一种清洁改质设备的制作方法

文档序号:11953056阅读:167来源:国知局
一种清洁改质设备的制作方法与工艺

本实用新型涉及一种清洁改质设备,尤其涉及一种用于晶片行业的清洁改质设备。



背景技术:

在晶片行业,对物料进行清洁时,通常是人工使用专用清洁溶剂手工清洁,从而易造成产品损坏和人体危害,且效率低。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种清洁改质设备,可提高生产效率,同时降低产品因认为作业而带来产品不良率,改善了生产环境,减少了人体危害。

为实现上述目的,本实用新型提供一种清洁改质设备,包括上座、下座和位于上座和下座之间的传动架,所述上座内设有电浆头和与电浆头连接并可使电浆头反复移动的伺服引动器,所述上座的外顶部设有送风装置,所述下座内设有排风装置,所述传动架内设有驱动装置和由驱动装置驱动的滚动输送机构。

作为本实用新型的进一步改进,所述上座和下座的正面均设有开关门,所述上座的开关门上设有控制器,所述伺服引动器、送风装置和排风装置均与控制器连接,所述上座的左侧板、右侧板、后侧板和开关门均由透明抗静电PVC板制作而成。

作为本实用新型的更进一步改进,所述排风装置包括位于滚动输送机构下方的排风集风罩和位于排风集风罩下方的抽风装置,所述抽风装置的出风口位于下座外。

与现有技术相比,本实用新型的清洁改质设备的有益效果如下:

(1)采用清洁改质设备对物料进行清洁,可提高生产效率,同时降低产品 因认为作业而带来产品不良率,改善了生产环境,减少了人体危害。

(2)采用滚动输送机构,可提高生产效率。

通过以下的描述并结合附图,本实用新型将变得更加清晰,这些附图用于解释本实用新型的实施例。

附图说明

图1为清洁改质设备的示意图。

图2为清洁改质设备的剖面示意图1。

图3为清洁改质设备的剖面示意图2。

具体实施方式

现在参考附图描述本实用新型的实施例,附图中类似的元件标号代表类似的元件。

请参考图1-3,所述的清洁改质设备包括上座1、下座2和位于上座1和下座2之间的传动架3。所述上座1内设有电浆头4和与电浆头4连接并可使电浆头4反复移动的伺服引动器5。所述上座1的外顶部设有送风装置6,所述下座2内设有排风装置7。所述传动架3内设有驱动装置8和由驱动装置8驱动的滚动输送机构9,所述驱动装置8为马达。所述上座1和下座2的正面均设有开关门10、11,所述上座1的开关门10上设有控制器12,所述伺服引动器5、送风装置6和排风装置7均与控制器12连接,所述上座1的左侧板、右侧板、后侧板和开关门10均由透明抗静电PVC板制作而成。所述排风装置7包括位于滚动输送机构9下方的排风集风罩7a和位于排风集风罩7a下方的抽风装置7b,所述抽风装置7b的出风口位于下座2外。

在传动架3的进料端的光电检知装置检测到产品进来时,伺服引动器5带动电浆头4进行左右连续反复移动,位于电浆头4下方的滚动输送机构9表面的产品被移载经过电浆头4下方时,产品被电浆头4处理,在真空状态下,电 浆头4利用具有高能量的射频辐射使得氧、氩等气体生成具有高反应活性的离子与有机污染物等反应形成挥发性化合物,以达到清洗产品的目的,所形成的挥发性物质被排风装置7抽出厂外,从而提高了生产效率,同时降低了产品因认为作业而带来产品不良率,改善了生产环境,减少了人体危害。

以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述,但本实用新型并不局限于以上揭示的实施例,而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。

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