一种半导体晶元检测及除尘设备的制作方法

1.本实用新型涉及除尘设备，尤其是涉及一种半导体晶元检测及除尘设备。


背景技术：

2.一般来说，手机摄像头主要包括内置和外置这两种，内置摄像头是指手机内部安装的摄像头，使用更为便利；外置摄像头是指通过数据线或者其他方式将手机与数码相机进行连接，以此实现拍摄，这种拍摄方式的操作更为便捷。
3.在手机内置摄像头的制作过程中，需要在摄像头上安装半导体晶元，而为了保证摄像头的正常实用，在半导体晶元安装之前需要确保半导体晶元上的半导体晶元没有灰尘粘附。目前，大多厂商会采用灰尘检测设备对半导体晶元上的洁净度进行检测，其中使用最多的是视觉检测系统，即通过拍摄的方式判断半导体晶元上是否有灰尘粘附。
4.然而，在检测完成后，需要通过人工的方式进行除尘操作，不仅效率较低，而且除尘的效果难以得到保证，影响产品的良率。


技术实现要素：

5.本实用新型技术方案是针对上述情况的，为了解决上述问题而提供一种半导体晶元检测及除尘设备，所述除尘设备包括：机箱、进料机构、承接机构、水平滑台、检测机构、机械手、具有粘尘棒的供应机构、用于回收不良品的回收机构和卸料机构，所述水平滑台、检测机构、机械手、供应机构和回收机构都位于机箱的内部，所述机箱位于进料机构和卸料机构之间，所述承接机构位于水平滑台上，所述水平滑台从检测机构延伸至回收机构，所述机械手位于检测机构与供应机构之间。
6.进一步，所述进料机构包括：进料框、进料托架、进料升降器和进料推进器，所述进料框固定在进料托架上，所述进料托架沿上下方向可移动地设置在进料升降器上，所述进料推进器与承接机构正对，所述进料框位于进料推进器与承接机构之间。
7.进一步，所述承接机构包括：承接轨道、转移器、压紧器和限位器，所述转移器位于承接轨道的上方，所述压紧器和限位器位于承接轨道的下方，所述压紧器比限位器更靠近进料机构。
8.进一步，所述承接轨道包括：承接电机、磁力辊、多个磁力轮和多个送料辊，所述承接电机的电机轴与磁力辊形成固定连接，所述磁力轮与送料辊形成固定，所述磁力辊位于多个磁力轮的下方。
9.进一步，所述水平滑台包括：支撑板、x轴滑台和y轴滑台，所述进料机构固定在支撑板上，所述支撑板沿前后方向可移动地设置在x轴滑台上，所述 x轴滑台沿左右方向可移动地设置在y轴滑台上。
10.进一步，所述检测机构包括：摄像头、前后旋转器、左右旋转器和检测升降器，所述摄像头沿前后方向可转动地设置在前后旋转器上，所述前后旋转器沿左右方向可转动地设置在左右旋转器上，所述左右旋转器沿上下方向可移动地设置在检测升降器上。
11.进一步，所述机械手包括：夹头、上下移动器和前后移动器，所述夹头沿上下方向可移动地设置在上下移动器上，所述上下移动器沿前后方向可移动地设置在前后移动器上。
12.进一步，所述供应机构包括：多个粘尘棒、转台和旋转器，多个粘尘棒位于转台上并且呈360
°
圆周形阵列的方式排列，所述转台可转动地设置在旋转器上。
13.进一步，所述回收机构包括：回收框、回收托架和回收升降器，所述回收框固定在回收托架上，所述回收托架沿上下方向可移动地设置在回收升降器上。
14.进一步，所述卸料机构包括：卸料框、卸料托架和卸料升降器，所述卸料框固定在卸料托架上，所述卸料托架沿上下方向可移动地设置在卸料升降器上。
15.采用上述技术方案后，本实用新型的效果是：具有上述结构的除尘设备，不仅可以完成对手机摄像头半导体晶元的检测，判断其是否有灰尘粘附，并且可以自动对半导体晶元上的灰尘进行除尘操作，大大提高效率，并且保证除尘效果。
附图说明
16.图1为本实用新型涉及的除尘设备的示意图；
17.图2为本实用新型涉及的进料机构的示意图；
18.图3为本实用新型涉及的承接机构的示意图；
19.图4为本实用新型涉及的承接机构的另一示意图；
20.图5为本实用新型涉及的滑台的示意图；
21.图6为本实用新型涉及的检测机构的示意图；
22.图7为本实用新型涉及的机械手的示意图；
23.图8为本实用新型涉及的供应机构的示意图；
24.图9为本实用新型涉及的回收机构的示意图；
25.图10为本实用新型涉及的卸料机构的示意图。
具体实施方式
26.特别指出的是，本实用新型中的术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
27.下面通过实施例对本实用新型技术方案作进一步的描述：
28.本实用新型提供一种半导体晶元检测及除尘设备，结合图1～图10所示，除尘设备包括：机箱1、进料机构2、承接机构3、水平滑台4、检测机构5、机械手6、具有粘尘棒71的供应机构7、用于回收不良品的回收机构8和卸料机构9，水平滑台4、检测机构5、机械手6、供应机构7和回收机构8都位于机箱1的内部，机箱1位于进料机构2和卸料机构9之间，承接机构3位于水平滑台4 上，水平滑台4从检测机构5延伸至回收机构8，机械手6位于检测机构5与供应
机构7之间。
29.在除尘设备工作时，手机摄像头模组晶元放置在进料机构2中，进料机构2 将半导体晶元转移至承接机构3上，水平滑台4将承接机构3移动至检测机构5 的下方，检测机构5对半导体晶元进行检测，判断是否有灰尘，其检测原理与现有技术相同，在此不再赘述。对于没有灰尘的半导体晶元，则直接转移至卸料机构9；对于有灰尘的半导体晶元，机械手6从供应机构7上取出粘尘棒71，并将粘尘棒71移动至半导体晶元上进行拭擦，然后放回粘尘棒71，并再通过检测机构5对该半导体晶元进行检测，判断是否还存在灰尘，若灰尘处理完毕，则转移至卸料机构9，若灰尘未能处理，则通过水平滑台4将承接机构3移动至与回收机构8正对的位置，并将半导体晶元转移至回收机构8中。
