和该第二子管的各部即位于其他部分上方。
[0393]
注释7的该制冷剂控制系统，如注释1至注释6任一项所述的该制冷剂控制系统，还包括一防流入区，用以防止外部物质经该第一管路流入该储存区。
[0394]
注释8的该制冷剂控制系统，如注释1至注释7任一项所述的该制冷剂控制系统，还包括一温度调整区，该温度调整区调整该储存区内的该制冷剂的一温度。
[0395]
注释9的该制冷剂控制系统，如注释1至注释8任一项所述的该制冷剂控制系统，其中该制冷剂是二氧化碳。
[0396]
注释10的该制冷剂控制系统，如注释1至注释9任一项所述的该制冷剂控制系，其中该冷却体是用于冷却一半导体制程系统的制冷剂。
[0397]
注释11的一种冷却系统，其是使用一制冷剂冷却一冷却体，该冷却系统包括：一压缩区，压缩该制冷剂；一循环流路，包括一冷却体侧管，该冷却体侧管连接该压缩区、位于该冷却体侧边并循环该制冷剂，让被该压缩区压缩的该制冷剂与该冷却体进行热交换；如注释1至注释10任一项所述的一制冷剂控制系统；以及，一热交换区，设置于该冷却体侧管并让该冷却体侧管内的该制冷剂与该冷却体进行热交换。
[0398]
注释12的冷却系统，如注释11所述的该冷却系统，其中该热交换区包括一第一热交换区及一第二热交换区，该第一热交换区冷却该冷却体，该第二热交换区加热被该第一热交换区冷却的该冷却体；其中该冷却体侧管包括一第一冷却体侧管及一第二冷却体侧管，该第一冷却体侧管位于该第一热交换区的侧边，该第二冷却体侧管位于第二热交换区的侧边，其中该冷却系统还包括：一侦测区，该侦测区侦测该出口侧管的温度或该入口侧管的温度；一第五管路，与该第一冷却体侧管的该第一热交换区的一上游部及该入口侧管连接；一第五开关阀，设置于该第五管路，该第五开关阀用于调整该冷却体侧管内的该制冷剂流入该入口侧管的数量；以及，其中该开关控制区根据该侦测区的一侦测结果控制该第五开关阀的开启角度。
[0399]
注释13的冷却系统，如注释12所述的该冷却系统，还包括：一第六开关阀，设置于该第一冷却体侧管内该第一热交换区的一上游部，该第六开关阀调整该第一冷却体侧管内的该制冷流入该第一热交换区的数量；以及，一第七开关阀，设置于该第二冷却体侧管内该第二热交换区的一下游部，该第七开关阀调整与该第二热交换区进行热交换且流入该入口侧管的该制冷剂的数量；其中该开关控制区根据通过一预定方法取得该冷却体的一温度，
来控制该第六开关阀及该第七开关阀开启角度。
[0400]
注释14的冷却系统，如注释12或注释13所述的该冷却系统，还包括一压缩控制区，该压缩控制区根据该侦测区的该侦测结果以及用该预定方法取得该冷却体的该温度控制该压缩区。
[0401]
注释15的冷却系统，如注释12至注释14任一项所述的该冷却系统，还包括一制冷剂热交换区，该制冷剂热交换区让位于该第一冷却体侧管的该第一热交换区的该上游部内的该制冷剂与位于该第二冷却体侧管得该第二热交换区的该下游部内的该制冷剂进行热交换。
[0402]
注释的优点
[0403]
依据注释1所述的该制冷剂控制系统及注释11所述的冷却系统，因通过第一管路连接构成该循环流路的出口侧管并位于该压缩区的出口侧，以便让该出口侧管内的该制冷剂经流入该第一管路该储存区；第二管路，与构成该循环流路的一入口侧管连接并位于该压缩区的一入口侧，使该储存区的该制冷剂经该第二管路流入该入口侧管；一第三管路连接该入口侧管，其形成让该第三管路的热量低于该出口侧管的热量，借此让热量转移至该储存区的该制冷剂；一第一开关阀，设置在该第一管路，通过切换该第一开关阀让该出口侧管的该制冷剂流入该储存区；一第二开关阀，设置在该第二管路，通过切换该第二开关阀让该储存区的该制冷剂流入该入口侧管；一第三开关阀，设置在该第三管路，通过切换该第三开关阀让该第三管路中与该储存区相关联的一上游部内的该制冷剂流入该第三管路位于该储存区侧边的部分，即可通过第三管路的热量(冷却热能)冷却该储存区中的该制冷剂。