基板清洗装置的制作方法

本实用新型涉及液晶显示技术领域，尤其涉及一种基板清洗装置。

背景技术：

在显示面板制造业中，基板在储存、转载和卸载的过程中，均会在基板上留下污染物，因此，需采用清洗工艺来去除基板表面的污染物。

目前基板清洗以湿式清洗为主，现有的基板清洗装置一般包括：依次连通的上游清洗设备、中游清洗设备、以及下游清洗设备，上游清洗设备一般通过双流体喷流对基板进行清洗，上游清洗设备使用完毕的清洗液进入到中游清洗设备中，中游清洗设备一般会用到毛刷配合清洗液来清除基板表面的脏污及颗粒，具体包括上下两组毛刷通过正转和反转的搭配来实现对玻璃基板进行清洁，中游设备使用完毕的清洗液进入到下游清洗设备中，下游清洗设备利用清洗液对基板表面进行冲洗。在上述清洗装置的idle(空转)期间，需要使清洗装置处于间断开/停状态，以使毛刷能够始终保持湿润，并且提高毛刷的清洁度，以便需要再次进行基板清洗时使清洗装置随时能够切换为工作状态。

然而，上述清洗装置在idle期间还要使整个上游、中游、下游的清洗设备同时运转，清洗液消耗量较大，同时能耗也较高。

技术实现要素：

本实用新型提供一种基板清洗装置，能够降低清洗液的消耗量，同时能降低能耗。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种基板清洗装置，包括多个清洗单元和多个通道组件，通道组件连接在相邻的两个清洗单元之间，且清洗液通过通道组件在清洗单元之间流通，多个清洗单元包括第一清洗单元、毛刷清洗单元以及第二清洗单元，多个通道组件包括第一通道组件以及第二通道组件，第一清洗单元的出液端通过第一通道组件和毛刷清洗单元的进液端相连通，毛刷清洗单元的出液端通过第二通道组件和第二清洗单元的进液端相连通，在第一通道组件和第二通道组件之间连接有可开闭的回流管，且当回流管打开时，第一清洗单元和第二清洗单元处于非工作状态。

可选的，第一通道组件包括第一储液罐、第一排液管以及第一进液管，第一清洗单元的出液端通过第一排液管与第一储液罐的进液口相连通，第一储液罐的出液口通过第一进液管与毛刷清洗单元的进液端相连通；第二通道组件包括第二储液罐、第二排液管以及第二进液管，毛刷清洗单元的出液端通过第二排液管与第二储液罐的进液口相连通，第二储液罐的出液口通过第二进液管与第二清洗单元的进液端相连通；回流管连接在第二排液管和第一排液管之间；或者回流管连接在第二排液管和第一进液管之间。

可选的，在第一清洗单元的进液端连接有第一阀门，在回流管上连接有第二阀门，第二排液管上具有用于与回流管连接的第一端口，在第二排液管上位于第一端口和第二储液罐的进液口之间的部分上设有第三阀门，当第二阀门打开时，第一阀门和第三阀门关闭。

可选的，在第一进液管上连接有第一流体驱动件和单向阀。

可选的，毛刷清洗单元包括多个依次连通的毛刷清洗腔室，每个毛刷清洗腔室内均设有毛刷，毛刷清洗单元的进液端设置在清洗液流动的最上游侧的毛刷清洗腔室，毛刷清洗单元的出液端设置在清洗液流动的最下游侧的毛刷清洗腔室。

可选的，还包括多个第三储液罐，每两个相邻的毛刷清洗腔室中，位于上游侧的毛刷清洗腔室的出液端和一个第三储液罐的进液口相连通，位于下游侧的毛刷清洗腔室的进液端和同一个第三储液罐的出液口相连通。

可选的，第二储液罐与位于清洗液流动的最下游侧的第三储液罐为一体式结构。

可选的，第三储液罐上连接有用于添加清洗液的加液管。

可选的，第一清洗单元包括依次连通的fr清洗腔室和双流体清洗腔室，第一清洗单元的出液端设置在双流体清洗腔室上；和/或，第二清洗单元包括依次连通的两个冲洗腔室，第二清洗单元的进液端设置在清洗液流动的上游侧的冲洗腔室上。

