10代线掩膜版箱子清洗系统及清洗方法与流程

本发明涉及掩膜版制作技术领域，具体涉及10代线掩膜版箱子清洗系统及清洗方法。

背景技术：

在掩膜版制造过程中，需要用到箱子来存放和运输掩膜版成品，由于掩膜版是高洁净度的产品，存放和运输过程均要求避免受到污染，特别是灰尘，因此装载掩膜版的箱子也必须是高洁净度的，在用来装载掩膜版之前，箱子必须经过清洁，清除脏污和灰尘。

普通尺寸的掩膜版箱子，都是由pvc材料制成无透明的，其清洁方法为：1、无尘布沾酒精后，将箱子及盖子里外所有地方擦拭过；2、再用新的无尘布，沾酒精后，将箱子及盖子的内表面重新擦拭过；3、静置5分钟后，箱子盖上盖子备用。

现有的箱子清洁方法，对于小尺寸箱子(1米以内)来说，有操作便利快捷等优点，但是对于8代线、10代线的箱子来说就明显不适用了，首先，8代线以上的箱子尺寸在1米到2米之间，如还是人工用手拿无尘布擦拭的话，手臂很难伸展到箱子的各个部位；其次，采用人工用手去擦拭，在工作过程中，人身体衣服上的灰尘容易掉落到箱子里，造成循环污染；再者，8代线以上尺寸掩膜版的箱子，均是采用透明的有机玻璃制作，如使用酒精擦拭的话会使有机玻璃表面受损，变得模糊而不再透明。综上，由于8代线和10代线掩膜版箱子在尺寸和材料上的不同，现有的箱子清洁方法将不再适用。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供10代线掩膜版箱子清洗系统，实现对10代线掩膜版箱子的清洗，解决人工清洗导致清洗不全面、二次污染和箱体表面受损的问题。

此外，本发明还提供上述清洗系统的清洗方法。

本发明通过下述技术方案实现：

10代线掩膜版箱子清洗系统，包括清洗装置，所述清洗装置包括清洗槽和腔体，所述腔体环设在清洗槽外侧，所述腔体上设置有竖直缺口，在缺口处配合设置有软帘，所述腔体的侧壁设置有进液口，所述清洗槽的底部设置有排液口，所述腔体的高度高于清洗槽的高度。

本发明所述清洗槽的尺寸与10代线掩膜版箱子的尺寸配合，所述清洗槽在清洗过程中用于放置箱体和清洗液，将箱体浸没在清洗液中，通过设置软帘便于将箱子放入清洗槽内，所述腔体的设置一方面在浸泡洗和冲洗过程中对液体进行阻挡，避免液体飞溅，同时，便于设置进液口，利于清洗液导入清洗槽内，清洗后的污水由排液口排放。

本发明的清洗过程为：

将掩膜版箱子放进清洗槽内，用泵抽取碱液到清洗槽，使碱液没过箱子，浸泡约5分钟后将碱液排掉；然后用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，约3分钟；用泵抽取表面活性剂液到清洗槽内，使活性剂液没过箱子，浸泡约分钟后将液体排掉；用水枪对箱子的各个部位进行冲洗。

本发明通过设置清洗槽和腔体，在清洗槽内实现对箱子的浸泡洗和冲洗，避免人工清洗因手臂不够长带来的擦拭困难、避免人工擦拭中，身体上的灰尘掉落重新污染箱子的可能、避免了有机溶剂酒精等对透明有机材料的箱子表面造成的损伤，同时腔体对液体进行阻挡，避免液体飞溅，如此，本发明实现了对10代线掩膜版箱子的清洗，解决了人工清洗导致清洗不全面、二次污染和箱体表面受损的问题。

