一种用于LED灯具生产的外延片清洗装置的制作方法

本发明涉及一种led灯具生产装置，尤其涉及一种用于led灯具生产的外延片清洗装置。

背景技术：

发光二极管灯具，亦称led灯具，是指能透光、分配和改变led光源光分布的器具，包括除led光源外所有用于固定和保护led光源所需的全部零、部件，以及与电源连接所必需的线路附件。发光二极管灯具以其高效、节能、安全、长寿、小巧、清晰光线等技术特点，正在成为新一代照明市场的主力产品，且有力地拉动环保节能产业的高速发展。

led的心脏是一个半导体的晶片，半导体的晶片也叫外延片，外延片是由加工完成的单晶硅棒切割而成，初步加工完成后的外延片表面易残留污染物，外延片表面留有污染物会降低led灯具的质量，从而会降低led灯具的成品量，因此需要对外延片进行清洗，目前，一般是人工用清洗溶液对外延片进行清洗，人工清洗的方式，费时费力、清洗效率较低，且人工清洗手需要长时间的浸泡在清洗溶液内，从而会影响工人的身体健康，因此亟需研发一种能够省时省力，能够提高清洗效率，能够保护工人的身体健康的用于led灯具生产的外延片清洗装置。

技术实现要素：

(1)要解决的技术问题

本发明为了克服人工清洗外延片的方式费时费力、清洗效率较低，且人工清洗手需要长时间的浸泡在清洗溶液内，会影响工人的身体健康的缺点，本发明要解决的技术问题是提供一种能够省时省力，能够提高清洗效率，能够保护工人的身体健康的用于led灯具生产的外延片清洗装置。

(2)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了这样一种用于led灯具生产的外延片清洗装置，包括有工作台台面、支腿、第一气管、真空吸盘、回收水槽、回流水管、溶液箱、水泵、出水管、支板、真空泵、吸气管、竖板、安装板、滑杆、滑套、横板、第一气缸、第一连接板、方管、喷头、第一轴承座、第一电机、丝杆和螺母，工作台台面的底部通过螺栓连接的方式连接有支腿，工作台台面的顶部中间开有凹槽，凹槽内设有第一气管，第一气管与工作台台面相连接，第一气管的顶部均匀间隔的安装有多个真空吸盘，左侧支腿的内侧面通过螺栓连接的方式连接有回收水槽，回收水槽的右侧连接有回流水管，回流水管的末端通入凹槽内，左侧支腿的内侧面通过螺栓连接的方式连接有溶液箱，溶液箱内的顶部通过螺栓连接的方式安装有水泵，水泵上连接有出水管，溶液箱与回收水槽之间通过螺栓连接的方式连接有支板，支板的顶部通过螺栓连接的方式安装有真空泵，真空泵上连接有吸气管，吸气管的末端通入第一气管内，工作台台面的顶部通设置有两个竖板，两个竖板左右对称，两个竖板之间通过螺栓连接的方式连接有安装板，安装板的前侧面下部通过螺栓连接的方式水平连接有滑杆，滑杆上设有与其滑动配合的滑套，滑套的底端通过螺栓连接的方式连接有横板，横板的底部通过螺栓连接的方式安装有第一气缸，第一气缸的伸缩杆上通过螺栓连接的方式连接有第一连接板，第一连接板的右侧面和出水管的末端之间连接有方管，方管与第一连接板铆接，方管的底部均匀间隔的安装有多个喷头，安装板前侧面上部的左右两侧均通过螺栓连接的方式安装有第一轴承座，安装板的前侧面设置有第一电机，第一电机的输出轴通过联轴器连接有丝杆，丝杆通过过盈连接的方式与第一轴承座的轴承相连接，丝杆上设有螺母，螺母的底端通过螺栓连接的方式与滑套的顶端相连接。

优选地，还包括有刷洗装置，第一连接板的底部设有刷洗装置，刷洗装置包括有第一滑轨、第一滑块、双面齿条、第二连接板、第一弹簧、第二电机、扇形齿轮、第二轴承座、转轴、第一齿轮和刷子，第一滑轨通过螺栓连接的方式与第一连接板的底部相连接，第一滑轨上设有与其滑动配合的第一滑块，第一滑块的底端通过螺栓连接的方式连接有双面齿条，第一滑轨后侧的第一连接板底部通过螺栓连接的方式连接有第二连接板，第二连接板与双面齿条之间通过焊接连接的方式连接有第一弹簧，第一滑轨右侧的第一连接板底部通过螺栓连接的方式安装有第二电机，第二电机的输出轴通过联轴器连接有扇形齿轮，扇形齿轮与双面齿条啮合，第一滑轨左侧的第一连接板底部通过螺栓连接的方式均匀间隔的安装有多个第二轴承座，第二轴承座上的轴承通过过盈连接的方式连接有转轴，转轴的外围通过平键连接的方式连接有第一齿轮，第一齿轮与双面齿条啮合，转轴的底端连接有刷子。