可选的，第二进液管上连接有第二流体驱动件。

本实用新型提供的基板清洗装置包括多个清洗单元和多个通道组件，通道组件连接在相邻的两个清洗单元之间，且清洗液通过通道组件在清洗单元之间流通，多个清洗单元包括第一清洗单元、毛刷清洗单元以及第二清洗单元，多个通道组件包括第一通道组件以及第二通道组件，第一清洗单元的出液端通过第一通道组件和毛刷清洗单元的进液端相连通，毛刷清洗单元的出液端通过第二通道组件和第二清洗单元的进液端相连通，在第一通道组件和第二通道组件之间连接有可开闭的回流管，且当所述回流管打开时，第一清洗单元和所述第二清洗单元处于非工作状态。通过在第一通道组件和第二通道组件之间连接有回流管，因此可以在毛刷清洗单元的出液端和毛刷清洗单元的进液端之间形成用于回流清洗液的回流通道，可以利用上述回流通道使清洗液在毛刷清洗单元的内部和外部形成往复循环，与现有技术中清洗装置在idle期间还要使所有清洗单元同时运转的情况相比，由于减少了运转的设备数量，因此能够减少清洗液的消耗，减少能耗。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的基板清洗装置的整体结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的基板清洗装置的另一种结构的示意图；

图3是图2的局部放大图。

附图标记说明：

1-第一清洗单元；2-毛刷清洗单元；3-第二清洗单元；5-第一通道组件；6-第二通道组件；8-回流管；11-fr清洗腔室；12-第一清洗单元的出液端；13-双流体清洗腔室；21-毛刷清洗单元的进液端；22-毛刷清洗单元的出液端；23、24-毛刷清洗腔室；25-毛刷；26-运送辊；27-内部输送管；28-喷淋头；29-加液管；30-电磁阀；31-第二清洗单元的进液端；32、33-冲洗腔室；51-第一储液罐；52-第一排液管；53-第一进液管；54、55、56-第三储液罐；61-第二储液罐；62-第二排液管；63-第二进液管；81-第二阀门；231-位于上游的毛刷清洗腔室的出液端；232-位于下游的毛刷清洗腔室的进液端；511-第一储液罐的进液口；512-第一储液罐的出液口；531-第一流体驱动件；532-单向阀；541-第三储液罐的进液口；542-第三储液罐的出液口；611-第二储液罐的进液口；612-第二储液罐的出液口；621-第一端口；622-第三阀门；631-第二流体驱动件。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护的范围。

图1是本实用新型实施例提供的基板清洗装置的整体结构示意图。如图1所示，本实施例的基板清洗装置包括多个清洗单元和多个通道组件，通道组件连接在相邻的两个清洗单元之间，且清洗液通过通道组件在清洗单元之间流通，多个清洗单元包括第一清洗单元1、毛刷清洗单元2以及第二清洗单元3，多个通道组件包括第一通道组件5以及第二通道组件6，第一清洗单元的出液端12通过第一通道组件5和毛刷清洗单元的进液端21相连通，毛刷清洗单元的出液端22通过第二通道组件6和第二清洗单元的进液端31相连通，在第一通道组件5和第二通道组件6之间连接有可开闭的回流管8，且当回流管8打开时，第一清洗单元1和第二清洗单元3处于非工作状态。

通过在第一通道组件和第二通道组件之间连接有回流管，因此可以在毛刷清洗单元的出液端和毛刷清洗单元的进液端之间形成用于回流清洗液的回流通道，此外，当回流管打开时，第一清洗单元和第二清洗单元处于非工作状态，因此在清洗装置的idle期间，可以使第一清洗单元和第二清洗单元处于非工作状态，而只利用上述回流通道使清洗液在毛刷清洗单元的内部和外部形成往复循环，与现有技术中清洗装置在idle期间还要使所有清洗单元同时运转的情况相比，由于减少了运转的设备数量，因此能够减少清洗液的消耗，减少能耗。

