掩模版侧边清洗装置的制作方法

1.本发明涉及掩模版清洗领域，具体涉及一种掩模版侧边清洗装置。


背景技术：

2.光刻掩模版(又称光罩，英文为mask reticle)，简称掩模版，是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩模图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。
3.掩模版在生产过程中，工序众多，掩模版在生产及转运过程中，侧边会滞留杂质颗粒及光刻胶等等，但是现有的掩模版清洗装置大多是针对掩模版的上下表面的，不能对掩模版的侧边进行清洗，这就导致掩模版存在清洗死角。所以亟需研发一种可以对掩模版侧边进行清洗的装置。


技术实现要素：

4.本发明要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种掩模版侧边清洗装置，它可以高效地对掩模版侧边进行清洗。
5.为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种掩模版侧边清洗装置，包括：
6.支撑旋转机构，用于支撑掩模版并带动掩模版转动相应角度；
7.夹紧机构，用于夹紧掩模版的一对侧边；
8.清洗机构，用于在所述夹紧机构夹紧掩模版的一组侧边后清洗所述掩模版的另一对侧边。
9.进一步提供了一种清洗机构的具体结构，所述清洗机构包括：
10.对置的两个清洗组件，所述清洗组件包括刷板辊、刷板辊旋转驱动机构和刷板辊移动驱动机构，所述刷板辊旋转驱动机构与所述刷板辊相连，以驱动所述刷板辊旋转，所述刷板辊移动驱动机构与所述刷板辊旋转驱动机构相连，用于驱动所述刷板辊旋转驱动机构及刷板辊朝向或背向掩模版移动；
11.喷液组件，包括喷头伸缩驱动机构和喷头，所述喷头伸缩驱动机构与所述喷头相连，用于驱动所述喷头伸出或缩回，所述喷头用于在伸出的情况下朝向两个刷板辊的相对的辊面喷清洗液。
12.进一步提供了一种夹紧机构的具体结构，所述夹紧机构包括对置的两个夹紧组件，所述夹紧组件包括：
13.夹紧件，所述夹紧件靠近掩模版侧开设有用于抵紧掩模版的v形槽；
14.夹紧件移动驱动机构，所述夹紧件移动驱动机构与所述夹紧件相连，用于驱动所述夹紧件朝向或背向掩模版移动。
15.进一步提供了一种支撑旋转机构的具体结构，所述支撑旋转机构包括：
16.卡盘，开有通孔；
17.支撑机构，旋转安装在所述通孔内，用于支撑所述掩模版；
18.掩模版旋转驱动机构，与所述支撑机构相连，用于驱动所述支撑机构旋转。
19.进一步为了方便支撑旋转机构承接掩模版，掩模版侧边清洗装置还包括升降机构，所述升降机构连接所述支撑旋转机构，用于驱动所述支撑旋转机构升降。
20.进一步为了防止掩模版旋转驱动机构及升降机构内进入清洗液，掩模版侧边清洗装置还包括台面板和波纹管，所述波纹管的上端部与所述卡盘的周向部密封连接，下端部与所述台面板密封连接，被配置为向所述卡盘提供升降自由度，所述掩模版旋转驱动机构及所述升降机构均位于所述所述波纹管所罩的空间内。
21.进一步为了在保证支撑强度的前提下减少与掩模版的接触面积，所述支撑机构具有至少三个沿周向均布并用于共同支撑所述掩模版的支撑杆，所述支撑杆呈朝下弯折的勾状，所述勾状的最高点平滑过渡，并用于接触所述掩模版。
22.进一步为了防止液体飞溅，掩模版侧边清洗装置还包括挡液罩，所述支撑旋转机构位于所述挡液罩内，所述夹紧机构和所述清洗机构的至少一部分穿过所述挡液罩的周壁伸入所述挡液罩内。
23.进一步为了在不干涉取放掩模版的前提下保证挡液效果，掩模版侧边清洗装置还包括挡液罩伸缩驱动机构，所述挡液罩的上端部为可伸缩段，所述挡液罩伸缩驱动机构与所述可伸缩段相连，用于驱动所述可伸缩段上下伸缩。
24.采用上述技术方案后，本发明具有以下有益效果：