借此，该制冷剂可以高密度状态储存于该储存区，以增加紧凑尺寸的储存区的制冷剂储存量。此外，因该开关控制单元是根据该冷却体的该设定温度控制开启或关闭该第一开关阀、该第二开关阀及该第三开关阀，可依据该冷却体的该设定温度控制该第一开关阀、该第二开关阀及该第三开关阀的开启与关闭。据此可有效冷却储存区中的制冷剂并提高制冷剂控制系统和冷却系统的可用性。
[0404]
依据注释2所述的该制冷剂控制系统，因为当该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的一临界温度时，该开关控制区开启该第一开关阀与该第三开关阀，并关闭该第二开关阀；当该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的一临界温度时，该开关控制区关闭该第一开关阀与该第三开关阀，并开启该第二开关阀。可根据冷却体的设定温度是否高于制冷剂的临界温度来控制开启和关闭第一开关阀、第二开关阀和第三开关阀，进一步有效冷却储存区中的制冷剂。
[0405]
依据注释3所述的该制冷剂控制系统，因至少当经一预定方法取得该压缩区的一运转压力值高于一阈值、或该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的该临界温度时，该开关控制区开启该第一开关阀及该第三开关阀，并关闭该第二开关阀；至少当经该预定方法取得该压缩区的一运转压力值低于该阈值、或该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度时，关闭该第一开关阀及该第三开关阀，并开启该第二开关阀。借此与仅根据该冷却体的该设定温度控开启或关闭该第一开关阀、该第二开关阀及该第三开关阀的情况相比，因为该制冷剂流入该储存区的热量抑制流路内的剩余压力，造成在该临界温度下让容易维持该储存区的该温度或维持更多的该制冷剂(或一过热蒸气温度)。
[0406]
依据注释4所述的该制冷剂控制系统，因一第四管路连接该出口侧管，其形成让该
第四管路的热量高于该第三管路，使得热量得以传送至该储存区中的该制冷剂；以及，一第四开关阀，设置于该第四管路，通过切换该第四开关阀可让位于该第四管路该储存区上游部内的该制冷剂流入该第四管路内的该储存区该侧的一部分，利用该第四管路的热量(加热热量)加热该储存区内的该制冷剂，并当该流路中的该制冷剂数量增加时，降低该储存区内该制冷剂的密度。此外，因该开关控制单元根据该冷却体的该设定温度控制开启或关闭该第一开关阀、该第二开关阀、该第三开关阀及该第四开关阀，即可根据该冷却体的该设定温度控制开启或关闭该第一开关阀、该第二开关阀、该第三开关阀及该第四开关阀。借此可有效冷却与加热该储存区内的该制冷剂并依据该储存区的情况储存该制冷剂。
[0407]
依据注释5所述的该制冷剂控制系统，因当该冷却体的该设定温度高于该制冷剂的该临界温度时，该开关控制区开启该第一开关阀及该第三开关阀，并关闭该第二开关阀及该第四开关阀；并于该冷却体的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度时，该开关控制区关闭该第一开关阀及该第三开关阀，开启该第二开关阀及该第四开关阀。借此跟据该冷却体的该设定温度是否高于该制冷剂的该临界温度，控制开启或关闭该第一开关阀、该第二开关阀、该第三开关阀及该第四开关阀，可有效冷却与加热该储存区内的该制冷剂。