本实施例的基板清洗装置可以包括多个清洗单元和多个通道组件，通道组件连接在相邻的两个清洗单元之间，且清洗液通过通道组件在清洗单元之间流通，这样设置可以使每两个相邻的清洗单元之间，位于上游的清洗单元使用完毕的清洗液，通过通道组件流入到位于下游的清洗单元中，从而使清洗液在多个清洗单元之间依次流通。图1中所示的是多个清洗单元包括第一清洗单元1、毛刷清洗单元2以及第二清洗单元3，并且多个通道组件包括第一通道组件5以及第二通道组件6的情况，当然，本实用新型不限于此，还可以是包括更多数量的清洗单元和通道组件，对于此种情况，其连接原理与图1中所示的情况类似，此处不再赘述。

此外，第一清洗单元的出液端12通过第一通道组件5和毛刷清洗单元的进液端21相连通，具体是指第一通道组件5的两端分别连接至第一清洗单元的出液端12以及毛刷清洗单元的进液端21，以使第一清洗单元的出液端12和毛刷清洗单元的进液端21相连通，这样，第一清洗单元1使用完毕的清洗液可以通过第一通道组件5流入到毛刷清洗单元2当中。此外，毛刷清洗单元的出液端22通过第二通道组件6和第二清洗单元的进液端31相连通，具体是指，第二通道组件6的两端分别连接至毛刷清洗单元的出液端22和第二清洗单元的进液端31，以使毛刷清洗单元的出液端22和第二清洗单元的进液端31相连通，这样，毛刷清洗单元2使用完毕的清洗液可以通过第二通道组件6流入到第二清洗单元3当中。

下面简单介绍图1所示的清洗装置的正常清洗过程。当基板在第一清洗单元1中时，清洗液从第一清洗单元的进液端进入第一清洗单元1中，在第一清洗单元1中对基板进行的清洗结束后，基板进入毛刷清洗单元2中，同时，第一清洗单元中使用完毕的清洗液也通过第一通道组件5流入毛刷清洗单元2中。在毛刷清洗单元2中利用毛刷和清洗液进行基板的清洗，在清洗结束后，基板进入第二清洗单元3中，同时，毛刷清洗单元2中使用完毕的清洗液也通过第二通道组件6流入第二清洗单元3中。在第二清洗单元3中利用清洗液对基板进行清洗，在清洗结束后，基板从第二清洗单元3排出，同时，第二清洗单元3中使用完毕的清洗液通过第二清洗单元的出液端排出第二清洗单元。以此，基板清洗装置的基板清洗过程结束。

在上述方案中，在第一通道组件5和第二通道组件6之间连接有可开闭的回流管8，具体是指回流管8的两端分别连接在第一通道组件5和第二通道组件6上，以使得在回流管8打开的情况下，毛刷清洗单元的出液端22和毛刷清洗单元的进液端21可以在毛刷清洗单元2的外部相连通，以在毛刷清洗单元的出液端22和毛刷清洗单元的进液端21之间形成清洗液的回流通道。当然，回流管8的其中一个端部可以连接在第一通道组件5上靠近毛刷清洗单元2的端部，例如可以连接在毛刷清洗单元的进液端21的位置处，也可以连接在第一通道组件5上靠近第一清洗单元1的端部，例如可以连接在第一清洗单元的出液端12的位置处，此外，也可以连接在第一通道组件5的中部；回流管8的另一个端部可以连接在第二通道组件6上靠近毛刷清洗单元2的端部，例如可以连接在毛刷清洗单元的出液端22的位置处，也可以连接在第二通道组件6上靠近第二清洗单元3的端部，例如可以连接在第二清洗单元的进液端31的位置处，此外，也可以连接在第二通道组件6的中部。

此外，为了不影响清洗装置的正常清洗作业过程，回流管8设置为可开闭，即在清洗装置的正常清洗时，回流管8关闭，在清洗装置的idle期间，回流管8打开，以形成上述的回流通道。当所述回流管8打开时，第一清洗单元1和所述第二清洗单元3处于非工作状态，即回流管8打开时，第一清洗单元1和所述第二清洗单元3中的清洗液处于切断状态，清洗液无法从第一清洗单元1流入毛刷清洗单元2，毛刷清洗单元2中的清洗液也无法流入第二清洗单元3。在毛刷清洗单元2的外部，在毛刷清洗单元的出液端22和毛刷清洗单元的进液端21之间通过回流管8形成回流通道，在毛刷清洗单元2的内部，还在毛刷清洗单元的进液端21和毛刷清洗单元的出液端22之间形成有正常的清洗流动通道，因此，本实施例的清洗装置利用毛刷清洗单元2内部的清洗流动通道和外部的回流通道合起来形成了清洗液的往复循环通道，该往复循环通道中的清洗液不断流经毛刷，因此能够使毛刷始终保持湿润和适当的清洁度。此外，对于第一清洗单元和第二清洗单元处于非工作状态，此处的非工作状态并非指整个基板清洗装置都停止工作的状态(清洗装置停机状态)，而是指第一清洗单元和第二清洗单元处于非运行状态(不在运行状态)，但是毛刷清洗单元内的清洗液处于循环状态。换言之，此处所述的非工作状态指第一清洗单元和第二清洗单元处于暂停或极低速运行等非正常运行状态。

