清洁装置及曝光机的制作方法

1.本申请涉及显示技术领域，具体涉及一种清洁装置及曝光机。


背景技术：

2.在液晶显示面板(liquid crystal display，lcd)制备过程中，曝光机是制备精细画素图案的关键设备。如图1所示，为了防静电，现有的曝光机的承载台10’通常为非平坦结构(也即承载面101为非平整面)，然而这种结构在面板运转过程或空载状态容易累积灰尘、磨屑等尘粒，该尘粒在玻璃底面会造成玻璃表面发生形变，曝光制程时因玻璃表面形变，使得色阻交联反应不均匀，进而造成亮度不均匀，从而导致显示品质异常。
3.目前主要是采用粘附性工具对承载台进行清洁，但是这种方式无法对非平坦结构的承载台进行有效清洁，降低了清洁效果。


技术实现要素：

4.本申请实施例提供一种清洁装置及曝光机，可以提高清洁效果。
5.本申请实施例提供一种清洁装置，所述清洁装置用于对曝光机的承载台进行清洁；其包括：
6.壳体，包括底板和侧壁；
7.吸嘴，设置在所述底板上，所述吸嘴用于将承载台上的尘粒吸入其内；
8.静电吸附件，固定在所述壳体上，所述静电吸附件包括第一吸附部和第二吸附部，所述第一吸附部设于所述吸嘴的第一侧，所述第二吸附部设于所述吸嘴的第二侧；
9.导出管，与所述吸嘴连接，所述导出管用于将所述吸嘴内的尘粒导出。
10.本发明还提供一种曝光机，其包括上述清洁装置。
11.本申请实施例的清洁装置及曝光机，包括壳体，包括底板和侧壁；吸嘴，设置在所述底板上，所述吸嘴用于将承载台上的尘粒吸入其内；静电吸附件，固定在所述壳体上，所述静电吸附件包括第一吸附部和第二吸附部，所述第一吸附部设于所述吸嘴的第一侧，所述第二吸附部设于所述吸嘴的第二侧；导出管，与所述吸嘴连接，用于将所述吸嘴内的尘粒导出；由于采用吸附方式进行清洁，因此提高了清洁效果，进而提高了产品良率。
附图说明
12.为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
13.图1为现有承载台的剖面示意图。
14.图2为本申请一实施例提供的清洁装置的结构示意图。
15.图3为本申请一实施例提供的第一清洁部的结构示意图。
16.图4为本申请另一实施例提供的清洁装置的结构示意图。
17.图5为本申请一实施例提供的曝光机的结构示意图。
具体实施方式
18.下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
19.在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
20.在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
21.在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
22.下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
23.请参阅图2至图5，图2为本申请一实施例提供的清洁装置的结构示意图。
24.如图2所示，所述清洁装置100用于对曝光机的承载台进行清洁；该清洁装置100包括：壳体10、吸嘴20、静电吸附件30以及导出管40。
25.壳体10包括底板11和侧壁12。在一实施方式中，所述底板11上可设置有凸耳13。其中侧壁12设置在底板11的两侧。
26.吸嘴20设置在所述底板11上，所述吸嘴20用于将承载台上的尘粒吸入其内；在一
实施方式中，所述吸嘴20可为扁平状，从而增大吸附范围，提高吸附效果。所述吸嘴20的截面形状可为椭圆形。当然在其他实施方式中，所述吸嘴20的截面形状可为长方形，梯形、圆形等形状。
27.静电吸附件30固定在所述壳体10上，所述静电吸附件30包括第一吸附部31和第二吸附部32，所述第一吸附部31设于所述吸嘴20的第一侧，所述第二吸附部32设于所述吸嘴20的第二侧；第一侧比如为前侧，第二侧比如为后侧。在一优选实施方式中，第一吸附部31和第二吸附部32可并排设置。
28.导出管40与所述吸嘴20连接，导出管40用于将所述吸20嘴内的尘粒导出。在一实施方式中，为了进一步提高清洁装置100的稳定性，所述壳体10固定在所述导出管40上，其中为了进一步提高清洁装置100的稳定性，所述凸耳13可固定在所述导出管40上。比如，在一实施方式中，所述凸耳13通过螺栓固定在所述导出管40上。具体固定方式不限于此。
29.在一实施方式中，为了提高吸附效果，结合图3，所述第一吸附部31包括滚轮311和静电吸附层312，所述静电吸附层312包覆在所述滚轮311的侧面外，所述滚轮311的两端固定在所述侧壁12上。在一实施方式中，所述静电吸附层312为防静电胶层。所述第二吸附部32的结构与所述第一吸附部31的结构相同。当第一吸附部采用上述结构，且滚轮滚动时，可以带动吸嘴在承载台上移动，从而吸附整个承载台上的微粒异物。
30.在一实施方式中，返回图2，为了提高清洁装置的灵活性，所述清洁装置100还包括连接管50；所述导出管40通过所述连接管50与所述吸嘴20连接。在一实施方式中，为了提高清洁装置的灵活性，所述连接管50为软管，从而使得壳体可以灵活地转动。其中导出管40的内径略大于连接管50的外径。在一实施方式中，连接管50的一端插入所述导出管40内，连接管50的一端插入所述吸嘴20内。在一实施方式中，连接管50的两端可分别通过一固定件与导出管40和吸嘴20固定。
31.在一实施方式中，为了提高导出管的硬度，所述导出管40为金属管，也即此时导出管40可以用作手杆。
32.在一实施方式中，如图4所示，所述清洁装置100还可包括吸气装置60；所述导出管40远离所述连接管50的一端与所述吸气装置60连接。吸气装置60可为中央吸尘系统或移动式吸尘机，具体结构不限。
33.在具体工作过程中，导出管40从外部接入真空气源，通过吸嘴20将承载台上的尘粒吸走，进而对承载台进行清洁。
34.可以理解的，图2至图4仅给出一种示例，并不能对本发明构成限定。
35.如图5所示，本实施例还提供一种曝光机200，其包括上述任意一种清洁装置100。
36.在一实施方式中，所述曝光机200包括承载台70，所述承载台70具有一承载面71，承载面71用于承载显示面板；
37.所述清洁装置100设于所述承载面71上，所述承载面71为非平整的表面，所述承载面71的结构可与图1中的101的结构相同。
38.可以理解的，图5仅给出一种示例，并不能对本发明构成限定。
39.本申请实施例的清洁装置及曝光机，包括壳体，包括底板和侧壁；吸嘴，设置在所述底板上，所述吸嘴用于将承载台上的尘粒吸入其内；静电吸附件，固定在所述壳体上，所述静电吸附件包括第一吸附部和第二吸附部，所述第一吸附部设于所述吸嘴的第一侧，所
述第二吸附部设于所述吸嘴的第二侧；导出管，与所述吸嘴连接，用于将所述吸嘴内的尘粒导出；由于采用吸附方式进行清洁，因此可以对非平坦结构的承载台进行有效清洁，提高了清洁效果，进而提高了产品良率。
40.以上对本申请实施例提供的清洁装置及曝光机进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请。同时，对于本领域的技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。