优选地，还包括有遮挡装置，遮挡装置包括有第二气缸、楔形块、挡水罩、支杆、接触滚轮和挡水板，左侧支腿的内侧面通过螺栓连接的方式安装有第二气缸，第二气缸位于回收水槽的上方，第二气缸的伸缩杆上通过螺栓连接的方式连接有楔形块，凹槽左右两侧的工作台台面竖向开有通槽，通槽内设有挡水罩，挡水罩的底部中间通过螺栓连接的方式连接有支杆，支杆的底端连接有接触滚轮，接触滚轮与楔形块接触，工作台台面的顶部设置有挡水板。

优选地，还包括有左右移动装置，左右移动装置包括有电动凸轮、第一竖杆、第二竖杆和第二弹簧，第一连接板的顶部右侧通过螺栓连接的方式安装有电动凸轮，电动凸轮的右侧设有第一竖杆，第一竖杆的底端通过螺栓连接的方与方管的顶部相连接，电动凸轮的左侧设有第二竖杆，第二竖杆的底端通过螺栓连接的方式与第一连接板的顶部相连接，第二竖杆与第一竖杆之间通过焊接连接的方式连接有第二弹簧，第二弹簧位于电动凸轮的上方。

优选地，还包括有第二滑轨和第二滑块，左侧支腿的内侧面通过螺栓连接的方式水平连接有第二滑轨，第二滑轨位于第二气缸和回收水槽之间，第二滑轨上设有与其滑动配合的第二滑块，第二滑块的顶端通过螺栓连接的方式与楔形块的底部相连接。

优选地，挡水板的底部通过螺栓连接的方式与工作台台面的顶部相连接，挡水板连接在工作台台面的顶部后侧，且位于凹槽的后侧，挡水板的形状为长方体，挡水板的制作材料为不锈钢。

优选地，挡水罩的形状为长方体，挡水罩的顶部和后侧均为敞口式设置，挡水罩的高度和长度与挡水板的高度和长度一致，挡水罩的制作材料为pvc塑料。

优选地，竖板的底端通过螺栓连接的方式与工作台台面的顶部相连接，竖板位于凹槽的外侧，竖板的形状为长方体，竖板的长度至少为2cm，竖板的宽度至少为3cm，竖板的高度至少为60cm。

优选地，第一电机通过螺栓连接的方式安装在安装板的前侧面，第一电机安装在安装板的前侧面上部，且位于左侧第一轴承座的左侧，第一电机为伺服电机。

工作原理：当要清洗外延片时，先将要清洗的外延片放置在真空吸盘上，再人工启动真空泵抽吸，使真空吸盘内产生负气压将外延片吸住。然后人工启动第一气缸使喷头向下移动，当喷头向下移动至合适高度时，将第一气缸关闭。然后再同时启动水泵和第一电机，使丝杆正反交替转动，溶液箱内的清洗溶液经出水管和方管从喷头喷出对下方的外延片进行喷洗。丝杆正方交替针转动使螺母左右移动，螺母左右移动使喷头左右移动，喷头左右移动能够对下方全部的外延进行喷洗。清洗溶液落入凹槽内，经回流水管流入回收水槽内。外延片喷洗完成后，同时关闭水泵和第一电机。再启动第一气缸使喷头向上移动复位，喷头复位后将第一气缸关闭。然后使真空泵平稳的充气进真空吸盘内，使真空吸盘将外延片松开，随后将外延片取下即可。重复上述操作，能够对外延片进行清洗。如此本发明不需要工人将手浸泡在清洗溶液内对外延片进行清洗，且还能够一次性的对较多的外延片进行清洗，因此本发明能够省时省力，能够提高清洗效率，能够保护工人的身体健康。