图2是本实用新型实施例提供的基板清洗装置的另一种结构的示意图；图3是图2的局部放大图。如图2、3所示，可选的，第一通道组件5包括第一储液罐51、第一排液管52以及第一进液管53，第一清洗单元的出液端12通过第一排液管52与第一储液罐的进液口511相连通，第一储液罐的出液口512通过第一进液管53与毛刷清洗单元的进液端21相连通；第二通道组件6包括第二储液罐61、第二排液管62以及第二进液管63，毛刷清洗单元的出液端22通过第二排液管62与第二储液罐的进液口611相连通，第二储液罐的出液口612通过第二进液管63与第二清洗单元的进液端31相连通；回流管8连接在第二排液管62和第一排液管52之间。

在图2所示的基板清洗装置中，在第一清洗单元1和毛刷清洗单元2之间设置第一储液罐51作为中转，在毛刷清洗单元2和第二清洗单元3之间设置第二储液罐61作为中转，这里设置的储液罐主要作用为缓冲和沉淀等。以第一储液罐51为例进行说明时，在第一清洗单元中使用完毕的清洗液中可能含有污物、杂质等，该清洗液如果直接经管道流入下游的毛刷清洗单元2中，有可能会对毛刷清洗单元2中的基板清洗造成二次污染，在本实施例中，从第一清洗单元的出液端12排出的清洗液经过第一排液管52、第一储液罐的进液口511进入到第一储液罐51内，经过一定的沉淀或者过滤后，清洁度较好，可以经第一储液罐的出液口512、第一进液管53、毛刷清洗单元的进液端21而进入到毛刷清洗单元2中，因此通过设置第一储液罐51可减少对毛刷清洗单元2中的毛刷的污染。同理，从毛刷清洗单元的出液端22排出的清洗液经过第二排液管62、第二储液罐的进液口611进入到第二储液罐61内，经过一定的沉淀或者过滤后，清洁度较好，可以经第二储液罐的出液口612、第二进液管63、第二清洗单元的进液端31而进入到第二清洗单元3中，因此通过设置第二储液罐61可减少对第二清洗单元3中的基板清洗过程中的污染。

此外，回流管8连接在第二排液管62和第一排液管52之间，具体是指，回流管8的一端连接在第二排液管62上，另一端连接在第一排液管52上，以使部分第二排液管62、回流管8以及部分第一排液管52、第一储液罐51、第一进液管53形成使清洗液回流的回流通道。对于回流管8的一端和第二排液管62的连接方式，可以通过三通阀连接，而回流管8的一端可以连接在第二排液管62的任意位置，例如可以连接在第二排液管62上靠近毛刷清洗单元的出液端22的位置，或者也可以连接在第二排液管62上靠近第二储液罐的进液口611的位置。此外，回流管8的另一端和第一排液管52的连接方式，也可以通过三通阀连接，而回流管8的另一端可以连接在第一排液管52的任意位置，例如可以连接在第一排液管52上靠近第一清洗单元的出液端12的位置，或者也可以连接在第一排液管52上靠近第一储液罐的进液口511的位置。

图2示出的是回流管8连接在第二排液管62和第一排液管52之间的情况，当然回流管8也可以连接在第二排液管62和第一进液管53之间，具体是指回流管8的一端连接在第二排液管62上，另一端连接在第一进液管53上，以使部分第二排液管62、回流管8以及部分第一进液管53形成使清洗液回流的回流通道。对于回流管8的另一端和第一进液管53的连接位置和连接方式与回流管8和第一排液管52的连接类似，此处不再赘述。