25.1、把掩模版放在支撑旋转机构上，夹紧机构动作，夹紧掩模版的一对侧边，然后清洗机构对掩模版的另一对侧边进行清洗，清洗结束后，支撑旋转机构1带动掩模版旋转90度，夹紧机构重新夹紧掩模版，清洗机构再对掩模版剩余的一对侧边进行清洗，本发明可以很好地对掩模版侧边进行清洗，且清洗速度快；
26.2、刷板辊在刷板辊移动驱动机构的驱动下移动到掩模版侧边位置，喷头在喷头伸缩驱动机构的驱动下伸到清洗液可以覆盖到整个刷板辊的朝向掩模版的辊面部分的位置，本发明的清洗机构采用刷板辊和喷头配合的方式清洗侧边，喷头向刷板辊喷洒相应的清洗液，刷板辊旋转刷洗掩模版侧边，这种清洗机构及清洗方式，清洁力高，能清洗掉顽固颗粒杂质及光刻胶，且清洗速度快，清洗效果好；
27.3、本实施例中的夹紧件通过其v形槽抵紧掩模版，v形槽是与掩模版的棱边线接触，接触面积小，且可以避开掩模版的上下表面，以防止损伤掩模版的上下表面，这种机构的夹紧组件夹持得比较稳固；
28.4、本发明能有效防止清洗液进入升降机构及支撑旋转机构内部，还能很好地防止清洗液飞溅。
附图说明
29.图1为本发明的掩模版侧边清洗装置的结构示意图；
30.图2为本发明的掩模版侧边清洗机构的剖视图；
31.图3为本发明的清洗组件的结构示意图；
32.图4为本发明的清洗组件的刷板辊和刷板辊旋转驱动机构的结构示意图；
33.图5为本发明的夹紧组件的结构示意图。
具体实施方式
34.为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明。
35.如图1、2、3、4、5所示，一种掩模版侧边清洗装置，包括：
36.支撑旋转机构1，用于支撑掩模版2并带动掩模版2转动相应角度；
37.夹紧机构3，用于夹紧掩模版2的一对侧边；
38.清洗机构4，用于在所述夹紧机构3夹紧掩模版2的一组侧边后清洗所述掩模版2的另一对侧边。
39.具体地，把掩模版2放在支撑旋转机构1上，夹紧机构3动作，夹紧掩模版2的一对侧边，然后清洗机构4对掩模版2的另一对侧边进行清洗，清洗结束后，支撑旋转机构1带动掩模版2旋转90度，夹紧机构3重新夹紧掩模版2，清洗机构4再对掩模版2剩余的一对侧边进行清洗，本实施例中的掩模版侧边清洗装置可以很好地对掩模版2侧边进行清洗，且清洗速度快。
40.如图1、2、3、4、5所示，所述清洗机构4包括：
41.对置的两个清洗组件，所述清洗组件包括刷板辊41、刷板辊旋转驱动机构42和刷板辊移动驱动机构43，所述刷板辊旋转驱动机构42与所述刷板辊41相连，以驱动所述刷板辊41旋转，所述刷板辊移动驱动机构43与所述刷板辊旋转驱动机构42相连，用于驱动所述刷板辊旋转驱动机构42及刷板辊41朝向或背向掩模版2移动；
42.喷液组件，包括喷头伸缩驱动机构44和喷头45，所述喷头伸缩驱动机构44与所述喷头45相连，用于驱动所述喷头45伸出或缩回，所述喷头45用于在伸出的情况下朝向两个刷板辊41的相对的辊面喷清洗液。
43.具体地，刷板辊41在刷板辊移动驱动机构43的驱动下移动到掩模版2侧边位置，喷头45在喷头伸缩驱动机构44的驱动下伸到清洗液可以覆盖到整个刷板辊41的朝向掩模版2的辊面部分的位置，本实施例的清洗机构4采用刷板辊41和喷头45配合的方式清洗侧边，喷头45向刷板辊41喷洒相应的清洗液，刷板辊41旋转刷洗掩模版2侧边，这种清洗机构4及清洗方式，清洁力高，能清洗掉顽固颗粒杂质及光刻胶，且清洗速度快，清洗效果好。
44.在本实施例中，喷液组件具有2个，两个喷头45的伸缩方向垂直于刷板辊41的移动方向。每个喷头组件对应一个刷板辊41，所述喷头45为扇形喷头。这种喷头45喷液均匀。所述刷板辊移动驱动机构43可以选用电缸、气缸等。所述刷板辊41旋转支承在一个安装板上，所述刷板辊旋转驱动机构42可选用电机，电机的机体安装在安装板上，输出轴通过传动机构与刷板辊41传动连接，传动机构包括传动带和若干传动轮。所述刷板辊41的辊面上设有多个柔性刷头。
