一种干法除尘机构的制作方法

本实用新型涉及除尘设备，具体为一种干法除尘机构。

背景技术：

随着高科技产品技术发展，高精度产品生产过程中对部件的表面清洁度要求越来越高，如相机摄像头模组的滤光片和感光芯片的装配、半导体产品制备等，常规生产过程中并没有对相关部件进行清洁检测和清洁，直接用于制备容易导致部件表面粘附的细微颗粒和灰尘直接影响产品的质量和使用效果。例如半导体芯片及光学部件表面质量要求越来越严格，主要是表面的粉尘颗粒与杂质污染会严重影响产品的质量和成品率，目前的集成电路生产中，由于产品表面污染的问题导致约50%以上的材料损失，因此促进人们对硅片清洗工艺的研究。

目前已有的清洗工艺有湿法化学清洗、超声清洗等。其中，湿法化学清洗技术处于主导地位。但湿法化学清洗耗费大量水资源，容易造成环境污染问题，且清洁效果差。

技术实现要素：

本实用新型提供了一种结构简单，使用方便，减少水耗，降低污染，清洁度高的干法除尘机构。

本实用新型可以通过以下技术方案来实现：

一种干法除尘机构，机台上包括清洁针头除尘装置、清洁药水储备装置和清洁针头储备装置；

所述清洁针头除尘装置包括清洁针头装置、x轴移动装置和y轴移动装置，所述y轴移动装置通过移动滑块与x轴移动装置连接，所述清洁针头装置安装在y轴移动装置的一侧，所述清洁针头装置的下方设有清洁针头；以x轴移动装置和y轴移动装置分别控制清洁针头装置平移和升降，使清洁针头装置可根据待清洁产品位置灵活移动；

所述清洁药水储备装置安装在清洁针头装置的下方，所述清洁药水储备装置包括支撑架，所述支撑架的一端设有清洁药水瓶，所述清洁药水瓶设置在清洁针头装置的正下方，所述支撑架的另一端设有监测装置；清洁药水瓶内储存清洁药水，以便清洁针头蘸取清洁药水，并通过设置监测装置监控清洁药水瓶内的药水量，并根据清洁针头的清洁度判断是否更换清洁针头；

所述清洁针头储备装置设置在清洁药水储备装置的一侧，所述清洁针头储备装置包括移动轴和清洁针头储备盒，所述清洁针头储备盒滑动连接在移动轴上。以清洁针头储备盒储备已蘸取清洁药水或未蘸取清洁药水的清洁针头，方便在清洁过程中根据清洁针头的洁净度更换清洁针头，清洁针头储备盒可沿移动轴移动调整清洁针头存放的位置。

本实用新型使用时以y轴移动装置控制清洁针头装置下降使清洁针头伸入清洁药水瓶内蘸取清洁药水后复位，以x轴移动装置控制清洁针头装置移动至清洁针头储备装置的上方，通过y轴移动装置控制清洁针头装置下降将清洁针头放入清洁针头储备盒内自然干燥硬化，再从清洁针头储备盒内取未蘸清洁药水的清洁针头并重复上述步骤，监测装置检测清洁药水瓶内药水的高度，当清洁药水液面高度低于最低液面高度则发出警示提醒补给。当对待清洁产品进行清洁时，清洁针头装置移动至清洁针头储备盒换上已蘸取清洁药水的清洁针头，复位通过监测装置监测清洁针头的直径大小判断清洁药水是否已干燥硬化达到使用要求，符合要求则进行下一步清洁，若不符合要求则重新更换清洁针头。本实用新型整体结构设置简单，通过x轴移动装置和y轴移动装置实现清洁针头装置的灵活移位对待清洁样品进行清洁和清洁针头更换，以清洁针头蘸取清洁药水后具有一定的硬度和粘性对待清洁产品表面的灰尘进行黏附清洁，清洁度高，且无需清洁剂和大量水清洗，减少水耗和环境污染。

进一步地，所述x轴移动装置包括x移动轴，所述x移动轴的两端分别通过支撑架安装在机台上，所述x移动轴上滑动设有移动滑块，所述x移动轴的一端设有平移驱动装置，所述平移驱动装置与移动滑块连接。以平移驱动装置驱动移动滑块沿x移动轴移动，保证移动滑块移动时平稳顺畅，常用电机、气缸等作为平移驱动装置。

进一步地，所述y轴移动装置包括安装板、y移动轴和沿y移动轴移动的安装座，所述安装板固定在移动滑块上，所述y移动轴固定在安装板的一侧面，所述y移动轴的顶端设有升降驱动装置，所述升降驱动装置与安装座连接，所述安装座上设有清洁针头装置。以安装板作为承载体保证安装座在升降驱动装置驱动沿y移动轴升降运动时不会出现晃动，提高使用过程中的稳定性，常用电机、气缸等作为升降驱动装置。

