一种剥离液生产用多级过滤装置的制作方法

1.本实用新型涉及剥离液回收设备技术领域，具体为一种剥离液生产用多级过滤装置。


背景技术：

2.在led行业中，晶圆加工分为几道工序，其中，剥离工艺是使用牺牲材料(例如光刻胶)在衬底(例如晶片)的表面上产生靶材料的结构(图案化)的方法。当洗去牺牲层(溶剂中的光刻胶)时，顶部的材料被剥离并与下面的牺牲层一起洗涤，该过程通常使用高温及高压溶剂剥离光刻胶及上层覆盖的贵金属(一般为金，银等)，并需要将这些贵金属进行回收再利用。
3.贵金属的直径一般不小于3微米，剥离液再回收过程中需要多级过滤，现有技术中的过滤效率太低，严重的降低了企业的生产效率，且最终收集到的贵金属中仍然存在着大量的剥离液，导致后续清洗作业难度增大，因此我们需要提出一种剥离液生产用多级过滤装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种剥离液生产用多级过滤装置，通过负压装置加快过滤的效率，且负压装置不仅能够加快过滤的速度，且能够减少金属表面残留的剥离液，从而提高剥离液的收集效果，减少资源的浪费，解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种剥离液生产用多级过滤装置，包括过滤基座和多级过滤机构，所述多级过滤机构卡接固定于过滤基座的上端，所述多级过滤机构从上到下依次分为一级过滤机构、二级过滤机构、三级过滤机构和四级过滤机构，所述过滤基座的内部设置孔径为3微米的滤膜，所述过滤基座的下端固定连接有负压装置，所述负压装置出气口的下方设置有收集装置。
6.进一步，所述过滤基座的底部设置有支腿，且所述支腿设置有四组，四组所述支腿位于过滤基座的下端四角。
7.进一步，所述支腿的底部固定安装有橡胶垫，所述橡胶垫设置为防滑橡胶垫，且所述橡胶垫的底部开设有防滑纹。
8.进一步，所述过滤基座设置为圆柱形结构，且所述过滤基座的上端开设有进气口，且所述过滤基座的内部开设有固定面。
9.进一步，所述滤膜的外侧设置有环形安装块，所述滤膜粘合固定于环形安装块的内侧，所述固定面上开设有卡槽，所述环形安装块的下端一体成型有卡块，所述卡槽和卡块均设置有四组，所述滤膜通过环形安装块卡接固定于固定面的上端，且所述环形安装块的下端固定安装有密封垫。
10.进一步，所述一级过滤机构、二级过滤机构、三级过滤机构和四级过滤机构均由过滤网和环形圈所构成，所述过滤网焊接固定于环形圈的内侧，且所述一级过滤机构、二级过
滤机构、三级过滤机构和四级过滤机构中的过滤网的孔径依次减小，且所述四级过滤机构中过滤网孔径鉴于0.5～1mm。
11.进一步，所述一级过滤机构的上端设置有压合盖板，所述压合盖板上开设有四组为四分之一圆形的缺口，所述缺口内安装有防尘布，且所述压合盖板的上端安装有把手。
12.进一步，所述压合盖板的下端一体成型有盖板卡块，且所述一级过滤机构中的环形圈的上端开设有盖板卡槽，所述盖板卡块和盖板卡槽均设置有四组。
13.进一步，所述一级过滤机构、二级过滤机构和三级过滤机构的下端均开设有连接卡槽，所述四级过滤机构的下端开设有过滤卡槽，且所述二级过滤机构、三级过滤机构和四级过滤机构的上端一体成型有连接卡块，所述一级过滤机构、二级过滤机构、三级过滤机构和四级过滤机构之间通过连接卡槽和连接卡块卡接固定，且所述一级过滤机构、二级过滤机构、三级过滤机构和四级过滤机构之间设置有橡胶密封圈。
14.进一步，所述过滤基座的内壁一体成型有四组过滤机构卡块，四组所述过滤机构卡块之间为等距设置，且所述过滤机构卡块位于固定面的上方。
15.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
16.1、本实用新型通过负压装置加快过滤的效率，且负压装置不仅能够加快过滤的速度，且能够减少金属表面残留的剥离液，从而提高剥离液的收集效果，减少资源的浪费。
17.2、本实用新型中的各个组件均采用卡接固定的方式进行连接，各个组件之间通过压合盖板进行压合加固，这样在使用时出现堵塞易于检修，且当一次工作完成后，也能够快速拆卸将产品收集，同时能够快速清洗，大大提高了生产效率。
附图说明
18.图1为本实用新型的结构示意图；
19.图2为本实用新型过滤基座的结构示意图；
20.图3为本实用新型环形安装块的结构示意图；
21.图4为本实用新型压合盖板的结构示意图；
22.图5为本实用新型一级过滤机构的结构示意图；
23.图6为本实用新型二级过滤机构的结构示意图；
24.图7为本实用新型三级过滤机构的结构示意图；
25.图8为本实用新型四级过滤机构的结构示意图。