因为还包括有刷洗装置，第一连接板的底部设有刷洗装置，刷洗装置包括有第一滑轨、第一滑块、双面齿条、第二连接板、第一弹簧、第二电机、扇形齿轮、第二轴承座、转轴、第一齿轮和刷子，第一滑轨通过螺栓连接的方式与第一连接板的底部相连接，第一滑轨上设有与其滑动配合的第一滑块，第一滑块的底端通过螺栓连接的方式连接有双面齿条，第一滑轨后侧的第一连接板底部通过螺栓连接的方式连接有第二连接板，第二连接板与双面齿条之间通过焊接连接的方式连接有第一弹簧，第一滑轨右侧的第一连接板底部通过螺栓连接的方式安装有第二电机，第二电机的输出轴通过联轴器连接有扇形齿轮，扇形齿轮与双面齿条啮合，第一滑轨左侧的第一连接板底部通过螺栓连接的方式均匀间隔的安装有多个第二轴承座，第二轴承座上的轴承通过过盈连接的方式连接有转轴，转轴的外围通过平键连接的方式连接有第一齿轮，第一齿轮与双面齿条啮合，转轴的底端连接有刷子。人工启动第二电机使扇形齿轮转动，扇形齿轮转动使双面齿条不断的前后移动，第一弹簧不断的伸缩，双面齿条前后移动使第一齿轮正反交替转动，第一齿轮正反交替转动转轴随之正反交替转动，转轴正反交替转动刷子随之正反交替转动。刷子正反交替转动能够对外延片进行刷洗，从而能够将外延片清洗的更佳洁净。外延片清洗完成后将第二电机关闭即可。

因为还包括有遮挡装置，遮挡装置包括有第二气缸、楔形块、挡水罩、支杆、接触滚轮和挡水板，左侧支腿的内侧面通过螺栓连接的方式安装有第二气缸，第二气缸位于回收水槽的上方，第二气缸的伸缩杆上通过螺栓连接的方式连接有楔形块，凹槽左右两侧的工作台台面竖向开有通槽，通槽内设有挡水罩，挡水罩的底部中间通过螺栓连接的方式连接有支杆，支杆的底端连接有接触滚轮，接触滚轮与楔形块接触，工作台台面的顶部设置有挡水板。人工启动第二气缸使楔形块向右移动，楔形块向右移动使挡水罩向上移动，当挡水罩向上移动至合适高度时将第二气缸关闭，挡水罩与挡水板共同形成一个几乎密闭的空间，如此能够将从喷头喷出的清洗溶液挡住，从而能够防止清洗溶液溅在工作人员的身上。当要取下外延片时，人工启动第二气缸使楔形块向左移动复位移动，楔形块向左移动复位移动使挡水罩向下移动复位，挡水罩复位后将第二气缸关闭即可。

因为还包括有左右移动装置，左右移动装置包括有电动凸轮、第一竖杆、第二竖杆和第二弹簧，第一连接板的顶部右侧通过螺栓连接的方式安装有电动凸轮，电动凸轮的右侧设有第一竖杆，第一竖杆的底端通过螺栓连接的方与方管的顶部相连接，电动凸轮的左侧设有第二竖杆，第二竖杆的底端通过螺栓连接的方式与第一连接板的顶部相连接，第二竖杆与第一竖杆之间通过焊接连接的方式连接有第二弹簧，第二弹簧位于电动凸轮的上方。人工启动电动凸轮转动，电动凸轮转动不断击打第一竖杆使第一竖杆不断的左右移动，第二弹簧不断伸缩，第一竖杆左右移动方管和喷头随之左右移动，如此能够扩大喷头的喷洗面积，从而能够进一步的提高清洗效率。

因为还包括有第二滑轨和第二滑块，左侧支腿的内侧面通过螺栓连接的方式水平连接有第二滑轨，第二滑轨位于第二气缸和回收水槽之间，第二滑轨上设有与其滑动配合的第二滑块，第二滑块的顶端通过螺栓连接的方式与楔形块的底部相连接。第二滑块能够使楔形块更加稳定、顺畅的左右移动。

(3)有益效果

本发明通过使喷头喷出清洗溶液和使喷头左右移动一次性的对较多的外延片进行清洗，从而达到了能够省时省力，能够提高清洗效率，能够保护工人的身体健康的效果。

附图说明

图1为本发明的第一种主视结构示意图。

图2为本发明的第二种主视结构示意图。

图3为本发明刷洗装置的放大示意图。

图4为本发明第一连接板的俯视结构示意图。

图5为本发明的第三种主视结构示意图。

图6为本发明工作台台面的俯视结构示意图。

图7为本发明的第四种主视结构示意图。

图8为本发明的第五种主视结构示意图。

附图中的标记为：1-工作台台面，2-支腿，3-凹槽，4-第一气管，5-真空吸盘，6-回收水槽，7-回流水管，8-溶液箱，9-水泵，10-出水管，11-支板，12-真空泵，13-吸气管，14-竖板，15-安装板，16-滑杆，17-滑套，18-横板，19-第一气缸，20-第一连接板，21-方管，22-喷头，23-第一轴承座，24-第一电机，25-丝杆，26-螺母，27-刷洗装置，271-第一滑轨，272-第一滑块，273-双面齿条，274-第二连接板，275-第一弹簧，276-第二电机，277-扇形齿轮，278-第二轴承座，279-转轴，2710-第一齿轮，2711-刷子，28-遮挡装置，281-第二气缸，282-楔形块，283-通槽，284-挡水罩，285-支杆，286-接触滚轮，287-挡水板，29-左右移动装置，291-电动凸轮，292-第一竖杆，293-第二竖杆，294-第二弹簧，30-第二滑轨，31-第二滑块。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。

