一种用于晶圆槽内清洗双导向往复振动装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体晶圆制作技术领域，具体涉及一种用于晶圆槽内清洗双导向往复振动装置。


背景技术：

2.现有的晶圆槽内清洗往复振动装置常用于半导体晶圆前端预清洗设备中，其动作流程为驱动装置通过输出动力使振动臂带动晶圆盒中的晶圆在槽内清洗液中上下往复振动；主要功能是使晶圆在清洗槽液中，与清洗液全面充分接触，从而使晶圆达到预清洗的目的。
3.但现有装置在清洗设备清洗过程中，常出现颤动、波动过大的现象，易导致晶圆的损坏，降低生产效率。主要缺陷是驱动装置在驱动振动臂时，由于振动臂不规则抖动严重，造成安装在振动臂上的晶圆盒持续颤动，极易导致装在晶圆盒中的晶圆在清洗溶液中，不规则往复振动剧烈，导致晶圆的物理损坏。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.本实用新型目的在于背景技术提出的技术问题，而提供了一种用于晶圆槽内清洗双导向往复振动装置，在振动臂上采用双轴导向结构，约束并引导振动臂进行往复规则运动。
6.(二)技术方案
7.一种用于晶圆槽内清洗双导向往复振动装置，包括驱动装置、振动臂及晶圆盒，驱动装置连接有振动臂，振动臂底端连接有晶圆盒；
8.还包括双轴导向结构，振动臂的双轴穿过双轴导向结构；
9.双轴导向结构包括固定板、盖板、调整螺钉、锁紧螺钉及固定螺钉；固定板前侧左右间隔设置有两个凸台，凸台上设置有卡槽；盖板通过固定螺钉可拆卸连接凸台；盖板后侧对应设置有卡槽，并与凸台的卡槽构成通道，用于振动臂穿过；固定板还设置有左右方向的横向槽；锁紧螺钉穿过横向槽，用于将双轴导向结构固定位置；固定板还设置有若干调整螺钉，用于调整倾斜度。
10.优选的，卡槽的横截面为对应振动臂的半圆形。
11.优选的，调整螺钉、锁紧螺钉及固定螺钉均采用内六角螺钉。
12.优选的，调整螺钉沿左右方向共设置了三个，均分在凸台两侧。
13.优选的，横向槽共设置了六处，其中上下分成两组，每组三个，也均分在凸台两侧。
14.优选的，盖板设置有通孔，凸台设置有对应的螺纹孔。
15.优选的，固定板上设置有固定螺母，调整螺钉穿过并螺接固定螺母。
16.(三)有益效果
17.本实用新型提供了一种用于晶圆槽内清洗双导向往复振动装置，在振动臂上采用
双轴导向结构，约束并引导振动臂进行往复规则运动；本双轴导向结构还方便调整轴向位置、及垂直轴向方向位置，并具备调整倾斜度的功能，可适应不平的安装台；本实用新型可以确保在振动臂上的晶圆盒平稳、规则运动，解决晶圆在清洗过程中的损伤，增强设备的功能稳定性，提高清洗生产效率。
附图说明
18.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的，保护一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1为本实用新型安装及关联结构示意图；
20.图2为图1的侧视图；
21.图3为本实用新型的结构图；
22.图4为本实用新型的前视图。
23.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0024]1‑
驱动装置，2
‑
振动臂，3
‑
双轴导向结构，4
‑
晶圆盒；
[0025]
31
‑
固定板，32
‑
盖板，33
‑
锁紧螺钉，34
‑
横向槽，35
‑
固定螺钉，36
‑
调整螺钉。
具体实施方式
[0026]
下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0027]
在本实用新型的描述中，需要说明的是，如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等，其所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，如出现术语“第一”、“第二”、“第三”，其仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0028]
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，如出现术语“安装”、“相连”、“连接”，应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0029]
参看附图1，一种用于晶圆槽内清洗双导向往复振动装置，包括驱动装置1、振动臂2及晶圆盒4，驱动装置1连接有双轴振动臂2，振动臂2底端连接有晶圆盒4，还包括双轴导向结构3，振动臂2的双轴穿过双轴导向结构3。
[0030]
参看附图2、3，双轴导向结构3包括固定板31、盖板32、调整螺钉36、锁紧螺钉33及固定螺钉35；固定板31前侧左右间隔设有两个凸台，凸台上开有卡槽；盖板32通过固定螺钉
35可拆卸连接凸台；盖板32后侧对应开有卡槽，并与凸台的卡槽构成通道，用于振动臂穿过；固定板31还开有左右方向的横向槽34；锁紧螺钉33穿过横向槽34，用于将固定板31固定位置；固定板31还设有若干调整螺钉36，用于调整倾斜度。
[0031]
以本实施例为例，卡槽的横截面为对应振动臂的半圆形；调整螺钉36沿左右方向共设置了三个，均分在凸台两侧；横向槽34共设置了六处，其中上下分成两组，每组三个，也均分在凸台两侧。
[0032]
使用时，驱动装置1应当与固定台(未画出)进行固定连接，双轴导向结构3也与固定台连接，从而对振动臂2进行稳定的导向。
[0033]
而在连接前，需要根据具体情况，对双轴导向结构3进行调整；
[0034]
由于盖板32开有通孔，凸台开有对应的螺纹孔，这样通过固定螺钉35实现盖板32的可拆卸，便于振动臂2的双轴的装入；
[0035]
振动臂2的双轴放置在固定板31和盖板32组成的通道内，整个双轴导向结构3可沿着振动臂2轴向进行上下移动，实现轴向位置调整；而横向槽34提供了垂直轴向方向上的移动空间，便于进行振动臂的水平位置调整，之后通过锁紧螺钉33与固定台连接，从而将双轴导向结构3固定位置。
[0036]
若固定台的面不平，由于固定板31上设有固定螺母，调整螺钉36穿过并螺接固定螺母，这样可转动调整螺钉36，使调整螺钉36抵住固定台，并调整其伸出量，从而改变双轴导向结构3的倾斜度，实现调平。
[0037]
需要说明的是，上述调整时螺钉具有一定灵活性，待完成调整后再进行锁紧。
[0038]
参看附图，调整螺钉36、锁紧螺钉33及固定螺钉35均采用内六角螺钉，便于通过六角扳手施力。
[0039]
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料过着特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0040]
以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。