一种理疗仪生产用晶圆清洗机的制作方法

本发明属于晶圆加工领域，具体涉及到一种理疗仪生产用晶圆清洗机。

背景技术：

理疗仪也就是物理治疗仪，主要是利用设备将物理因子作用于人体，以达到治疗的效果，而理疗仪内的电路需要用到晶圆来制作成集成电路，来使设备进行运行，故而晶圆在其中的作用较大，而晶圆在完成制作后需要对其进行干净，才能更好的发挥作用，若晶圆清洗不干净或者表面出现划痕等影响晶圆表面光滑度的，将影响到理疗仪的工作效果，但是现有技术存在以下不足：

由于晶圆为圆形且需要对其进行全方位的清洗，在利用超声波进行清洗中，上表面将受到阻挡而无法清理到，在利用清洁刷进行辅助清洁时，清洁刷将会触碰到晶圆或者将晶圆向外侧带动而与清洗槽内壁接触，造成晶圆表面出现划痕，而影响晶圆制作成集成电路时的效果，进而使理疗仪的工作效果不佳。

以此本申请提出一种理疗仪生产用晶圆清洗机，对上述缺陷进行改进。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种理疗仪生产用晶圆清洗机，以解决现有技术由于晶圆为圆形且需要对其进行全方位的清洗，在利用超声波进行清洗中，上表面将受到阻挡而无法清理到，在利用清洁刷进行辅助清洁时，清洁刷将会触碰到晶圆或者将晶圆向外侧带动而与清洗槽内壁接触，造成晶圆表面出现划痕，而影响晶圆制作成集成电路时的效果，进而使理疗仪的工作效果不佳的问题。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种理疗仪生产用晶圆清洗机，其结构包括脚轮、机箱、排水管、箱盖、清洗机构、控制面板，所述脚轮安装于机箱下端并且采用机械连接，所述排水管嵌入于机箱内侧并且与清洗机构相连通，所述箱盖水平安装于机箱上端并且采用铰链连接，所述清洗机构嵌入安装于机箱内侧，所述控制面板安装于机箱正面并且与清洗机构通过导线电连接；所述清洗机构包括外箱体、超声波换能器、内护边结构、清洗腔、辅助清洗结构、转动轮，所述超声波换能器嵌入安装于外箱体内侧，所述内护边结构嵌入于外箱体内侧并且位于超声波换能器上方，所述清洗腔设于内护边结构内侧并且为一体化结构，所述辅助清洗结构下端嵌入安装于外箱体内侧，所述转动轮卡接于辅助清洗结构下端并且位于外箱体内侧。

对本发明进一步地改进，所述内护边结构包括缓冲结构、橡胶板、滑板、侧毛刷，所述橡胶板竖直安装于缓冲结构外侧并且相粘合，所述滑板倾斜设于橡胶板上端并且为一体化结构，所述侧毛刷嵌入安装于橡胶板内侧并且均匀分布。

对本发明进一步地改进，所述缓冲结构包括支座、气囊、凸块，所述支座右端嵌入安装有气囊，所述凸块设于气囊右侧并且与支座位于同一轴线上，所述凸块与橡胶板相连接。

对本发明进一步地改进，所述辅助清洗结构包括转动杆、清洗刷、橡胶套，所述橡胶套套设于转动杆外侧并且之间相贴合，所述清洗刷设有多个并且均匀分布于转动杆外侧。

对本发明进一步地改进，所述清洗刷包括联动杆、刷毛、弧板、防护刷毛，所述刷毛安装于联动杆外表面并且固定连接，所述弧板设于联动杆外侧并且为一体化结构，所述防护刷毛均匀分布于弧板外表面。

对本发明进一步地改进，所述联动杆之间设有活动结构，所述活动结构设有多个并且等距嵌入安装于联动杆内侧。

对本发明进一步地改进，所述活动结构包括外轮、槽孔、适应结构，所述槽孔嵌入于外轮外表面，所述适应结构安装于外轮内侧并且环形分布。

对本发明进一步地改进，所述适应结构包括固定块、弹簧板、转轴，所述弹簧板固定安装于固定块上端，所述转轴贯穿于弹簧板上端并且采用活动连接，所述转轴安装于外轮内侧并且采用铰链连接。

根据上述提出的技术方案，本发明一种理疗仪生产用晶圆清洗机，具有如下有益效果：

本发明在外箱体内侧设置了内护边结构，晶圆触碰到辅助清洗结构时，将被推至内护边结构表面，此时侧毛刷将首先接触晶圆并进行刷洗，而后将触碰橡胶板，将发生形变并将力传至内侧作用于缓冲结构，此时凸块也将向内移动而压缩气囊，随后气囊将慢慢复位，而将晶圆再次推出继续进行清洗，在对晶圆进行全方位清洗的同时，对与晶圆接触的部位进行了缓冲，防止了晶圆发生磕碰及出现划痕，更好的提高晶圆制作成集成电路的效果。

