一种单晶硅生产用过滤清洗装置的制作方法

文档序号:14972081发布日期:2018-07-20 18:28阅读:219来源:国知局

本实用新型涉及单晶硅生产加工技术领域,尤其涉及一种单晶硅生产用过滤清洗装置。



背景技术:

在单晶硅生产过程中需使用清洗机对硅片进行清洗,清洗掉存在于硅片间隙的残留物及金属杂质等,由于硅片的间隙很小,很难使残留物和金属杂质溢出,导致大量油污片、花片等不合格品的出现,影响产品质量。此外,槽中的清洗液不能流动,需要频繁的更换,同时不利于单晶硅片的清洗,降低了产品质量。



技术实现要素:

为了解决上述背景技术中提到的问题,本实用新型提供一种单晶硅生产用过滤清洗装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种单晶硅生产用过滤清洗装置,包括机体外壳,所述机体外壳的下端四周均固定连接有支撑腿,所述机体外壳的外壁两侧对称固定连接有固定板,且固定板的上端安装有第一驱动电机,所述第一驱动电机的一侧通过第一转轴连接有转盘,且转盘的外壁一侧固定连接有偏心轴,所述偏心轴远离转盘的一端转动连接有活动杆,且活动杆远离偏心轴的一端转动连接有连接杆,所述连接杆水平穿过机体外壳的外壁向内延伸端固定连接有清洗槽,所述清洗槽的下端内壁设有过滤网,且过滤网的上端设有第一毛刷,所述机体外壳的上端一侧设有第二驱动电机,且第二驱动电机的一侧通过第二转轴连接有联轴器,所述联轴器远离第二转轴的一端设有丝杆,且丝杆远离联轴器的一端外壁螺纹连接有固定块,所述固定块的下端固定连接有支撑杆,所述支撑杆的底端通过弹簧固定连接有安装板,且安装板的底部设有第二毛刷。

优选地,所述清洗槽的底壁为敞开式,且清洗槽的底部与外部连通。

优选地,所述支撑杆的外壁两侧对称连接有限位杆,且机体外壳的内壁设有与限位杆对应的限位槽。

优选地,所述过滤网的孔径小于单晶硅片的直径。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:首先启动第一驱动电机,第一转轴带动转盘旋转,转盘再通过偏心轴带动活动杆转动,从而使得连接杆水平移动,进而实现清洗槽的水平往返运动,将单晶硅片放置于第一毛刷的上端,并在清洗槽的水平移动下进行过滤清洗,且清洗槽的底壁为敞开式,并与外部连通,便于清洗液的流通,使得单晶硅片的清洗效果更好,此时,再启动第二驱动电机,使得第二转轴通过联轴器带动丝杆转动,由于丝杆的一端外壁螺纹连接有固定块,丝杆带动固定块水平移动,同时在限位杆的作用下进行限位,避免晃动,而支撑杆的底端通过弹簧固定连接有安装板,且安装板的底部设有第二毛刷,第二毛刷能够对单晶硅片的外表面进行清洗,提高清洗效果。本实用新型结构简单,易操作,能够对单晶硅片的表面杂质进行有效清洗,提高了产品质量,该装置使用便捷巧妙,适宜广泛推广。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型的侧视图。

图中:机体外壳1、清洗槽2、固定板3、第一驱动电机4、转盘5、活动杆6、连接杆7、过滤网8、第一毛刷9、安装板10、第二毛刷11、支撑杆12、固定块13、丝杆14、联轴器15、第二驱动电机16、限位杆17、弹簧18。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。

参照图1-2,一种单晶硅生产用过滤清洗装置,包括机体外壳1,机体外壳1的下端四周均固定连接有支撑腿,机体外壳1的外壁两侧对称固定连接有固定板3,且固定板3的上端安装有第一驱动电机4,第一驱动电机4的一侧通过第一转轴连接有转盘5,且转盘5的外壁一侧固定连接有偏心轴,偏心轴远离转盘5的一端转动连接有活动杆6,且活动杆6远离偏心轴的一端转动连接有连接杆7,连接杆7水平穿过机体外壳1的外壁向内延伸端固定连接有清洗槽2,清洗槽2的下端内壁设有过滤网8,且过滤网8的上端设有第一毛刷9,机体外壳1的上端一侧设有第二驱动电机16,且第二驱动电机16的一侧通过第二转轴连接有联轴器15,联轴器15远离第二转轴的一端设有丝杆14,且丝杆14远离联轴器15的一端外壁螺纹连接有固定块13,固定块13的下端固定连接有支撑杆12,支撑杆12的底端通过弹簧18固定连接有安装板10,且安装板10的底部设有第二毛刷11,第一驱动电机4和第二驱动电机16均通过外置控制开关电性连接市电。

具体的,清洗槽2的底壁为敞开式,且清洗槽2的底部与外部连通,便于清洗液的流通,使得单晶硅片的清洗效果更好。

具体的,支撑杆12的外壁两侧对称连接有限位杆17,且机体外壳1的内壁设有与限位杆17对应的限位槽,对支撑杆12进行限位,避免晃动。

具体的,过滤网8的孔径小于单晶硅片的直径,能够过滤杂质,且避免单晶硅片掉落。

工作原理:本实用新型中,使用者使用该装置时,首先启动第一驱动电机4,第一转轴带动转盘5旋转,转盘5再通过偏心轴带动活动杆6转动,从而使得连接杆7水平移动,进而实现清洗槽2的水平往返运动,由于清洗槽2的下端内壁设置有过滤网8,且过滤网8的上端设置有第一毛刷9,将单晶硅片放置于第一毛刷9的上端,并在清洗槽2的水平移动下进行过滤清洗,且清洗槽2的底壁为敞开式,并与外部连通,便于清洗液的流通,使得单晶硅片的清洗效果更好,此时,再启动第二驱动电机16,使得第二转轴通过联轴器15带动丝杆14转动,由于丝杆14的一端外壁螺纹连接有固定块13,且固定块13的下端固定连接有支撑杆12,丝杆14带动固定块13水平移动,同时在限位杆17的作用下进行限位,避免晃动,而支撑杆12的底端通过弹簧18固定连接有安装板10,且安装板10的底部设置有第二毛刷11,第二毛刷11能够对单晶硅片的外表面进行清洗,提高清洗效果。

以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

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