载体清洗装置的制作方法

本发明涉及一种载体清洗装置，更具体地，涉及一种用于清洗载体的载体清洗装置，该载体用于容置晶圆或微电子元器件、半导体元器件、平板显示器、led等。

背景技术：

1、载体(carrier)采用：用于运输及储存基板或微电子元器件的前开式运输盒(front opening shipping box；以下称作“fosb”)；以及不仅用于运输和储存，还可以用于实施工程的前开式一体传送盒(front open unified pod；以下称作“foup”)等。例如，加工300mm直径基板的装置中，移送基板时，采用可容置基板的foup。通常，载体由载体本体以及载体罩组成，该载体罩为所述本体提供超洁净的内部环境，以便于密封所述本体，储存和搬运基板。基板通过可插入本体内的暗盒或设于载体内的搁置板实现承载。

2、载体暴露在杂质中，即，颗粒状物质以及空气中分子污染物等多种污染源中。基板置于载体内或长时间存储载体时，其污染源会渗透到载体内，因此，需要将其定期清洗。

3、传统的载体清洗装置将通过分离载体和载体罩的拆机工具(opener)分离的本体和载体罩，分别装入(loading)一个腔体(chamber)的上部及下部，经过一定的清洗时间之后，拆下(unloading)完成清洗。

4、可实际上，清洗载体的过程中，即使载体本体的清洗方法、条件及时间不同于载体罩的清洗方法、条件及时间，但，启用同一个腔体清洗时，即便不合理，也需要同时清洗载体罩和本体。清洗多个载体时，由于方法和条件不同，必然会给清洗和烘干时间造成影响，最终，还会直接影响到清洗工作效率。

5、即，传统的清洗装置中，虽然载体罩的清洗及烘干时间短，但，与本体的清洗及烘干时间并行，因此，会延误载体的清洗时间，降低清洗效率，导致工作效率低。

6、另外，传统技术为了解决上述问题，曾经提出过‘载体清洗装置及载体清洗方法(韩国注册专利10-1551545)’。

7、图1是前开式一体传送盒载体的斜视图，图2是传统载体清洗装置的斜视图。

8、如图1至图2所示，传统的‘载体清洗装置及载体清洗方法’将载体本体和载体罩分离开分别单独清洗，从而缩短载体的清洗时间，提高清洗效率，并且，清洗多个载体时，单位时间工作效率高。

9、但，所述传统的‘载体清洗装置及载体清洗方法’并列排布多个本体和载体罩，以便于清洗，但，由于载体只可以容纳一组的本体和载体罩，相对地，清洗本体耗时更长。由于只可以容纳各1个本体和载体罩进行清洗，其结果，只能按照本体的清洗完毕时间进行设置，因此，清洗多个载体耗时会更长。

10、另外，传统载体清洗装置中，喷射清洗液的喷嘴仅仅是固定在一侧的结构，由从一方向喷射的结构组成，这种结构在清洗形状复杂的清洗物时，清洗效率低，耗时长，特别是，载体的本体还要清洗外部表面和内部空间，而内部空间形状复杂，要彻底清洗内部空间的每一处，会有难度。因此，迫切需要改善喷嘴的结构，以提高清洗效率。

技术实现思路

1、本发明的目的在于，解决上述问题，提供一种载体清洗装置，其鉴于本体清洗耗时更长，使本体比载体罩容纳更多，从而在清洗多个载体时，使单位时间工作效率高。鉴于载体形状复杂，改善清洗液喷嘴，以便于将清洗液喷射至表面及内部空间的每一处。使载体的本体不采取固定的形态，而是根据清洗液喷射角度呈倾斜状，从而提高清洗效果。