实施例1

一种用于led灯具生产的外延片清洗装置，如图1-8所示，包括有工作台台面1、支腿2、第一气管4、真空吸盘5、回收水槽6、回流水管7、溶液箱8、水泵9、出水管10、支板11、真空泵12、吸气管13、竖板14、安装板15、滑杆16、滑套17、横板18、第一气缸19、第一连接板20、方管21、喷头22、第一轴承座23、第一电机24、丝杆25和螺母26，工作台台面1的底部通过螺栓连接的方式连接有支腿2，工作台台面1的顶部中间开有凹槽3，凹槽3内设有第一气管4，第一气管4与工作台台面1相连接，第一气管4的顶部均匀间隔的安装有多个真空吸盘5，左侧支腿2的内侧面通过螺栓连接的方式连接有回收水槽6，回收水槽6的右侧连接有回流水管7，回流水管7的末端通入凹槽3内，左侧支腿2的内侧面通过螺栓连接的方式连接有溶液箱8，溶液箱8内的顶部通过螺栓连接的方式安装有水泵9，水泵9上连接有出水管10，溶液箱8与回收水槽6之间通过螺栓连接的方式连接有支板11，支板11的顶部通过螺栓连接的方式安装有真空泵12，真空泵12上连接有吸气管13，吸气管13的末端通入第一气管4内，工作台台面1的顶部通设置有两个竖板14，两个竖板14左右对称，两个竖板14之间通过螺栓连接的方式连接有安装板15，安装板15的前侧面下部通过螺栓连接的方式水平连接有滑杆16，滑杆16上设有与其滑动配合的滑套17，滑套17的底端通过螺栓连接的方式连接有横板18，横板18的底部通过螺栓连接的方式安装有第一气缸19，第一气缸19的伸缩杆上通过螺栓连接的方式连接有第一连接板20，第一连接板20的右侧面和出水管10的末端之间连接有方管21，方管21与第一连接板20铆接，方管21的底部均匀间隔的安装有多个喷头22，安装板15前侧面上部的左右两侧均通过螺栓连接的方式安装有第一轴承座23，安装板15的前侧面设置有第一电机24，第一电机24的输出轴通过联轴器连接有丝杆25，丝杆25通过过盈连接的方式与第一轴承座23的轴承相连接，丝杆25上设有螺母26，螺母26的底端通过螺栓连接的方式与滑套17的顶端相连接。

实施例2

一种用于led灯具生产的外延片清洗装置，如图1-8所示，包括有工作台台面1、支腿2、第一气管4、真空吸盘5、回收水槽6、回流水管7、溶液箱8、水泵9、出水管10、支板11、真空泵12、吸气管13、竖板14、安装板15、滑杆16、滑套17、横板18、第一气缸19、第一连接板20、方管21、喷头22、第一轴承座23、第一电机24、丝杆25和螺母26，工作台台面1的底部通过螺栓连接的方式连接有支腿2，工作台台面1的顶部中间开有凹槽3，凹槽3内设有第一气管4，第一气管4与工作台台面1相连接，第一气管4的顶部均匀间隔的安装有多个真空吸盘5，左侧支腿2的内侧面通过螺栓连接的方式连接有回收水槽6，回收水槽6的右侧连接有回流水管7，回流水管7的末端通入凹槽3内，左侧支腿2的内侧面通过螺栓连接的方式连接有溶液箱8，溶液箱8内的顶部通过螺栓连接的方式安装有水泵9，水泵9上连接有出水管10，溶液箱8与回收水槽6之间通过螺栓连接的方式连接有支板11，支板11的顶部通过螺栓连接的方式安装有真空泵12，真空泵12上连接有吸气管13，吸气管13的末端通入第一气管4内，工作台台面1的顶部通设置有两个竖板14，两个竖板14左右对称，两个竖板14之间通过螺栓连接的方式连接有安装板15，安装板15的前侧面下部通过螺栓连接的方式水平连接有滑杆16，滑杆16上设有与其滑动配合的滑套17，滑套17的底端通过螺栓连接的方式连接有横板18，横板18的底部通过螺栓连接的方式安装有第一气缸19，第一气缸19的伸缩杆上通过螺栓连接的方式连接有第一连接板20，第一连接板20的右侧面和出水管10的末端之间连接有方管21，方管21与第一连接板20铆接，方管21的底部均匀间隔的安装有多个喷头22，安装板15前侧面上部的左右两侧均通过螺栓连接的方式安装有第一轴承座23，安装板15的前侧面设置有第一电机24，第一电机24的输出轴通过联轴器连接有丝杆25，丝杆25通过过盈连接的方式与第一轴承座23的轴承相连接，丝杆25上设有螺母26，螺母26的底端通过螺栓连接的方式与滑套17的顶端相连接。

