一种超纯水设备的制作方法

本实用新型涉及超纯水技术领域，具体为一种超纯水设备。

背景技术：

超纯水，电阻率达到18MΩ*cm（25℃）的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。但是要想达到超纯水的要求，一般都需要经过很多道工序，生产装置结构复杂，且生产效率低下。

技术实现要素：

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种超纯水设备，包括预处理水箱，所述预处理水箱的顶部入水口连接有自来水箱，预处理器水箱内部安装有多介质过滤器，预处理器水箱的底部出水口连接有反渗透箱，所述反渗透箱的内部分为三层，第一层内部四周侧壁上安装有加热器，底部铺垫有活性炭过滤器，活性炭过滤器对应底部有出水口连接到第二层，第二层内部安装有电解床，出水口安装有反渗透水膜，第三层内部安装有膜脱气装置，反渗透箱的出水口安装有出水阀，所述出水阀通过导管连接有纯水箱，所述纯水箱内部顶端固定安装有紫外线杀菌灯，输出端连接有蒸馏釜，所述蒸馏釜内部固定安装有抛光混床，输出口连接有超滤装置，所述超滤装置的输出端连接有密封存储罐。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述多介质过滤器的侧边还安装有反冲洗水泵，所述反冲洗水泵的进水口连接到自来水箱。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述膜脱气装置包括中心管，所述中心管的周围围绕分布有膜纤维管。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述超滤装置包括超滤管道，所述超滤管道的进水口连接有过滤水泵，超滤管道的内部均匀卡接放置有超滤膜。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该超纯水设备，通过设置多介质过滤箱进行大分子过滤操作，结合反冲洗水泵可以实现自动清洗，无需取出，从而使操作更加简便；通过设置膜脱气装置，利用中心管和膜纤维管组成脱气装置，大大提高了脱气性能；通过设置超滤装置，进一步提高过滤效果，保证超纯水的纯度；本实用新型能够有效实现超纯水的提纯操作，大大提高生产效率，安全高效。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图中：1-预处理水箱；2-自来水箱；3-多介质过滤器；4-反渗透箱；5-加热器；6-活性炭过滤器；7-电解床；8-反渗透水膜；9-膜脱气装置；10出水阀；11-纯水箱；12-紫外线杀菌灯；13-蒸馏釜；14-抛光混床；15-超滤装置；16-密封存储罐；17-反冲洗水泵；18-中心管；19-膜纤维管；20-超滤管道；21-过滤水泵；22-超滤膜。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：包括预处理水箱1，所述预处理水箱1的顶部入水口连接有自来水箱2，预处理器水箱1内部安装有多介质过滤器3，预处理器水箱1的底部出水口连接有反渗透箱4，所述反渗透箱4的内部分为三层，第一层内部四周侧壁上安装有加热器5，底部铺垫有活性炭过滤器6，活性炭过滤器6对应底部有出水口连接到第二层，第二层内部安装有电解床7，出水口安装有反渗透水膜8，第三层内部安装有膜脱气装置9，反渗透箱4的出水口安装有出水阀10，所述出水阀10通过导管连接有纯水箱11，所述纯水箱11内部顶端固定安装有紫外线杀菌灯12，输出端连接有蒸馏釜13，所述蒸馏釜13内部固定安装有抛光混床14，输出口连接有超滤装置15，所述超滤装置15的输出端连接有密封存储罐16；

所述多介质过滤器3的侧边还安装有反冲洗水泵17，所述反冲洗水泵17的进水口连接到自来水箱2；所述膜脱气装置9包括中心管18，所述中心管18的周围围绕分布有膜纤维管19；所述超滤装置15包括超滤管道20，所述超滤管道20的进水口连接有过滤水泵21，超滤管道20的内部均匀卡接放置有超滤膜22。

所述预处理水箱1通过自来水箱2引入自来水，通过多介质过滤器3除去水中可溶性大颗粒物质，然后进入反渗透箱4，首先加热器5对谁进行加热，减小一些可溶性物体的溶解度使之析出，然后利用活性炭过滤器6除去水中的碳有机物和余氯；接着利用电解床7进行电解除去无机盐离子，经过过滤电解的水通过反渗透水膜8得到稳定的水分子，进入膜脱气装置9，利用中心管18引入水循环，以周围的膜纤维管19引入进行脱气操作，除去水中溶解性气体；所述出水阀10打开后，得到的半成品进入纯水箱11，首先由紫外线杀菌灯12进行杀菌操作，接着进入蒸馏釜13做蒸馏提纯，所述抛光混床14截留溶解性大分子和所有大于0.2um的离子/有机溶剂和其他小的溶解性物质，蒸馏抛光后得到的水进入超滤装置15，过滤水泵21将水吸入超滤管道20，经过层层超滤膜22得到最终纯水，并存储至密封存储罐16；所述反冲洗水泵17对预处理水箱1进行清洗操作。

具体使用方式及优点：该超纯水设备，通过设置多介质过滤箱进行大分子过滤操作，结合反冲洗水泵可以实现自动清洗，无需取出，从而使操作更加简便；通过设置膜脱气装置，利用中心管和膜纤维管组成脱气装置，大大提高了脱气性能；通过设置超滤装置，进一步提高过滤效果，保证超纯水的纯度；本实用新型能够有效实现超纯水的提纯操作，大大提高生产效率，安全高效。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。