2、为了达到本发明的上述目的，根据本发明技术思想一实施例的载体清洗装置其包括：用于清洗载体的清洗装置中，具有：载体罩腔体、第一转动单元、第一推拉单元和第一喷嘴；载体罩清洗部，包括：载体罩腔体，其内部具有空间，上部开放，容置载体罩；第一转动单元，其设于所述载体罩腔体的上部，转动所述载体罩；第一推拉单元，其上下移动，以便于将所述载体罩容置于所述载体罩腔体或者从所述载体罩腔体排出；第一喷嘴，其设于所述载体罩腔体的内部，向所述载体罩喷射清洗液；本体清洗部，具有：本体腔体、第二转动单元、第二推拉单元和第二喷嘴；本体腔体，其设于所述载体罩清洗部的下侧，内部具有空间，上部开放，容置至少两个本体；第二转动单元，其设于所述本体腔体的上部，转动所述本体；第二推拉单元，其上下移动，以便于将所述本体容置于所述本体腔体或者从所述本体腔体排出；第二喷嘴，其设于所述本体腔体的内部，向所述本体喷射清洗液；以及壳体，其提供所述载体罩清洗部和所述本体清洗部的设置空间，以便于从外部保护起来。

3、并且，所述本体腔体容置至少两个本体，可以使至少两个本体竖向排成一列。

4、并且，所述本体腔体容置至少两个本体，可以设置有两个独立空间，以便于以隔离的状态分别容置一个本体。

5、并且，所述本体腔体具备空间，一个内部空间可以同时容置至少两个本体。

6、并且，所述第一转动单元具备用于吸附所述载体罩的真空吸附部。所述载体罩以被所述真空吸附部吸附的状态，通过所述第一转动单元进行转动。所述第二转动单元具备用于装配所述本体的载置台。所述本体以装配于所述载置台的状态，通过所述第二转动单元进行转动。

7、并且，所述载置台包括：至少两个装配板以及相隔一定间距地连接至少两个所述装配板的多个连杆，以使至少两个本体竖向排成一列。

8、并且，所述第一喷嘴水平配置在所述载体罩腔体的下部，呈沿着长度方向延伸的管状，相隔一定间距具备多个第一喷吐口，通过第一转动手段进行转动。

9、并且，所述第一喷嘴通过所述第一转动手段进行转动，其可以通过控制，沿着与所述载体罩的转动方向相反的方向进行转动，该载体罩通过所述第一转动单元进行转动。所述第一喷吐口与水平面相对地设置45°至70°范围的角度，以便于斜向喷吐出清洗液。

10、并且，所述第一喷嘴中，多个所述第一喷吐口穿出多种直径的孔，不同直径的孔可以在设定角度内设置成不同角度。

11、并且，所述第二喷嘴垂直配置在所述本体腔体的侧面，呈沿着长度方向延伸的管状，相隔一定间距具备多个第二喷吐口，通过第二转动手段，沿着所述本体腔体的内周面进行转动。

12、并且，所述第二喷嘴中，多个所述第二喷吐口穿出多种直径的孔，不同直径的孔可以设置成不同角度。

13、并且，所述第二转动手段设于所述本体腔体的内部，并包括：轨条，其提供移动路径，以使所述第二喷嘴沿着所述本体腔体的内部侧面进行转动；以及驱动部，其设于所述第二喷嘴的一侧提供驱动力，以使所述第二喷嘴在所述轨条上移动。

14、并且，所述第二喷嘴相向设置在所述本体腔体内的两侧。

15、并且，所述载置台的装配板上部进一步具备倾斜度设置部，该倾斜度设置部使装配于所述装配板的载体的本体倾斜至设定角度。

16、并且，所述倾斜度设置部可以设置成：使载体的本体在被装配的状态下，选择性地倾斜向一侧方向或者另一侧方向，该载体装配于所述载置台的装配板上部。

17、并且，所述载置台的装配板上部进一步具备支撑部，该支撑部支持本体一侧，以免由于所述倾斜度设置部倾斜的载体的本体的倾斜度超出设定角度而倾倒。

18、并且，所述第二喷嘴可变地变更所述第二喷吐口的孔的角度，该角度对应于：由于所述倾斜度设置部倾斜的载体的本体的倾斜角度。

19、根据本发明的载体清洗装置鉴于本体清洗耗时更长，使本体比载体罩容纳更多，从而在清洗多个载体时，使单位时间工作效率高。鉴于载体形状复杂，改善清洗液喷嘴，以便于将清洗液喷射至表面及内部空间的每一处。使载体的本体不采取固定的形态，而是根据清洗液喷射角度呈倾斜状，从而提高清洗效果。