还包括有刷洗装置27，第一连接板20的底部设有刷洗装置27，刷洗装置27包括有第一滑轨271、第一滑块272、双面齿条273、第二连接板274、第一弹簧275、第二电机276、扇形齿轮277、第二轴承座278、转轴279、第一齿轮2710和刷子2711，第一滑轨271通过螺栓连接的方式与第一连接板20的底部相连接，第一滑轨271上设有与其滑动配合的第一滑块272，第一滑块272的底端通过螺栓连接的方式连接有双面齿条273，第一滑轨271后侧的第一连接板20底部通过螺栓连接的方式连接有第二连接板274，第二连接板274与双面齿条273之间通过焊接连接的方式连接有第一弹簧275，第一滑轨271右侧的第一连接板20底部通过螺栓连接的方式安装有第二电机276，第二电机276的输出轴通过联轴器连接有扇形齿轮277，扇形齿轮277与双面齿条273啮合，第一滑轨271左侧的第一连接板20底部通过螺栓连接的方式均匀间隔的安装有多个第二轴承座278，第二轴承座278上的轴承通过过盈连接的方式连接有转轴279，转轴279的外围通过平键连接的方式连接有第一齿轮2710，第一齿轮2710与双面齿条273啮合，转轴279的底端连接有刷子2711。

实施例3

一种用于led灯具生产的外延片清洗装置，如图1-8所示，包括有工作台台面1、支腿2、第一气管4、真空吸盘5、回收水槽6、回流水管7、溶液箱8、水泵9、出水管10、支板11、真空泵12、吸气管13、竖板14、安装板15、滑杆16、滑套17、横板18、第一气缸19、第一连接板20、方管21、喷头22、第一轴承座23、第一电机24、丝杆25和螺母26，工作台台面1的底部通过螺栓连接的方式连接有支腿2，工作台台面1的顶部中间开有凹槽3，凹槽3内设有第一气管4，第一气管4与工作台台面1相连接，第一气管4的顶部均匀间隔的安装有多个真空吸盘5，左侧支腿2的内侧面通过螺栓连接的方式连接有回收水槽6，回收水槽6的右侧连接有回流水管7，回流水管7的末端通入凹槽3内，左侧支腿2的内侧面通过螺栓连接的方式连接有溶液箱8，溶液箱8内的顶部通过螺栓连接的方式安装有水泵9，水泵9上连接有出水管10，溶液箱8与回收水槽6之间通过螺栓连接的方式连接有支板11，支板11的顶部通过螺栓连接的方式安装有真空泵12，真空泵12上连接有吸气管13，吸气管13的末端通入第一气管4内，工作台台面1的顶部通设置有两个竖板14，两个竖板14左右对称，两个竖板14之间通过螺栓连接的方式连接有安装板15，安装板15的前侧面下部通过螺栓连接的方式水平连接有滑杆16，滑杆16上设有与其滑动配合的滑套17，滑套17的底端通过螺栓连接的方式连接有横板18，横板18的底部通过螺栓连接的方式安装有第一气缸19，第一气缸19的伸缩杆上通过螺栓连接的方式连接有第一连接板20，第一连接板20的右侧面和出水管10的末端之间连接有方管21，方管21与第一连接板20铆接，方管21的底部均匀间隔的安装有多个喷头22，安装板15前侧面上部的左右两侧均通过螺栓连接的方式安装有第一轴承座23，安装板15的前侧面设置有第一电机24，第一电机24的输出轴通过联轴器连接有丝杆25，丝杆25通过过盈连接的方式与第一轴承座23的轴承相连接，丝杆25上设有螺母26，螺母26的底端通过螺栓连接的方式与滑套17的顶端相连接。