另外，可选的，在第一清洗单元的进液端连接有第一阀门(未图示)，在回流管8上连接有第二阀门81，第二排液管62上具有用于与回流管8连接的第一端口621，在第二排液管62上位于第一端口621和第二储液罐的进液口611之间的部分上设有第三阀门622，当第二阀门81打开时，第一阀门和第三阀门622关闭。

当第二阀门81打开时，回流管8处于打开状态，第一阀门关闭时，第一清洗单元2没有清洗液进入，因此处于非工作状态，第三阀门622关闭时，从毛刷清洗单元的出液端22排出的清洗液无法从第二储液罐的进液口611进入第二储液罐61，因此第二清洗单元3中无清洗液进入，使第二清洗单元3处于非工作状态。因此当第二阀门81打开时，第一阀门和第三阀门622关闭时，第一清洗单元1和第二清洗单元3均不工作，由毛刷清洗单元的出液端22排出的清洗液只能从回流管8回流至毛刷清洗单元的进液端21。

当回流管8连接在第二排液管62和第一排液管52之间时，本实施例的清洗装置的清洗液局部循环过程如下：从毛刷清洗单元的出液端22流出的清洗液流入第二排液管62，在到达第一端口621后，由于第三阀门622关闭，清洗液流入回流管8中，接着进入第一排液管52中，并经过第一储液罐的进液口511流入第一储液罐51，在第一储液罐51中经过沉淀过滤等之后，从第一进液管53流入毛刷清洗单元的进液端21，至此完成清洗液在外部回流通道中的回流。而在毛刷清洗单元2的内部，清洗液经过毛刷清洗单元的进液端21和毛刷清洗单元的出液端22之间形成有的清洗液流动通道、从毛刷清洗单元的进液端21流回毛刷清洗单元的出液端22，形成一个清洗液的往复循环通道，该往复循环通道中的清洗液不断流经毛刷。由上述过程可知，当回流管8连接在第二排液管62和第一排液管52之间时，第一储液罐51也参与回流通道的形成，能够对循环的清洗液起到一个沉淀、过滤的作用。

当回流管8连接在第二排液管62和第一进液管53之间时，本实施例的清洗装置的清洗液局部循环过程如下：从毛刷清洗单元的出液端22流出的清洗液流入第二排液管62，在到达第一端口621后，由于第三阀门622关闭，清洗液流入回流管8中，接着进入第一进液管53中，并经过第一进液管53流入毛刷清洗单元的进液端21，至此完成清洗液在外部回流通道中的回流。而在毛刷清洗单元2的内部，清洗液从刷清洗单元的进液端21、经过毛刷清洗单元的进液端21和毛刷清洗单元的出液端22之间形成有的清洗流动通道、而流回毛刷清洗单元的出液端22，形成一个清洗液的往复循环通道，该往复循环通道中的清洗液不断流经毛刷。当然，在本技术方案中，可以选择在回流管8上连接一个流体驱动件，例如泵等。

此外，如图3所示，可选的，在第一进液管53上连接有第一流体驱动件531和单向阀532，以便于为清洗液在第一进液管53中的流动提供动力。第一流体驱动件531可以是泵，其用于将第一储液罐51中的清洗液经过第一进液管53而抽送到毛刷清洗单元2当中。另外，还可以在第二进液管63上连接有第二流体驱动件631，以便于为清洗液在第二进液管63中的流动提供动力。第二流体驱动件631可以是泵，其用于将第二储液罐61中的清洗液经过第二进液管63而抽送到第二清洗单元3当中。