进一步地，所述清洁针头装置包括与y轴移动装置连接的清洁针头安装座，所述清洁针头安装座的下方设有旋转装置，所述旋转装置通过基座连接件与清洁针头安装基座连接，所述清洁针头安装基座的底部设有吸取头，所述吸取头通过清洁针安装支架与清洁针头连接。通过旋转装置控制清洁针头安装基座旋转，从而使清洁针安装支架以旋转的方式与清洁针头连接或松开，提高清洁过程中清洁针头更换效率，常用旋转气缸、旋转电机作为旋转装置控制清洁针头安装基座转动。

进一步地，所述清洁药水瓶的一侧设有旋转气缸，所述旋转气缸的活动端设有清洁药水瓶盖板，所述清洁药水瓶的另一侧设有照明灯。通过旋转气缸控制清洁药水瓶盖板旋转遮盖清洁药水瓶口，减少灰尘和颗粒落入清洁药水瓶内，并且在清洁药水瓶的另一侧设置照明灯，提供光源以便看监测装置清晰监测清洁药水瓶内的药水液面高度以及清洁针头的清洁度和干燥硬化程度。

进一步地，所述监测装置包括安装在支撑架上的监测安装座，所述监测安装座上设有监测相机，所述监测相机靠近清洁药水瓶的一端设有监测镜头。通过设置监测相机监测清洁药水瓶内的药水液面和清洁针头的清洁度及干燥硬化程度，通过设置监测镜头提高监测结果的准确度，且可根据不同清洁产品要求更换不同分辨率的镜头，适用性强。

进一步地，所述清洁药水储备装置还设有瓶体固定底座，所述清洁药水瓶放置在瓶体固定底座内。以瓶体固定座固定清洁药水瓶，避免蘸取药水时瓶体晃动。

进一步地，清洁针头储备盒内设有若干个清洁针头储备孔。清洁针头储备孔用于放置已蘸取清洁药水的清洁针头和未蘸取清洁药水的清洁针头。

进一步地，所述移动轴的一端设有移动驱动装置与清洁针头储备盒连接。通过移动驱动装置带动清洁针头储备盒沿移动轴移动，以便调整清洁针头放置位置。

进一步地，所述干法除尘机构还设有控制装置，所述控制装置分别与监测相机、旋转气缸、平移驱动装置、升降驱动装置和移动驱动装置电性连接。通过控制装置控制监测相机、旋转气缸、平移驱动装置、升降驱动装置和移动驱动装置运作，实现自动化连续除尘。

本实用新型干法除尘机构，具有如下的有益效果：

第一、结构简单，使用方便；本实用新型以x轴移动装置和y轴移动装置分别控制清洁针头装置移动分别进行蘸取清洁药水、清洁产品、更换清洁针头等系列动作，并可通过控制装置控制自动完成各个动作，因此本实用新型整体结构简单，使用方便；

第二、减少水耗，降低污染；本实用新型通过清洁针头蘸取清洁药水经过干燥硬化后，利用清洁药水的粘性黏附待清洁产品表面的灰尘颗粒，无需湿法清洗消耗大量的水和化学试剂，实现干法清洗，有利于减少水耗，降低污染；

第三、清洁度高，清洁效果佳；本实用新型通过清洁针头逐一吸附待清洁产品表面的灰尘，清洁度高，且清洁效果佳。

附图说明

图1为本实用新型干法除尘机构的结构示意图一；

图2为本实用新型干法除尘机构的结构示意图二。

如附图所示：1、清洁针头除尘装置；11、清洁针头装置；111、清洁针头安装座；112、旋转装置；113、基座连接件；114、清洁针头安装基座；115、吸取头；116、清洁针安装支架；12、x轴移动装置；121、x移动轴；122、支撑架；123、平移驱动装置；13、y轴移动装置；131、安装板；132、y移动轴；133、安装座；134、升降驱动装置；14、移动滑块；15、清洁针头；2、清洁药水储备装置；21、支撑架；22、清洁药水瓶；23、监测装置；231、监测安装座；232、监测相机；233、监测镜头；24、旋转气缸；25、清洁药水瓶盖板；26、照明灯；27、瓶体固定底座；3、清洁针头储备装置；31、移动轴；32、清洁针头储备盒；321、清洁针头储备孔；33、移动驱动装置；4、控制装置；5、机台。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合实施例及附图对本实用新型产品作进一步详细的说明。

如图1和图2所示，一种干法除尘机构，机台5上包括清洁针头除尘装置1、清洁药水储备装置2和清洁针头储备装置3；

所述清洁针头除尘装置1包括清洁针头装置11、x轴移动装置12和y轴移动装置13，所述y轴移动装置13通过移动滑块14与x轴移动装置12连接，所述清洁针头装置11安装在y轴移动装置13的一侧，所述清洁针头装置11的下方设有清洁针头15；以x轴移动装置12和y轴移动装置13分别控制清洁针头装置11平移和升降，使清洁针头装置11可根据待清洁产品位置灵活移动；