还包括有刷洗装置27，第一连接板20的底部设有刷洗装置27，刷洗装置27包括有第一滑轨271、第一滑块272、双面齿条273、第二连接板274、第一弹簧275、第二电机276、扇形齿轮277、第二轴承座278、转轴279、第一齿轮2710和刷子2711，第一滑轨271通过螺栓连接的方式与第一连接板20的底部相连接，第一滑轨271上设有与其滑动配合的第一滑块272，第一滑块272的底端通过螺栓连接的方式连接有双面齿条273，第一滑轨271后侧的第一连接板20底部通过螺栓连接的方式连接有第二连接板274，第二连接板274与双面齿条273之间通过焊接连接的方式连接有第一弹簧275，第一滑轨271右侧的第一连接板20底部通过螺栓连接的方式安装有第二电机276，第二电机276的输出轴通过联轴器连接有扇形齿轮277，扇形齿轮277与双面齿条273啮合，第一滑轨271左侧的第一连接板20底部通过螺栓连接的方式均匀间隔的安装有多个第二轴承座278，第二轴承座278上的轴承通过过盈连接的方式连接有转轴279，转轴279的外围通过平键连接的方式连接有第一齿轮2710，第一齿轮2710与双面齿条273啮合，转轴279的底端连接有刷子2711。

还包括有遮挡装置28，遮挡装置28包括有第二气缸281、楔形块282、挡水罩284、支杆285、接触滚轮286和挡水板287，左侧支腿2的内侧面通过螺栓连接的方式安装有第二气缸281，第二气缸281位于回收水槽6的上方，第二气缸281的伸缩杆上通过螺栓连接的方式连接有楔形块282，凹槽3左右两侧的工作台台面1竖向开有通槽283，通槽283内设有挡水罩284，挡水罩284的底部中间通过螺栓连接的方式连接有支杆285，支杆285的底端连接有接触滚轮286，接触滚轮286与楔形块282接触，工作台台面1的顶部设置有挡水板287。

实施例4

一种用于led灯具生产的外延片清洗装置，如图1-8所示，包括有工作台台面1、支腿2、第一气管4、真空吸盘5、回收水槽6、回流水管7、溶液箱8、水泵9、出水管10、支板11、真空泵12、吸气管13、竖板14、安装板15、滑杆16、滑套17、横板18、第一气缸19、第一连接板20、方管21、喷头22、第一轴承座23、第一电机24、丝杆25和螺母26，工作台台面1的底部通过螺栓连接的方式连接有支腿2，工作台台面1的顶部中间开有凹槽3，凹槽3内设有第一气管4，第一气管4与工作台台面1相连接，第一气管4的顶部均匀间隔的安装有多个真空吸盘5，左侧支腿2的内侧面通过螺栓连接的方式连接有回收水槽6，回收水槽6的右侧连接有回流水管7，回流水管7的末端通入凹槽3内，左侧支腿2的内侧面通过螺栓连接的方式连接有溶液箱8，溶液箱8内的顶部通过螺栓连接的方式安装有水泵9，水泵9上连接有出水管10，溶液箱8与回收水槽6之间通过螺栓连接的方式连接有支板11，支板11的顶部通过螺栓连接的方式安装有真空泵12，真空泵12上连接有吸气管13，吸气管13的末端通入第一气管4内，工作台台面1的顶部通设置有两个竖板14，两个竖板14左右对称，两个竖板14之间通过螺栓连接的方式连接有安装板15，安装板15的前侧面下部通过螺栓连接的方式水平连接有滑杆16，滑杆16上设有与其滑动配合的滑套17，滑套17的底端通过螺栓连接的方式连接有横板18，横板18的底部通过螺栓连接的方式安装有第一气缸19，第一气缸19的伸缩杆上通过螺栓连接的方式连接有第一连接板20，第一连接板20的右侧面和出水管10的末端之间连接有方管21，方管21与第一连接板20铆接，方管21的底部均匀间隔的安装有多个喷头22，安装板15前侧面上部的左右两侧均通过螺栓连接的方式安装有第一轴承座23，安装板15的前侧面设置有第一电机24，第一电机24的输出轴通过联轴器连接有丝杆25，丝杆25通过过盈连接的方式与第一轴承座23的轴承相连接，丝杆25上设有螺母26，螺母26的底端通过螺栓连接的方式与滑套17的顶端相连接。