本发明在内护边结构内侧设置了辅助清洗结构，转动杆将转动而带动清洗刷，对晶圆进行刷洗，在接触到晶圆时，刷毛将首先接触晶圆对其进行刷洗，并且由于转动的力将使刷毛向内弯曲，而靠近联动杆，并且刷毛及触碰到外轮时将向内移动来作用于适应结构，此时弹簧板将弯曲，而在复位时将推出外轮，在对晶圆进行缓冲的同时，并且使晶圆再次回到清洗腔中间进行清洗，进行来回的清洗，进而清洗更加的全面，并且在与晶圆接触时进行缓冲，防止其受力磕碰，且减少了与利器的接触而发生划痕，更好的制作成理疗仪的集成电路，提高了使用效果。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明一种理疗仪生产用晶圆清洗机的结构示意图；

图2为本发明清洗机构的结构示意图；

图3为本发明内护边结构的正视结构示意图；

图4为本发明内护边结构的俯视结构示意图；

图5为本发明缓冲结构的结构示意图；

图6为本发明辅助清洗结构的结构示意图；

图7为本发明清洗刷的正视结构示意图；

图8为本发明清洗刷的侧视结构示意图；

图9为本发明联动杆的正视结构示意图；

图10为本发明联动杆的侧视结构示意图；

图11为本发明活动结构的结构示意图；

图12为本发明适应结构的结构示意图。

图中：脚轮-1、机箱-2、排水管-3、箱盖-4、清洗机构-5、控制面板-6、外箱体-51、超声波换能器-52、内护边结构-53、清洗腔-54、辅助清洗结构-55、转动轮-56、缓冲结构-531、橡胶板-532、滑板-533、侧毛刷-534、支座-31a、气囊-31b、凸块-31c、转动杆-551、清洗刷-552、橡胶套-553、联动杆-52a、刷毛-52b、弧板-52c、防护刷毛-52d、活动结构-a1、外轮-a11、槽孔-a12、适应结构-a13、固定块-z1、弹簧板-z2、转轴-z3。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

实施例一：请参阅图1-图5，本发明具体实施例如下：

其结构包括脚轮1、机箱2、排水管3、箱盖4、清洗机构5、控制面板6，所述脚轮1安装于机箱2下端并且采用机械连接，所述排水管3嵌入于机箱2内侧并且与清洗机构5相连通，所述箱盖4水平安装于机箱2上端并且采用铰链连接，所述清洗机构5嵌入安装于机箱2内侧，所述控制面板6安装于机箱2正面并且与清洗机构5通过导线电连接；所述清洗机构5包括外箱体51、超声波换能器52、内护边结构53、清洗腔54、辅助清洗结构55、转动轮56，所述超声波换能器52嵌入安装于外箱体51内侧，所述内护边结构53嵌入于外箱体51内侧并且位于超声波换能器52上方，所述清洗腔54设于内护边结构53内侧并且为一体化结构，所述辅助清洗结构55下端嵌入安装于外箱体51内侧，所述转动轮56卡接于辅助清洗结构55下端并且位于外箱体51内侧。

参阅图3-图4，所述内护边结构53包括缓冲结构531、橡胶板532、滑板533、侧毛刷534，所述橡胶板532竖直安装于缓冲结构531外侧并且相粘合，所述滑板533倾斜设于橡胶板532上端并且为一体化结构，所述侧毛刷534嵌入安装于橡胶板532内侧并且均匀分布，在晶圆被冲刷到侧毛刷534进行清洗时，也将触碰橡胶板532进而受到缓冲结构531的缓冲，而回弹回去继续清洗。

参阅图5，所述缓冲结构531包括支座31a、气囊31b、凸块31c，所述支座31a右端嵌入安装有气囊31b，所述凸块31c设于气囊31b右侧并且与支座31a位于同一轴线上，所述凸块31c与橡胶板532相连接，在触碰时减少了力的作用，并且可缓慢恢复，防止晶圆回弹过快。

基于上述实施例，具体工作原理如下：

往清洗机构5内倒入水，并将需要清洗的晶圆放入清洗机构5内，盖上箱盖4即可开始进行清洗，在此时超声波换能器52将发出超声波作用于外箱体51内的水，并且转动轮56工作将带动辅助清洗结构55进行工作，对晶圆进行辅助清洗，当触碰到晶圆时，将被推至内护边结构53表面，此时侧毛刷534将首先接触晶圆并进行刷洗，而后将触碰橡胶板532，将发生形变并将力传至内侧作用于缓冲结构531，此时凸块31c也将向内移动而压缩气囊31b，随后气囊31b将慢慢复位，而将晶圆再次推出继续进行清洗，如此进行循环的清洗，在清洗完成后，将晶圆取出，并利用排水管3将水排出，即可进行下一次的清洗工作。

实施例二：请参阅图1-图2、图6-图12，本发明具体实施例如下：

其结构包括脚轮1、机箱2、排水管3、箱盖4、清洗机构5、控制面板6，所述脚轮1安装于机箱2下端并且采用机械连接，所述排水管3嵌入于机箱2内侧并且与清洗机构5相连通，所述箱盖4水平安装于机箱2上端并且采用铰链连接，所述清洗机构5嵌入安装于机箱2内侧，所述控制面板6安装于机箱2正面并且与清洗机构5通过导线电连接；所述清洗机构5包括外箱体51、超声波换能器52、内护边结构53、清洗腔54、辅助清洗结构55、转动轮56，所述超声波换能器52嵌入安装于外箱体51内侧，所述内护边结构53嵌入于外箱体51内侧并且位于超声波换能器52上方，所述清洗腔54设于内护边结构53内侧并且为一体化结构，所述辅助清洗结构55下端嵌入安装于外箱体51内侧，所述转动轮56卡接于辅助清洗结构55下端并且位于外箱体51内侧。