30.具体地，请继续参考图2，进料机构2包括：进料框21、进料托架22、进料升降器23和进料推进器24，进料框21固定在进料托架22上，进料托架22 沿上下方向可移动地设置在进料升降器23上，进料推进器24与承接机构3正对，进料框21位于进料推进器24与承接机构3之间。半导体晶元放置在进料框21中，进料升降器23用于控制半导体晶元的升降，从而进行批量进料操作，进料推进器24用于将半导体晶元转移至承接机构3上。其中，进料升降器23 通过电机驱动，进料推进器24通过气缸驱动。
31.具体地，请继续参考图3和图4，承接机构3包括：承接轨道31、转移器 32、压紧器33和限位器34，转移器32位于承接轨道31的上方，压紧器33和限位器34位于承接轨道31的下方，压紧器33比限位器34更靠近进料机构2。承接轨道31用于接收半导体晶元，在本实施例中，半导体晶元放置在载具100 上，载具100从进料框21转移至承接轨道31；在除尘过程中，压紧器33用于向上顶住载具100，使粘尘棒与半导体晶元更充分地接触；转移器32用于将载具100转移至回收机构8或卸料机构9；限位器34用于在承接轨道31接收载具 100时对载具100进行限位，以便检测机构5更精确地检测。其中，转移器32、压紧器33和限位器34都通过气缸驱动。
32.更具体地，承接轨道31包括：承接电机311、磁力辊312、多个磁力轮313 和多个送料辊314，承接电机311的电机轴与磁力辊312形成固定连接，磁力轮 313与送料辊314形成固定，磁力辊312位于多个磁力轮313的下方。通过承接电机311可以驱动磁力辊312发生转动，由于磁极的变化，磁力轮313也随之发生转动，从而带动送料辊314转动，实现载具100在承接轨道31上的传输，方便转移器32进行转移操作。
33.具体地，请继续参考图5，水平滑台4包括：支撑板41、x轴滑台42和y 轴滑台43，进料机构2固定在支撑板41上，支撑板41沿前后方向可移动地设置在x轴滑台42上，x轴滑台42沿左右方向可移动地设置在y轴滑台43上。通过x轴滑台42和y轴滑台43可以分别控制进料机构2沿前后和左右方向移动。其中x轴滑台42和y轴滑台43都通过电机驱动。
34.具体地，请继续参考图6，检测机构5包括：摄像头51、前后旋转器52、左右旋转器53和检测升降器54，摄像头51沿前后方向可转动地设置在前后旋转器52上，前后旋转器52沿左右方向可转动地设置在左右旋转器53上，左右旋转器53沿上下方向可移动地设置在检测升降器54上。通过前后旋转器52可以控制摄像头51沿前后方向旋转(如箭头s1所示)，通过左右旋转器53可以控制摄像头51沿左右方向旋转(如箭头s2所示)，通过检测升降器54可控制摄像头51沿上下方向移动，从而调整摄像头的位置和朝向，以确保摄像头与半导体晶元之间的焦距正确，保证检测的准确性。其中，前后旋转器52和左右旋转器53都通过人手驱动
调节，检测升降器54通过气缸驱动。
35.具体地，请继续参考图7，机械手6包括：夹头61、上下移动器62和前后移动器63，夹头61沿上下方向可移动地设置在上下移动器62上，上下移动器 62沿前后方向可移动地设置在前后移动器63上。上下移动器62可以控制夹头 61沿上下方向移动，通过前后移动器63可以控制夹头61沿前后方向移动，通过夹头61可以夹取粘尘棒71。其中，夹头61、上下移动器62和前后移动器63 都通过气缸驱动。
36.具体地，请继续参考图8，供应机构7包括：多个粘尘棒71、转台72和旋转器73，多个粘尘棒71位于转台72上并且呈360
°
圆周形阵列的方式排列，转台72可转动地设置在旋转器73上。通过旋转器73可以控制控制转台72旋转，从而向机械手6供应未使用的粘尘棒71。其中，旋转器73通过电机驱动。
37.具体地，请继续参考图9，回收机构8包括：回收框81、回收托架82和回收升降器83，回收框81固定在回收托架82上，回收托架82沿上下方向可移动地设置在回收升降器83上。需要回收的半导体晶元载具100转移至回收框81 中，回收升降器83用于控制半导体晶元的升降，从而进行批量回收操作。其中，回收升降器83通过电机驱动。
38.具体地，请继续参考图10，卸料机构9包括：卸料框91、卸料托架92和卸料升降器93，卸料框91固定在卸料托架92上，卸料托架92沿上下方向可移动地设置在卸料升降器93上。需要回收的半导体晶元载具100转移至卸料框91 中，卸料升降器93用于控制半导体晶元的升降，从而进行批量回收操作。其中，卸料升降器93通过电机驱动。
39.可见，具有上述结构的除尘设备，不仅可以完成对手机摄像头模组晶元的检测，判断其是否有灰尘粘附，并且可以自动对镜头上的灰尘进行除尘操作，大大提高效率，并且保证除尘效果。
40.以上所述实施例，只是本实用新型的较佳实例，并非来限制本实用新型的实施范围，故凡依本实用新型申请专利范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均应包括于本实用新型专利申请范围内。