还包括有刷洗装置27，第一连接板20的底部设有刷洗装置27，刷洗装置27包括有第一滑轨271、第一滑块272、双面齿条273、第二连接板274、第一弹簧275、第二电机276、扇形齿轮277、第二轴承座278、转轴279、第一齿轮2710和刷子2711，第一滑轨271通过螺栓连接的方式与第一连接板20的底部相连接，第一滑轨271上设有与其滑动配合的第一滑块272，第一滑块272的底端通过螺栓连接的方式连接有双面齿条273，第一滑轨271后侧的第一连接板20底部通过螺栓连接的方式连接有第二连接板274，第二连接板274与双面齿条273之间通过焊接连接的方式连接有第一弹簧275，第一滑轨271右侧的第一连接板20底部通过螺栓连接的方式安装有第二电机276，第二电机276的输出轴通过联轴器连接有扇形齿轮277，扇形齿轮277与双面齿条273啮合，第一滑轨271左侧的第一连接板20底部通过螺栓连接的方式均匀间隔的安装有多个第二轴承座278，第二轴承座278上的轴承通过过盈连接的方式连接有转轴279，转轴279的外围通过平键连接的方式连接有第一齿轮2710，第一齿轮2710与双面齿条273啮合，转轴279的底端连接有刷子2711。

还包括有遮挡装置28，遮挡装置28包括有第二气缸281、楔形块282、挡水罩284、支杆285、接触滚轮286和挡水板287，左侧支腿2的内侧面通过螺栓连接的方式安装有第二气缸281，第二气缸281位于回收水槽6的上方，第二气缸281的伸缩杆上通过螺栓连接的方式连接有楔形块282，凹槽3左右两侧的工作台台面1竖向开有通槽283，通槽283内设有挡水罩284，挡水罩284的底部中间通过螺栓连接的方式连接有支杆285，支杆285的底端连接有接触滚轮286，接触滚轮286与楔形块282接触，工作台台面1的顶部设置有挡水板287。

还包括有左右移动装置29，左右移动装置29包括有电动凸轮291、第一竖杆292、第二竖杆293和第二弹簧294，第一连接板20的顶部右侧通过螺栓连接的方式安装有电动凸轮291，电动凸轮291的右侧设有第一竖杆292，第一竖杆292的底端通过螺栓连接的方与方管21的顶部相连接，电动凸轮291的左侧设有第二竖杆293，第二竖杆293的底端通过螺栓连接的方式与第一连接板20的顶部相连接，第二竖杆293与第一竖杆292之间通过焊接连接的方式连接有第二弹簧294，第二弹簧294位于电动凸轮291的上方。

还包括有第二滑轨30和第二滑块31，左侧支腿2的内侧面通过螺栓连接的方式水平连接有第二滑轨30，第二滑轨30位于第二气缸281和回收水槽6之间，第二滑轨30上设有与其滑动配合的第二滑块31，第二滑块31的顶端通过螺栓连接的方式与楔形块282的底部相连接。

挡水板287的底部通过螺栓连接的方式与工作台台面1的顶部相连接，挡水板287连接在工作台台面1的顶部后侧，且位于凹槽3的后侧，挡水板287的形状为长方体，挡水板287的制作材料为不锈钢。

挡水罩284的形状为长方体，挡水罩284的顶部和后侧均为敞口式设置，挡水罩284的高度和长度与挡水板287的高度和长度一致，挡水罩284的制作材料为pvc塑料。

竖板14的底端通过螺栓连接的方式与工作台台面1的顶部相连接，竖板14位于凹槽3的外侧，竖板14的形状为长方体，竖板14的长度至少为2cm，竖板14的宽度至少为3cm，竖板14的高度至少为60cm。

第一电机24通过螺栓连接的方式安装在安装板15的前侧面，第一电机24安装在安装板15的前侧面上部，且位于左侧第一轴承座23的左侧，第一电机24为伺服电机。

工作原理：当要清洗外延片时，先将要清洗的外延片放置在真空吸盘5上，再人工启动真空泵12抽吸，使真空吸盘5内产生负气压将外延片吸住。然后人工启动第一气缸19使喷头22向下移动，当喷头22向下移动至合适高度时，将第一气缸19关闭。然后再同时启动水泵9和第一电机24，使丝杆25正反交替转动，溶液箱8内的清洗溶液经出水管10和方管21从喷头22喷出对下方的外延片进行喷洗。丝杆25正方交替针转动使螺母26左右移动，螺母26左右移动使喷头22左右移动，喷头22左右移动能够对下方全部的外延进行喷洗。清洗溶液落入凹槽3内，经回流水管7流入回收水槽6内。外延片喷洗完成后，同时关闭水泵9和第一电机24。再启动第一气缸19使喷头22向上移动复位，喷头22复位后将第一气缸19关闭。然后使真空泵12平稳的充气进真空吸盘5内，使真空吸盘5将外延片松开，随后将外延片取下即可。重复上述操作，能够对外延片进行清洗。如此本发明不需要工人将手浸泡在清洗溶液内对外延片进行清洗，且还能够一次性的对较多的外延片进行清洗，因此本发明能够省时省力，能够提高清洗效率，能够保护工人的身体健康。