45.如图1、2、5所示，所述夹紧机构3包括对置的两个夹紧组件，所述夹紧组件包括：
46.夹紧件31，所述夹紧件31靠近掩模版2侧开设有用于抵紧掩模版2的v形槽；
47.夹紧件移动驱动机构32，所述夹紧件移动驱动机构32与所述夹紧件31相连，用于驱动所述夹紧件31朝向或背向掩模版2移动。
48.具体地，本实施例中的夹紧件31通过其v形槽抵紧掩模版2，v形槽是与掩模版2的棱边线接触，接触面积小，且可以避开掩模版2的上下表面，以防止损伤掩模版2的上下表面。这种机构的夹紧组件夹持得比较稳固。
49.在本实施例中，两个夹紧组件对置，两个清洗组件也对置，两个夹紧组件所在直线垂直于两个清洗组件所在直线，整个掩模版侧边清洗装置结构布置合理。所述夹紧件移动驱动机构32可以采用气缸或电缸等等。
50.如图2所示，所述支撑旋转机构1包括：
51.卡盘11，开有通孔；
52.支撑机构12，旋转安装在所述通孔内，用于支撑所述掩模版2；
53.掩模版旋转驱动机构13，与所述支撑机构12相连，用于驱动所述支撑机构12旋转。
54.如图2所示，掩模版侧边清洗装置还包括升降机构5，所述升降机构5连接所述支撑旋转机构1，用于驱动所述支撑旋转机构1升降。通过升降机构5驱动支撑旋转机构1上升，以方便承接机械手送过来的掩模版2，再通过升降机构5驱动支撑旋转机构1下降，使得掩模版2下降至与夹紧机构3相齐平的位置，进而使得夹紧机构3可以很好地夹持掩模版2。
55.如图1、2所示，掩模版侧边清洗装置还包括台面板6和波纹管7，所述支撑机构12密封旋转安装在所述通孔内，所述波纹管7的上端部与所述卡盘11的周向部密封连接，下端部与所述台面板6密封连接，被配置为向所述卡盘11提供升降自由度，所述掩模版旋转驱动机构13及所述升降机构5均位于所述所述波纹管7所罩的空间内。清洗液具有腐蚀性，如此设置，可有效避免清洗液进入支撑旋转机构1及升降机构5内部，避免支撑旋转机构1及升降机构5受到腐蚀。
56.在本实施中，为了减少整个掩模版侧边清洗装置超出台面板6的高度，所述台面板6上开设有安装孔，升降机构5安装在台面板6下方，所述波纹管7围于安装孔外周。掩模版旋转驱动机构13安装在一安装板上，所述安装板穿过所述安装孔，所述升降机构5与所述安装板相连以驱动升降。
57.在本实施例中，所述清洗机构4和所述夹紧机构3分别通过支撑柱安装在台面板6上。
58.如图2所示，所述支撑机构12具有至少三个沿周向均布并用于共同支撑所述掩模版2的支撑杆121，所述支撑杆121呈朝下弯折的勾状，所述勾状的最高点平滑过渡，并用于接触所述掩模版2。如此设置，一方面，可以尽可能减少支撑机构12与掩模版2的接触面积，防止掩模版2受损或脏污，另一方面，可以保证支撑杆121支撑强度。所述勾状的最高点平滑过渡，进一步防止掩模版2损伤。
59.如图1、2所示，掩模版侧边清洗装置还包括挡液罩8，所述支撑旋转机构1位于所述挡液罩8内，所述夹紧机构3和所述清洗机构4的至少一部分穿过所述挡液罩8的周壁伸入所述挡液罩8内。设置挡液罩8，可以有效避免清洗液外溅，可以保证车间环境，也可能防止夹紧机构3和清洗机构4的部分动力元件受到腐蚀。
60.如图1、2所示，掩模版侧边清洗装置还包括挡液罩伸缩驱动机构9，所述挡液罩8的上端部为可伸缩段，所述挡液罩伸缩驱动机构9与所述可伸缩段相连，用于驱动所述可伸缩段上下伸缩。
61.具体地，在通过机械手取放掩模版2的过程中，挡液罩伸缩驱动机构9驱动可伸缩段缩回，避免干涉到机械手工作，在清洗掩模版2的过程中，挡液罩伸缩驱动机构9驱动可伸缩段伸出，进而防止清洗液从挡液罩8上端开口飞溅出去，防溅效果好。
62.在本实施例中，所述挡液罩伸缩驱动机构9可以选用气缸，也可以选用液压杆等
等。
63.以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。