所述清洁药水储备装置2安装在清洁针头装置11的下方，所述清洁药水储备装置2包括支撑架21，所述支撑架21的一端设有清洁药水瓶22，所述清洁药水瓶22设置在清洁针头装置11的正下方，所述支撑架21的另一端设有监测装置23；清洁药水瓶22内储存清洁药水，以便清洁针头15蘸取清洁药水，并通过设置监测装置23监控清洁药水瓶22内的药水量，并根据清洁针头15的清洁度判断是否更换清洁针头；

所述清洁针头储备装置3设置在清洁药水储备装置2的一侧，所述清洁针头储备装置3包括移动轴31和清洁针头储备盒32，所述清洁针头储备盒32滑动连接在移动轴31上。以清洁针头储备盒32储备已蘸取清洁药水或未蘸取清洁药水的清洁针头15，方便在清洁过程中根据清洁针头15的洁净度更换清洁针头，清洁针头储备盒32可沿移动轴移动调整清洁针头15存放的位置。

如图1和图2所示，所述x轴移动装置12包括x移动轴121，所述x移动轴121的两端分别通过支撑架122安装在机台5上，所述x移动轴121上滑动设有移动滑块14，所述x移动轴的一端设有平移驱动装置123，所述平移驱动装置123与移动滑块14连接。以平移驱动装置123驱动移动滑块14沿x移动轴121移动，保证移动滑块14移动时平稳顺畅，常用电机、气缸等作为平移驱动装置123。

如图1和图2所示，所述y轴移动装置13包括安装板131、y移动轴132和沿y移动轴移动的安装座133，所述安装板131固定在移动滑块上14，所述y移动轴132固定在安装板131的一侧面，所述y移动轴132的顶端设有升降驱动装置134，所述升降驱动装置134与安装座133连接，所述安装座133上设有清洁针头装置11。以安装板131作为承载体保证安装座133在升降驱动装置134驱动沿y移动轴132升降运动时不会出现晃动，提高使用过程中的稳定性，常用电机、气缸等作为升降驱动装置134。

如图1和2所示，所述清洁针头装置11包括与y轴移动装置13连接的清洁针头安装座111，所述清洁针头安装座111的下方设有旋转装置112，所述旋转装置112通过基座连接件113与清洁针头安装基座114连接，所述清洁针头安装基座114的底部设有吸取头115，所述吸取头115通过清洁针安装支架116与清洁针头15连接。通过旋转装置112控制清洁针头安装基座114旋转，从而使清洁针安装支架116以旋转的方式与清洁针头15连接或松开，提高清洁过程中清洁针头15更换效率，常用旋转气缸、旋转电机作为旋转装置112控制清洁针头安装基座转动。

如图2所示，所述清洁药水瓶22的一侧设有旋转气缸24，所述旋转气缸24的活动端设有清洁药水瓶盖板25，所述清洁药水瓶22的另一侧设有照明灯26。通过旋转气缸24控制清洁药水瓶22盖板25旋转遮盖清洁药水瓶口，减少灰尘和颗粒落入清洁药水瓶22内，并且在清洁药水瓶22的另一侧设置照明灯26，提供光源以便看监测装置清晰监测清洁药水瓶22内的药水液面高度以及清洁针头的清洁度和干燥硬化程度，所用照明灯26优选led灯。

如图2所示，所述监测装置23包括安装在支撑架21上的监测安装座231，所述监测安装座231上设有监测相机232，所述监测相机232靠近清洁药水瓶22的一端设有监测镜头233。通过设置监测相机232监测清洁药水瓶22内的药水液面和清洁针头15的清洁度及干燥硬化程度，通过设置监测镜头233提高监测结果的准确度，且可根据不同清洁产品要求更换不同分辨率的镜头，适用性强。所述清洁药水储备装置2还设有瓶体固定底座27，所述清洁药水瓶22放置在瓶体固定底座27内。以瓶体固定座固定清洁药水瓶，避免蘸取药水时瓶体晃动。

如图2所示，清洁针头储备盒32内设有若干个清洁针头储备孔321。清洁针头储备孔321用于放置已蘸取清洁药水的清洁针头15和未蘸取清洁药水的清洁针头15，该清洁针头储备孔的大小与所述清洁针头大小相适配。所述移动轴31的一端设有移动驱动装置33与清洁针头储备盒32连接。通过移动驱动装置33带动清洁针头储备盒32沿移动轴31移动，以便调整清洁针头15放置位置。所述干法除尘机构还设有控制装置4，所述控制装置4分别与监测相机232、旋转气缸24、平移驱动装置123、升降驱动装置134和移动驱动装置33电性连接。通过控制装置4控制监测相机232、旋转气缸24、平移驱动装置123、升降驱动装置134和移动驱动装置33运作，实现自动化连续除尘。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制；凡本行业的普通技术人员均可按说明书附图所示和以上所述而顺畅地实施本实用新型；但是，凡熟悉本专业的技术人员在不脱离本实用新型技术方案范围内，可利用以上所揭示的技术内容而作出的些许更动、修饰与演变的等同变化，均为本实用新型的等效实施例；同时，凡依据本实用新型的实质技术对以上实施例所作的任何等同变化的更动、修饰与演变等，均仍属于本实用新型的技术方案的保护范围之内。