[0408]
依据注释6所述的该制冷剂控制系统，通过形成一第一子管及一第二子管，可避免该储存部30内的该制冷剂经该第一子管及该第二子管逆向流入该出口侧管或该入口侧管，该第一子管和该第二子管的各部即位于其他部分上方，冷却该储存区时让该储存区内的该制冷剂的密度高于该第一管路与该第二管路的该制冷剂非常多。借此，即可避免因重力让该储存区内的该制冷剂经该第一管路或该第二管路逆向流入该出口侧管或该入口侧管，并可准确地管理该流路中该制冷剂的该数量。
[0409]
依据注释7所述的该制冷剂控制系统，设置一防流入区以防止外部物质经该第一管路流入该储存区，即可防止以防止外部物质经该第一管路流入该储存区，并防止该储存区内的该制冷剂被外部物质污染。
[0410]
依据注释8所述的该制冷剂控制系统，设置一温度调整区，该温度调整区调整该储存区内的该制冷剂的一温度，即可调整该储存区内的该制冷剂的该温度。相应地，可容易的通过利用如该温度调整单元的热(冷热cold heat)冷却该储存区内的该制冷剂，且容易高密度储存该制冷剂于该储存区内。
[0411]
依据注释9所述的该制冷剂控制系统，因该制冷剂是二氧化碳，即使二氧化碳比氯氟碳气体更容易扩散该氯氟碳气体，仍可防止该流路的压力过高。
[0412]
依据注释10所述的该制冷剂控制系统，因该冷却体为用于冷却该半导体制程系统的该制冷剂，即使当该冷却体的温度范围较宽的状况下，仍可防止该流路的压力过高，并防止因该储存区内的该制冷剂凝结，造成该流路内的该制冷剂的该流速降低。
[0413]
依据注释12所述的该冷却系统，因该冷却体侧管包括一第一冷却体侧管以及一第二冷却体侧管，该第一冷却体侧管位于该第一热交换区的该侧，该第二冷却体侧管位于该第二热交换区的该侧，其中该冷却系统还包括一侦测区，该侦测区侦测该出口侧管内一温度或该入口侧管内的一温度；一第五管路，其与该第一冷却体侧管的该第一热交换区的上游部及该入口侧管连接；以及，一第五开关阀，其位于该第五管路且可调整该冷却体侧管内该制冷剂流入该入口侧管的数量，其中该开关控制区根据该侦测区的一侦测结果控制该第五开关阀的开启角度，即可根据该制冷剂的该温度调整该第五开关阀的开启角度，且有效
调整该出口侧管内该制冷剂的该温度。
[0414]
依据注释13所述的该冷却系统，因一第六开关阀设置于该第一冷却体侧管内该第一热交换区的一上游部，且第六开关阀调整该第一冷却体侧管内该制冷剂流入该第一热交换区的数量；以及，一第七开关阀，其设置于该第二冷却体侧管内该第二热交换区的一下游部，并调整该制冷剂与该第二热交换区进行热交换并流入该入口侧管的数量，其中该开关控制区根据一预定方法取得该冷却体的一温度控制该第六开关阀与该第七开关阀的开启温度，即可根据该冷却体的该温度调整该第六开关阀与该第七开关阀的开启角度，并有效调整该冷却体侧管内该制冷剂的该温度。
[0415]
依据注释14所述的该冷却系统，因一压缩控制区，其根据该侦测区的该侦测结果及用该预定方法取得该冷却体的该温度控制该压缩区，可让该压缩单元根据该制冷剂的该温度与该冷却体的该温度并有效地控制该压缩单元。
[0416]
依据注释15所述的该冷却系统，因一制冷剂热交换区，其让该第一冷却体侧管内该第一热交换区的该上游部内的该制冷剂与该第二冷却体侧管内该第二热交换区的该下游部内的该制冷剂之间进行热交换，可提高该第二冷却体侧管内该第二热交换单元的该下游部内的该制冷剂的该温度，并让干燥的该制冷剂流入该压缩单元。