优选地，所述清洗槽和腔体采用不锈钢制成。

进一步地，清洗槽为矩形槽，所述腔体为包括3个侧面的u形结构，在u形结构的2个侧壁之间设置软帘，所述腔体的3个侧面紧贴清洗槽的3个侧壁设置。

现有的箱子为矩形结构，将清洗槽设置为矩形槽，利于放置箱子，节约清洗液，所述软帘可以是采用布料制成的帘子。

进一步地，清洗槽的长和宽均为2.8-3.2米，所述清洗槽的高度为40-50厘米，所述腔体的高度为1.8-2.1米。

进一步地，清洗槽的外壁设置有固定板，所述腔体的底部可拆卸式嵌入固定板的上端面。

上述设置便于实现清洗槽与腔体的拆卸与安装。

进一步地，腔体和清洗槽之间设置有硅胶垫。

所述硅胶垫为现有技术，具有一定弹性，利于实现腔体和清洗槽之间的密封，避免清洗时清洗液由腔体和清洗槽之间的缝隙溢出。

优选地，所述硅胶垫的高度与清洗槽的高度一致。

进一步地，腔体的缺口上部设置有横杆，所述软帘的上端设置有套筒，所述套筒套设在横杆上。

上述设置能够实现软帘的翻转。

进一步地，还包括排污机构，所述排污机构包括设置在地面上的排污槽，所述清洗装置设置在排污槽上方。

由各个清洗槽排液口排放的清洗污水排放至排污槽内，由排污槽统一导出。

优选地，所述清洗装置设置有软帘的一侧与排污槽平行设置，所述排液口设置在清洗槽底部靠近外壁，且靠近软帘。

进一步地，排污槽为弧形槽。

所述弧形槽利于将污水导出

进一步地，排污机构包括设置在地面上的限位结构，所述限位结构为u形结构，设置在清洗装置外侧，每个清洗装置外侧对称设置有2个限位结构。

所述限位结构固定在地面上，能够对清洗装置进行限位阻挡，避免清洗装置在清洗过程中发生移动。

基于10代线掩膜版箱子清洗系统的清洗方法，包括以下步骤：

1)、将掩膜版箱子放入清洗槽内，用泵抽取碱液到清洗槽，使碱液没过箱子，浸泡约5分钟后将碱液排掉；

2)、用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，约3分钟；

3)、用泵抽取表面活性剂液到清洗槽内，使活性剂液没过箱子，浸泡约5分钟后将液体排掉；

4)、用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，约5分钟；

5)、将箱子取出放入烘干箱中进行烘干，约2个小时后烘干完成，箱子取出备用。

所述碱液和活性剂液均为现有技术。

本发明与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

本发明通过设置清洗槽和腔体，在清洗槽内实现对箱子的浸泡洗和冲洗，避免人工清洗因手臂不够长带来的擦拭困难、避免人工擦拭中，身体上的灰尘掉落重新污染箱子的可能、避免了有机溶剂酒精等对透明有机材料的箱子表面造成的损伤，同时腔体对液体进行阻挡，避免液体飞溅，如此，本发明实现了对10代线掩膜版箱子的清洗，解决了人工清洗导致清洗不全面、二次污染和箱体表面受损的问题。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明实施例的限定。在附图中：

图1是清洗装置的立体示意图；

图2是清洗装置的结构示意图；

图3是清洗系统的结构示意图。

附图中标记及对应的零部件名称：

1-腔体，2-清洗槽，3-软帘，4-横杆，5-硅胶垫，6-固定板，7-限位结构，8-排污槽，11-进液口，21-排液口，31-套筒。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本发明作进一步的详细说明，本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明，并不作为对本发明的限定。

实施例1：

如图1至图3所示，10代线掩膜版箱子清洗系统，包括清洗装置，所述清洗装置包括清洗槽2和腔体1，所述腔体1环设在清洗槽2外侧，所述腔体1上设置有竖直缺口，在缺口处配合设置有软帘3，所述软帘3可以是采用布料制成的帘子，所述腔体1的侧壁设置有进液口11，所述清洗槽2的底部设置有排液口21，所述排液口21配合设置有阀门，可以是电磁阀，所述腔体1的高度高于清洗槽2的高度，所述清洗槽2的尺寸与膜版箱子匹配，具体地，所述清洗槽2为矩形槽，所述腔体1为包括3个侧面的u形结构，在u形结构的2个侧壁之间设置软帘3，所述腔体1的3个侧面紧贴清洗槽2的3个侧壁设置；所述清洗槽2的长和宽均为2.8-3.2米，所述清洗槽2的高度为40-50厘米，所述腔体1的高度为1.8-2.1米，现有的10代线掩膜版箱子为矩形结构，所述清洗槽2为矩形槽与掩膜版箱子匹配。

本实施例的工作原理：

将掩膜版箱子放进清洗槽2内，用泵抽取碱液到清洗槽2，使碱液没过箱子，浸泡约5分钟后将碱液排掉；然后用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，约3分钟；用泵抽取表面活性剂液到清洗槽2内，使活性剂液没过箱子，浸泡约5分钟后将液体排掉；用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，约5分钟；将箱子拿到烘干箱中进行烘干，约2个小时后烘干完成，箱子拿出备用。

实施例2：

如图1至图3所示，本实施例基于实施例1，还包括排污机构，所述排污机构包括设置在地面上的排污槽8，所述清洗装置设置在排污槽8上方；所述排污槽8为弧形槽；所述排污机构包括设置在地面上的限位结构7，所述限位结构7为u形结构，设置在清洗装置外侧，每个清洗装置外侧对称设置有2个限位结构7。

实施例3：

如图1至图3所示，本实施例基于实施例1或实施例2，所述清洗槽2的外壁设置有固定板6，所述腔体1的底部可拆卸式嵌入固定板6的上端面，具体地，所述固定板6的上端面设置有凹槽，所述腔体1的底部嵌入凹槽内；所述腔体1和清洗槽2之间设置有硅胶垫5；所述腔体1的缺口上部设置有横杆4，所述软帘3的上端设置有套筒31，所述套筒31套设在横杆4上。

基于实施例1至实施例3任一项所述10代线掩膜版箱子清洗系统的清洗方法，包括以下步骤：

1)、将掩膜版箱子放入清洗槽2内，用泵抽取碱液到清洗槽2，使碱液没过箱子，浸泡约5分钟后将碱液排掉；

2)、用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，约3分钟；

3)、用泵抽取表面活性剂液到清洗槽2内，使活性剂液没过箱子，浸泡约5分钟后将液体排掉；

4)、用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，约5分钟；

5)、将箱子取出放入烘干箱中进行烘干，约2个小时后烘干完成，箱子取出备用。

以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。