因为还包括有刷洗装置27，第一连接板20的底部设有刷洗装置27，刷洗装置27包括有第一滑轨271、第一滑块272、双面齿条273、第二连接板274、第一弹簧275、第二电机276、扇形齿轮277、第二轴承座278、转轴279、第一齿轮2710和刷子2711，第一滑轨271通过螺栓连接的方式与第一连接板20的底部相连接，第一滑轨271上设有与其滑动配合的第一滑块272，第一滑块272的底端通过螺栓连接的方式连接有双面齿条273，第一滑轨271后侧的第一连接板20底部通过螺栓连接的方式连接有第二连接板274，第二连接板274与双面齿条273之间通过焊接连接的方式连接有第一弹簧275，第一滑轨271右侧的第一连接板20底部通过螺栓连接的方式安装有第二电机276，第二电机276的输出轴通过联轴器连接有扇形齿轮277，扇形齿轮277与双面齿条273啮合，第一滑轨271左侧的第一连接板20底部通过螺栓连接的方式均匀间隔的安装有多个第二轴承座278，第二轴承座278上的轴承通过过盈连接的方式连接有转轴279，转轴279的外围通过平键连接的方式连接有第一齿轮2710，第一齿轮2710与双面齿条273啮合，转轴279的底端连接有刷子2711。人工启动第二电机276使扇形齿轮277转动，扇形齿轮277转动使双面齿条273不断的前后移动，第一弹簧275不断的伸缩，双面齿条273前后移动使第一齿轮2710正反交替转动，第一齿轮2710正反交替转动转轴279随之正反交替转动，转轴279正反交替转动刷子2711随之正反交替转动。刷子2711正反交替转动能够对外延片进行刷洗，从而能够将外延片清洗的更佳洁净。外延片清洗完成后将第二电机276关闭即可。

因为还包括有遮挡装置28，遮挡装置28包括有第二气缸281、楔形块282、挡水罩284、支杆285、接触滚轮286和挡水板287，左侧支腿2的内侧面通过螺栓连接的方式安装有第二气缸281，第二气缸281位于回收水槽6的上方，第二气缸281的伸缩杆上通过螺栓连接的方式连接有楔形块282，凹槽3左右两侧的工作台台面1竖向开有通槽283，通槽283内设有挡水罩284，挡水罩284的底部中间通过螺栓连接的方式连接有支杆285，支杆285的底端连接有接触滚轮286，接触滚轮286与楔形块282接触，工作台台面1的顶部设置有挡水板287。人工启动第二气缸281使楔形块282向右移动，楔形块282向右移动使挡水罩284向上移动，当挡水罩284向上移动至合适高度时将第二气缸281关闭，挡水罩284与挡水板287共同形成一个几乎密闭的空间，如此能够将从喷头22喷出的清洗溶液挡住，从而能够防止清洗溶液溅在工作人员的身上。当要取下外延片时，人工启动第二气缸281使楔形块282向左移动复位移动，楔形块282向左移动复位移动使挡水罩284向下移动复位，挡水罩284复位后将第二气缸281关闭即可。

因为还包括有左右移动装置29，左右移动装置29包括有电动凸轮291、第一竖杆292、第二竖杆293和第二弹簧294，第一连接板20的顶部右侧通过螺栓连接的方式安装有电动凸轮291，电动凸轮291的右侧设有第一竖杆292，第一竖杆292的底端通过螺栓连接的方与方管21的顶部相连接，电动凸轮291的左侧设有第二竖杆293，第二竖杆293的底端通过螺栓连接的方式与第一连接板20的顶部相连接，第二竖杆293与第一竖杆292之间通过焊接连接的方式连接有第二弹簧294，第二弹簧294位于电动凸轮291的上方。人工启动电动凸轮291转动，电动凸轮291转动不断击打第一竖杆292使第一竖杆292不断的左右移动，第二弹簧294不断伸缩，第一竖杆292左右移动方管21和喷头22随之左右移动，如此能够扩大喷头22的喷洗面积，从而能够进一步的提高清洗效率。

因为还包括有第二滑轨30和第二滑块31，左侧支腿2的内侧面通过螺栓连接的方式水平连接有第二滑轨30，第二滑轨30位于第二气缸281和回收水槽6之间，第二滑轨30上设有与其滑动配合的第二滑块31，第二滑块31的顶端通过螺栓连接的方式与楔形块282的底部相连接。第二滑块31能够使楔形块282更加稳定、顺畅的左右移动。

以上所述实施例仅表达了本发明的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形、改进及替代，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。