26.图中：1、过滤基座；2、多级过滤机构；101、滤膜；102、负压装置；103、收集装置；104、支腿；105、橡胶垫；106、固定面；107、环形安装块；108、卡槽；109、卡块；110、密封垫；111、过滤机构卡块；201、一级过滤机构；202、二级过滤机构；203、三级过滤机构；204、四级过滤机构；205、过滤网；206、环形圈；207、压合盖板；208、缺口；209、防尘布；210、把手；211、盖板卡块；212、盖板卡槽；213、连接卡槽；214、连接卡块；215、橡胶密封圈；216、过滤卡槽。
具体实施方式
27.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
28.请参阅图1-8，本实用新型提供一种技术方案：一种剥离液生产用多级过滤装置，包括过滤基座1和多级过滤机构2，过滤基座1的下端固定连接有负压装置102，负压装置102出气口的下方设置有收集装置103，过滤基座1的底部设置有支腿104，且支腿104设置有四组，四组支腿104位于过滤基座1的下端四角，支腿104的底部固定安装有橡胶垫105，橡胶垫105设置为防滑橡胶垫，且橡胶垫105的底部开设有防滑纹，装置整体通过支腿104进行架空，负压装置102设置为风机，风机工作中会产生振动，设置橡胶垫105能够减小振动带来的不良影响；
29.多级过滤机构2卡接固定于过滤基座1的上端，过滤基座1的内壁一体成型有四组过滤机构卡块111，四组过滤机构卡块111之间为等距设置，且过滤机构卡块111位于固定面106的上方；
30.多级过滤机构2从上到下依次分为一级过滤机构201、二级过滤机构202、三级过滤机构203和四级过滤机构204，一级过滤机构201、二级过滤机构202、三级过滤机构203和四级过滤机构204均由过滤网205和环形圈206所构成，过滤网205焊接固定于环形圈206的内侧，且一级过滤机构201、二级过滤机构202、三级过滤机构203和四级过滤机构204中的过滤网205的孔径依次减小，且四级过滤机构204中过滤网205孔径鉴于0.5～1mm，一级过滤机构201中过滤网205孔径不小于10mm，二级过滤机构202和三级过滤机构203中的过滤网205的孔径可以根据剥离液废液中金属大小来自行选择；
31.过滤基座1的内部设置孔径为3微米的滤膜101，过滤基座1设置为圆柱形结构，且过滤基座1的上端开设有进气口，且过滤基座1的内部开设有固定面106，滤膜101的外侧设置有环形安装块107，滤膜101粘合固定于环形安装块107的内侧，固定面106上开设有卡槽108，环形安装块107的下端一体成型有卡块109，卡槽108和卡块109均设置有四组，滤膜101通过环形安装块107卡接固定于固定面106的上端，且环形安装块107的下端固定安装有密封垫110；
32.一级过滤机构201的上端设置有压合盖板207，压合盖板207设置铅质材料，质量大，能够将多级过滤机构2压合的严丝合缝，防止剥离液从多级过滤机构2之间的缝隙中溢出，同时提高负压装置102运行时的稳定性，压合盖板207上开设有四组为四分之一圆形的缺口208，缺口208内安装有防尘布209，防尘布209可以在进风过程中减小杂质污染所得物，且压合盖板207的上端安装有把手210，压合盖板207的下端一体成型有盖板卡块211，且一级过滤机构201中的环形圈206的上端开设有盖板卡槽212，盖板卡块211和盖板卡槽212均设置有四组；
33.一级过滤机构201、二级过滤机构202、三级过滤机构203的下端均开设有连接卡槽213，四级过滤机构204的下端开设有过滤卡槽216，且二级过滤机构202、三级过滤机构203和四级过滤机构204的上端一体成型有连接卡块214，一级过滤机构201、二级过滤机构202、三级过滤机构203和四级过滤机构204之间通过连接卡槽213和连接卡块214卡接固定，且一级过滤机构201、二级过滤机构202、三级过滤机构203和四级过滤机构204之间设置有橡胶密封圈215；
34.本装置在使用时需要先将各个组件卡好，然后将剥离液倒入多级过滤机构2中的一级过滤机构201，然后盖上压合盖板207启动负压装置102，不同颗粒的废料会被多级过滤
机构2分级过滤，贵重的金属泥会残留在过滤基座1上的滤膜101上，通过负压装置102加快过滤的效率，且负压装置102不仅能够加快过滤的速度，且能够减少金属表面残留的剥离液，从而提高剥离液的收集效果，减少资源的浪费。
35.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。