参阅图6，所述辅助清洗结构55包括转动杆551、清洗刷552、橡胶套553，所述橡胶套553套设于转动杆551外侧并且之间相贴合，所述清洗刷552设有多个并且均匀分布于转动杆551外侧，在对晶圆进行清洗的同时，在触碰转动杆551时将受到橡胶套553的保护，防止造成磕碰损伤。

参阅图7-图8，所述清洗刷552包括联动杆52a、刷毛52b、弧板52c、防护刷毛52d，所述刷毛52b安装于联动杆52a外表面并且固定连接，所述弧板52c设于联动杆52a外侧并且为一体化结构，所述防护刷毛52d均匀分布于弧板52c外表面，刷毛52b在对晶圆进行清洗的同时，也将会把晶圆顶出，防止触碰联动杆52a，而防护刷毛52d将更好的防护晶圆从侧面靠近弧板52c。

参阅图9-图10，所述联动杆52a之间设有活动结构a1，所述活动结构a1设有多个并且等距嵌入安装于联动杆52a内侧，所述刷毛52b嵌入安装于活动结构a1外表面。

参阅图11，所述活动结构a1包括外轮a11、槽孔a12、适应结构a13，所述槽孔a12嵌入于外轮a11外表面，所述适应结构a13安装于外轮a11内侧并且环形分布，在晶圆触碰刷毛52b时将会把力传至活动结构a1，进而适应结构a13发生回弹，全方位的适应晶圆的清洗移动。

参阅图12，所述适应结构a13包括固定块z1、弹簧板z2、转轴z3，所述弹簧板z2固定安装于固定块z1上端，所述转轴z3贯穿于弹簧板z2上端并且采用活动连接，所述转轴z3安装于外轮a11内侧并且采用铰链连接，弹簧板z2可进行拉伸及压缩，进行自适应。

基于上述实施例，具体工作原理如下：

往清洗机构5内倒入水，并将需要清洗的晶圆放入清洗机构5内，盖上箱盖4即可开始进行清洗，在此时超声波换能器52将发出超声波作用于外箱体51内的水，并且转动轮56工作将带动辅助清洗结构55进行工作，对晶圆进行辅助清洗，转动杆551将转动而带动清洗刷552，对晶圆进行刷洗，在接触到晶圆时，刷毛52b将首先接触晶圆对其进行刷洗，并且由于转动的力将使刷毛52b向内弯曲，而靠近联动杆52a，并且刷毛52b及触碰到外轮a11时将向内移动来作用于适应结构a13，此时弹簧板z2将弯曲，而在复位时将推出外轮a11，在对晶圆进行缓冲的同时，并且使晶圆再次回到清洗腔54中间进行清洗，如此进行循环的工作，在完成清洗后，取出晶圆，并从排水管3排出污水，即可完成工作。

本发明解决了现有技术由于晶圆为圆形且需要对其进行全方位的清洗，在利用超声波进行清洗中，上表面将受到阻挡而无法清理到，在利用清洁刷进行辅助清洁时，清洁刷将会触碰到晶圆或者将晶圆向外侧带动而与清洗槽内壁接触，造成晶圆表面出现划痕，而影响晶圆制作成集成电路时的效果，进而使理疗仪的工作效果不佳的问题，本发明通过上述部件的互相组合，在外箱体内侧设置了内护边结构，晶圆触碰到辅助清洗结构时，将被推至内护边结构表面，此时侧毛刷将首先接触晶圆并进行刷洗，而后将触碰橡胶板，将发生形变并将力传至内侧作用于缓冲结构，此时凸块也将向内移动而压缩气囊，随后气囊将慢慢复位，而将晶圆再次推出继续进行清洗，在对晶圆进行全方位清洗的同时，对与晶圆接触的部位进行了缓冲，防止了晶圆发生磕碰及出现划痕，更好的提高晶圆制作成集成电路的效果；在内护边结构内侧设置了辅助清洗结构，转动杆将转动而带动清洗刷，对晶圆进行刷洗，在接触到晶圆时，刷毛将首先接触晶圆对其进行刷洗，并且由于转动的力将使刷毛向内弯曲，而靠近联动杆，并且刷毛及触碰到外轮时将向内移动来作用于适应结构，此时弹簧板将弯曲，而在复位时将推出外轮，在对晶圆进行缓冲的同时，并且使晶圆再次回到清洗腔中间进行清洗，进行来回的清洗，进而清洗更加的全面，并且在与晶圆接触时进行缓冲，防止其受力磕碰，且减少了与利器的接触而发生划痕，更好的制作成理疗仪的集成电路，提高了使用效果。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。