另外，为了使毛刷清洗单元2的清洗效果更好，一般毛刷清洗单元2中可以包含有多个毛刷清洗腔室，具体可选的，毛刷清洗单元2包括多个依次连通的毛刷清洗腔室，每个毛刷清洗腔室内均设有毛刷，毛刷清洗单元的进液端设置在清洗液流动的最上游侧的毛刷清洗腔室，毛刷清洗单元的出液端设置在清洗液流动的最下游侧的毛刷清洗腔室。以图2中毛刷清洗单元2中包含有毛刷清洗腔室23、毛刷清洗腔室24为例来进行说明。如图2所示，位于上游侧的毛刷清洗腔室23和位于下游侧的毛刷清洗腔室24彼此连通，并且在毛刷清洗腔室23和毛刷清洗腔室24中均设有毛刷25和运送辊26，此外，毛刷清洗单元的进液端21设置在毛刷清洗腔室23上，毛刷清洗单元的出液端22设置在毛刷清洗腔室24上。另外在毛刷清洗腔室23和毛刷清洗腔室24中均设有内部输送管27，以毛刷清洗腔室23为例进行说明，内部输送管27用于将从毛刷清洗腔室23的进液口流入的清洗液输送至喷淋头28中，清洗液从喷淋头28喷出至运送辊26上载有的基板上，毛刷25设置在运送辊26附近，在清洗基板时，可以与基板的正反表面接触来对基板进行清洗。毛刷清洗腔室24中的内部结构和毛刷清洗腔室23中的情况类似，此处不再赘述。

另外，毛刷清洗单元2中所包含的多个毛刷清洗腔室中，相邻的毛刷清洗腔室可以通过第三储液罐54作为中转。在上述的多个毛刷清洗腔室中，每两个相邻的毛刷清洗腔室中，位于上游侧的毛刷清洗腔室的出液端和一个第三储液罐的进液口相连通，位于下游侧的毛刷清洗腔室的进液端和同一个第三储液罐的出液口相连通。以图3中的两个毛刷清洗腔室为例来进行说明，位于上游的毛刷清洗腔室的出液端231和第三储液罐的进液口541相连通，位于下游侧的毛刷清洗腔室的进液端232和第三储液罐的出液口542相连通。下面介绍毛刷清洗腔室23、毛刷清洗腔室24之间的清洗液流动情况，从毛刷清洗单元的进液端21流入毛刷清洗腔室23的清洗液流入内部输送管27，进入喷淋头28，并喷淋到基板上，毛刷25对基板进行清洗，使用完毕的清洗液下落至毛刷清洗腔室23的底部并从位于上游的毛刷清洗腔室的出液端231流出，经过第三储液罐的进液口541进入第三储液罐54中，进入第三储液罐54中的清洗液经过沉淀、过滤等，清洗液经过第三储液罐的出液口542、位于下游的毛刷清洗腔室的进液端232，从而进入到毛刷清洗腔室24中，清洗液经过与位于下游的毛刷清洗腔室的进液端232连通的内部输送管27，进入喷淋头28，并喷淋到基板上，毛刷25对基板进行清洗，使用完毕的清洗液下落至毛刷清洗腔室24的底部并从毛刷清洗单元的出液端22流出。此外，可以在第三储液罐的出液口542和位于下游的毛刷清洗腔室的进液端232之间连接有流体驱动件和单向阀。

此外，当设有多个储液罐时，由于储液罐所占据的空间较大，因此可以考虑使部分储液罐设置为一体的结构，例如如图3所示，可以使位于清洗液流动的最下游侧的第三储液罐54与第二储液罐61一体地形成，它们为一体式结构。当然，也可以是其他相邻的储液罐之间为一体式结构。

本实施例的清洗装置在清洗的过程中，难免发生某个储液罐中的清洗液液位过低的情况，这时，可以选择在每个储液罐上各自连接有用于添加清洗液的加液管，例如如图3所示，可以在第三储液罐54、第三储液罐55、第三储液罐56上设有加液管29，在加液管上可以设有电磁阀30。这样，通过控制电磁阀30可以灵活控制向不同的储液罐添加清洗液。

此外，对于第一清洗单元1，与毛刷清洗单元类似地，可以包括有多个用于清洗的腔室，具体可选的，第一清洗单元1包括依次连通的fr(finalrinse最终)清洗腔室11和双流体清洗腔室13，第一清洗单元的出液端12设置在双流体清洗腔室13上。fr清洗腔室11是利用在fr清洗腔室11中设有的喷淋头向基板喷淋去离子水，从而对基板进行清洗，fr清洗腔室的进液端一般和厂务的去离子水供液管直接相连，即，进入喷淋头的清洗液是没有使用过的去离子水，清洁度较高。双流体清洗腔室13中所进行的清洗例如可以是利用压缩空气和清洗液这两种流体配合来对基板进行清洗。而在fr清洗腔室11和双流体清洗腔室13之间也可以设有第三储液罐55作为缓冲，此外，此处第三储液罐55和fr清洗腔室11和双流体清洗腔室13的连接方式，和第三储液罐54与毛刷清洗腔室23、毛刷清洗腔室24的连接方式类似，此处不再赘述。

