一种超纯水制备系统和超纯水制备方法与流程

1.本发明涉及超纯水制备技术领域，具体为一种超纯水制备系统和超纯水制备方法。


背景技术：

2.超纯水常用于集成电路工业中，用于半导体原材料的清洗，光刻掩膜板的制备，同时超纯水也是实验室中使用最多的物质，在仪器分析，高纯分析及配制化学试剂过程中，所使用的水的纯度非常重要，水中多余离子和可溶性有机物及杂质会对实验分析造成干扰，导致检测结果不准确，无法得到理想的实验结果。
3.但是现有的超纯水制备系统对纯水制备过程比较复杂，需要经过较多的工序，从而导致生产的过程需要花费成本较高，目前的制备系统制备出来的超纯水纯度较差，在后期使用时，使用效果较差。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种超纯水制备系统和超纯水制备方法，以解决上述背景技术中提出的现有的超纯水制备系统对纯水制备过程比较复杂，需要经过较多的工序，从而导致生产的过程需要花费成本较高，目前的制备系统制备出来的超纯水纯度较差，在后期使用时，使用效果较差的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种超纯水制备系统，包括原水箱、过滤杀菌装置、mcdi水处理装置、反渗透装置、edi电除盐设备和超纯水检测装置；
6.原水箱：用来储存未处理的水；
7.过滤杀菌装置：对原水进行初步杀菌，对内部的较大固体颗粒和细菌进行过滤；
8.mcdi水处理装置：对初步处理后的水进行去离子处理；
9.反渗透装置：对去离子处理后的水进行反渗透处理，反渗透装置是将原水经过精细过滤器、颗粒活性碳过滤器、压缩活性碳过滤器,再通过泵加压，利用孔径为1/10000μm的反渗透膜，使较高浓度的水变为低浓度水，同时将工业污染物、重金属、细菌、病毒等大量混入水中的杂质全部隔离，从而达到饮用规定的卫生标准；
10.edi电除盐设备：edi电除盐设备能够通过电磁场通过阴、阳离子交换膜对阴、阳离子的选择性透过作用与离子交换树脂对离子的交换作用，在直流电场的作用下实现离子的定向迁移，从而完成水的深度除盐；
11.超纯水检测装置：对处理后的水进行水质检测，检测其电导率、比电阻、可氧化物质、吸光度、蒸发残渣和可溶性硅，判断其是否符合超纯水的标准。
12.优选的，所述过滤杀菌装置包括精密过滤装置、紫外线杀菌装置和氯气消毒装置，所述紫外线杀菌装置设置在精密过滤装置的后端，所述氯气消毒装置设置在所述紫外线杀菌装置的后端，所述精密过滤装置与原水箱的后端连接。
13.优选的，所述两个石墨纸、阴离子交换膜和阳离子交换膜，所述阴离子交换膜和阳
离子交换膜设置在两个所述石墨纸之间。
14.优选的，所述反渗透装置包括一级反渗透装置和二级反渗透装置，所述一级反渗透装置和二级反渗透装置的内部均固定设置有ph检测装置和ph调节装置。
15.优选的，所述edi电除盐设备的内部固定设置有多级树脂层和囊实过滤器。
16.一种超纯水制备方法，该超纯水制备方法的具体步骤流程包括：
17.步骤一：首先将原水箱内部的原水通入过滤杀菌装置的内部，通过精密过滤装置对内部较大固体颗粒进行直接过滤，过滤完成后，通过紫外线杀菌装置对其进行杀菌消毒，其次再通入氯气消毒装置，向原水中通入氯气，混合搅拌，使氯气与水反应生成次氯酸对内部的细菌和杂物进行再次杀菌消毒；
18.步骤二：将杀菌后的水通入mcdi水处理装置的内部，对水进行去离子处理；
19.步骤三：将步骤二处理后的水通入反渗透装置，通过一级反渗透装置和二级反渗透装置，通过泵加压，利用孔径为1/10000μm的反渗透膜，使较高浓度的水变为低浓度水，同时将工业污染物、重金属、细菌、病毒等大量混入水中的杂质全部隔离，然后对处理后的水进行ph检测，并进行酸碱中和调节；
20.步骤四：将步骤三处理后的水通入edi电除盐设备，通过电磁场通过阴、阳离子交换膜对阴、阳离子的选择性透过作用与离子交换树脂对离子的交换作用，在直流电场的作用下实现离子的定向迁移，从而完成水的深度除盐；
21.步骤五：最后通过超纯水检测装置对水各项超纯水标准进行检测，使电导率《0.01ms/m，比电阻》10mω/cm,可氧化物质《0.08mg/l，蒸发残渣《1mg,可溶性硅《0.01，即可达到超纯水的标准。
22.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