另外，可选的，第二清洗单元3包括依次连通的两个冲洗腔室，如图2中所示，包括冲洗腔室32和冲洗腔室33，第二清洗单元的进液端31设置在清洗液流动的上游侧的冲洗腔室32上，即冲洗腔室32的进液端为第二清洗单元的进液端31。

下面简单介绍图2所示的清洗装置的正常清洗工作过程。当基板在fr清洗腔室11中时，清洗液从fr清洗腔室11的进液端进入fr清洗腔室11中，在fr清洗腔室11中对基板进行清洗，在清洗结束后，基板进入双流体清洗腔室13，同时fr清洗腔室11中使用完毕的清洗液进入第三储液罐55中，在第三储液罐55中经过沉淀、过滤后，进入双流体清洗腔室13中。当基板在双流体清洗腔室13中时，使用清洗液和压缩空气对基板进行清洗，在清洗结束后，基板进入毛刷清洗腔室23，同时流体清洗腔室13中使用完毕的清洗液进入第一储液罐51中，在第一储液罐51中经过沉淀、过滤后，进入毛刷清洗腔室23。基板在毛刷清洗腔室23中时，利用毛刷25和清洗液对基板进行清洗，在清洗结束后，基板进入毛刷清洗腔室24，同时毛刷清洗腔室23中使用完毕的清洗液进入第三储液罐54中，在第三储液罐54中经过沉淀、过滤后，进入毛刷清洗腔室24，基板在毛刷清洗腔室24中时，利用毛刷25和清洗液对基板进行清洗，在清洗结束后，基板进入冲洗腔室32，同时毛刷清洗腔室24中使用完毕的清洗液进入第二储液罐61中，在第二储液罐61中经过沉淀、过滤后，进入冲洗腔室32中，基板在冲洗腔室32中时，利用清洗液对基板进行清洗，在清洗结束后，基板进入冲洗腔室33，同时冲洗腔室32中使用完毕的清洗液进入第三储液罐56中，在第三储液罐56中经过沉淀、过滤后，进入冲洗腔室33中，基板在冲洗腔室33中时，利用清洗液对基板进行清洗，在清洗结束后，基板排出冲洗腔室33，同时冲洗腔室33中使用完毕的清洗液通过冲洗腔室33的排液端排出冲洗腔室33，至此，基板的清洗过程结束。对于本实施例的清洗装置的毛刷清洗单元中的局部回流通道已经在前面进行过详细介绍，此处不再赘述。

在此过程中，需要在各个储液罐例如、第一储液罐、第二储液罐、第三储液罐的出液口连接有流体驱动件，例如泵，以便于将储液罐中的清洗液抽出。

在本实施例的基板清洗装置包括多个清洗单元和多个通道组件，通道组件连接在相邻的两个清洗单元之间，且清洗液通过通道组件在清洗单元之间流通，多个清洗单元包括第一清洗单元、毛刷清洗单元以及第二清洗单元，多个通道组件包括第一通道组件以及第二通道组件，第一清洗单元的出液端通过第一通道组件和毛刷清洗单元的进液端相连通，毛刷清洗单元的出液端通过第二通道组件和第二清洗单元的进液端相连通，在第一通道组件和第二通道组件之间连接有可开闭的回流管，且当所述回流管打开时，第一清洗单元和所述第二清洗单元处于非工作状态。通过在第一通道组件和第二通道组件之间连接有回流管，因此可以在毛刷清洗单元的出液端和毛刷清洗单元的进液端之间形成用于回流清洗液的回流通道，此外，当回流管打开时，第一清洗单元和第二清洗单元处于非工作状态，因此在清洗装置的idle期间，可以使第一清洗单元和第二清洗单元处于非工作状态，而只利用上述回流通道使清洗液在毛刷清洗单元的内部和外部形成往复循环，与现有技术中清洗装置在idle期间还要使所有清洗单元同时运转的情况相比，由于减少了运转的设备的数量，因此能够减少清洗液的消耗，减少能耗。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“相连”、“固定”、“安装”等应做广义理解，例如可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定、对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。