23.该超纯水制备系统通过原水箱、过滤杀菌装置、mcdi水处理装置、反渗透装置、edi电除盐设备和超纯水检测装置共同组成，结构简单，超纯水制备的过程比较容易，且该系统通过对原水进行多次杀菌，并通过mcdi水处理装置、反渗透装置和edi电除盐设备对水进行处理，制备的超纯水纯度更好，使各项标准符合超纯水的一级标准，从而更加有利于超纯水后期的使用。
附图说明
24.图1为超纯水制备系统结构组成图；
25.图2为超纯水制备系统步骤流程图。
具体实施方式
26.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
27.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以
特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
28.实施例一：
29.请参阅图1-2，本发明提供一种技术方案：一种超纯水制备系统，包括原水箱、过滤杀菌装置、mcdi水处理装置、反渗透装置、edi电除盐设备和超纯水检测装置；
30.原水箱：用来储存未处理的水；
31.过滤杀菌装置：对原水进行初步杀菌，对内部的较大固体颗粒和细菌进行过滤；
32.mcdi水处理装置：对初步处理后的水进行去离子处理；
33.反渗透装置：对去离子处理后的水进行反渗透处理，反渗透装置是将原水经过精细过滤器、颗粒活性碳过滤器、压缩活性碳过滤器,再通过泵加压，利用孔径为1/10000μm的反渗透膜，使较高浓度的水变为低浓度水，同时将工业污染物、重金属、细菌、病毒等大量混入水中的杂质全部隔离，从而达到饮用规定的卫生标准；
34.edi电除盐设备：edi电除盐设备能够通过电磁场通过阴、阳离子交换膜对阴、阳离子的选择性透过作用与离子交换树脂对离子的交换作用，在直流电场的作用下实现离子的定向迁移，从而完成水的深度除盐；
35.超纯水检测装置：对处理后的水进行水质检测，检测其电导率、比电阻、可氧化物质、吸光度、蒸发残渣和可溶性硅，判断其是否符合超纯水的标准。
36.所述过滤杀菌装置包括精密过滤装置、紫外线杀菌装置和氯气消毒装置，所述紫外线杀菌装置设置在精密过滤装置的后端，所述氯气消毒装置设置在所述紫外线杀菌装置的后端，所述精密过滤装置与原水箱的后端连接。
37.所述两个石墨纸、阴离子交换膜和阳离子交换膜，所述阴离子交换膜和阳离子交换膜设置在两个所述石墨纸之间。
38.所述反渗透装置包括一级反渗透装置和二级反渗透装置，所述一级反渗透装置和二级反渗透装置的内部均固定设置有ph检测装置和ph调节装置。
39.所述edi电除盐设备的内部固定设置有多级树脂层和囊实过滤器。
40.一种超纯水制备方法，该超纯水制备方法的具体步骤流程包括：
41.步骤一：首先将原水箱内部的原水通入过滤杀菌装置的内部，通过精密过滤装置对内部较大固体颗粒进行直接过滤，过滤完成后，通过紫外线杀菌装置对其进行杀菌消毒，其次再通入氯气消毒装置，向原水中通入氯气，混合搅拌，使氯气与水反应生成次氯酸对内部的细菌和杂物进行再次杀菌消毒；
42.步骤二：将杀菌后的水通入mcdi水处理装置的内部，对水进行去离子处理；
43.步骤三：将步骤二处理后的水通入反渗透装置，通过一级反渗透装置和二级反渗透装置，通过泵加压，利用孔径为1/10000μm的反渗透膜，使较高浓度的水变为低浓度水，同时将工业污染物、重金属、细菌、病毒等大量混入水中的杂质全部隔离，然后对处理后的水进行ph检测，并进行酸碱中和调节；
44.步骤四：将步骤三处理后的水通入edi电除盐设备，通过电磁场通过阴、阳离子交换膜对阴、阳离子的选择性透过作用与离子交换树脂对离子的交换作用，在直流电场的作用下实现离子的定向迁移，从而完成水的深度除盐；
45.步骤五：最后通过超纯水检测装置对水各项超纯水标准进行检测，使电导率《0.01ms/m，比电阻》10mω/cm,可氧化物质《0.08mg/l，蒸发残渣《1mg,可溶性硅《0.01，即可
达到超纯水的标准。
46.以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明；因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
47.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。