一种用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置的制作方法

1.本实用新型涉及清洗设备技术领域，具体涉及一种用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置。


背景技术：

2.随着大规模集成电路的发展,集成度的不断提高,线宽的不断减小,对硅片的质量要求也越来越高,特别是对硅抛光片的表面质量要求越来越严，在硅晶体管和集成电路生产中,几乎每道工序都有硅片清洗的问题,硅片清洗的好坏对器件性能有严重的影响,处理不当,可能使全部硅片报废,做不出管子来,或者制造出来的器件性能低劣,稳定性和可靠性很差，硅片清洗不管是对于从硅片加工的人,还是对于从事半导体器件生产的人来说都有着重要的意义。
3.现有的硅片喷淋清洗的工艺较为简单，仅仅是通过固定的喷淋头清洗硅片，清洗效果并不是很好，硅片清洗不够干净，造成清洗效果较差的问题，故而提出了一种用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型提供一种用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置，不仅可以从上部和两侧动态清洗硅片，而且可以摆动冲洗，对硅片各个角度进行清洗，清洗效果好。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置，包括喷淋箱和设置在喷淋箱体底部的排水槽，喷淋箱为上端敞开的长方体结构，在喷淋箱的两侧壁上均匀间隔设置若干转动喷淋管，在喷淋箱的上端水平设置移动喷淋管，在移动喷淋管的两端分别连接第一转轴和第二转轴，第一转轴的外端转动连接驱动机构，第二转轴的外端通过轴承滑动连接第一支撑板，轴承的外侧设置燕形滑轨，第一支撑板的内侧开设与燕形滑轨相适配的燕形滑槽。
6.优选的，驱动机构包括套设在第一转轴外侧的移动板，移动板的外侧设置设备室，自由滑穿移动板的第一转轴外端连接第一从动齿轮，在第一从动齿轮下方的左右两侧分别设置相互啮合的第二从动齿轮和第一主动齿轮，第一主动齿轮的转轴连接在第一电动机的输出端上，在第一主动齿轮和第二从动齿轮的外侧均匀间隔设置若干用于拨动第一从动齿轮转动的拨杆。
7.优选的，移动板的下方水平开设螺纹孔，螺纹孔内转动连接传动蜗杆，传动蜗杆的前端设置第三从动齿轮，在传动蜗杆的下方设置第二支撑板，第二支撑板的上端设置第二电动机，所诉第三从动齿轮由第二电动机驱动转动，在传动蜗杆的两端分别设置带有轴孔的支撑柱，支撑柱的底部固定在第二支撑板上，第一支撑板和第二支撑板均固定在喷淋箱的外侧壁上。
8.优选的，在转动喷淋管和移动喷淋管的外侧均匀间隔开设若干喷水口，转动喷淋管两端设置限位环，限位环的上下两端通过螺栓固定在喷淋箱的内壁上，转动喷淋管的两
侧连接旋钮用于调节喷淋角度。
9.优选的，在排水槽内设置过滤网，排水槽的上端开设卡槽，在过滤网两侧的上端设置与卡槽相适配的卡块，在排水槽外侧的喷淋箱上开设用于安装过滤网的滑孔。
10.综上，与现有技术相比，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
11.1、本实用新型，通过设备室内的第一电动机带动第一主动齿轮与第二从动齿轮相啮合转动，第一主动齿轮和第二从动齿轮上的拨杆间歇带动第一从动齿轮转动，从而带动喷淋箱顶部的移动喷淋管上的喷水口做圆弧摆动冲洗硅片，对硅片各个角度进行清洗，清洗效果好。
12.2、本实用新型，通过第二电动机输出端的第二主动齿轮带动传动蜗杆上的第三从动齿轮转动，传动蜗杆带动移动板移动，移动板上的移动喷淋管沿着燕形滑槽水平移动，进一步实现动态清洗，更均匀的清洗硅片，保证硅片上的残留物的去除，提高清洗效率。
13.3、本实用新型，通过将带有卡块的过滤网从滑孔卡入卡槽中，实现过滤网的便捷拆卸，对喷淋污水带出的废料起到了过滤的效果，避免了废料进入下水管造成堵塞，影响排水。
附图说明
14.图1为本实用新型用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置的结构示意图；
15.图2为图1中a的局部结构放大示意图；
16.图3为本实用新型中第一从动齿轮和第一主轮齿轮的结构示意图；
17.图4为本实用新型用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置的俯视结构示意图。
18.100、喷淋箱；101、排水槽；102、转动喷淋管；103、移动喷淋管；104、第一转轴；105、第二转轴；106、燕形滑轨；107、轴承；108、第一支撑板；109、燕形滑槽；110、喷水口；111、螺栓；112、限位环；113、过滤网；114、卡槽；115、卡块；116、滑孔；117、旋钮；200、驱动机构；201、移动板；202、设备室；203、第一从动齿轮；204、第二从动齿轮；205、第一主动齿轮；206、第一电动机；207、螺纹孔；208、传动蜗杆；209、第三从动齿轮；210、第二支撑板；211、第二电动机；212、拨杆；213、支撑柱；214、第二主动齿轮。
具体实施方式
19.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图1-4，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.如图1-4所示：本实施例提供了一种用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置，包括喷淋箱100和设置在喷淋箱100体底部的排水槽101，喷淋箱100为上端敞开的长方体结构，在喷淋箱100的两侧壁上均匀间隔设置若干转动喷淋管102，在喷淋箱100的上端水平设置移动喷淋管103，在移动喷淋管103的两端分别连接第一转轴104和第二转轴105，第一转轴104的外端转动连接驱动机构200，第二转轴105的外端通过轴承107滑动连接第一支撑板108，轴承107的外侧设置燕形滑轨106，第一支撑板108的内侧开设与燕形滑轨106相适配的燕形滑槽109。
21.根据本实用新型的一个实施例，如图1-4所示，
22.转动喷淋管102和移动喷淋管103的外侧均匀间隔开设若干喷水口110，转动喷淋管102两端设置限位环112，限位环112的上下两端通过螺栓111固定在喷淋箱100的内壁上，在喷淋箱100的外侧壁上设置用于支撑驱动机构200的第一支撑板108和用于支撑移动喷淋管103外端的第二支撑板210。
23.根据本实用新型的另一个实施例，如图1和图2所示，
24.在第一转轴104外侧套设移动板201，移动板201的外侧设置设备室202，自由滑穿移动板201的第一转轴104外端连接第一从动齿轮203，在第一从动齿轮203下方的左右两侧分别设置相互啮合的第二从动齿轮204和第一主动齿轮205，第一主动齿轮205的转轴连接在第一电动机206的输出端上。
25.在本实用新型的一个实施例中，如图1和图3所示，
26.第一主动齿轮205和第二从动齿轮204的外侧均匀间隔设置若干拨杆212用于拨动第一从动齿轮203转动。
27.在本实用新型的另一个实施例中，如图1和图4所示，
28.在移动板201的下方水平开设螺纹孔207，螺纹孔207内转动连接传动蜗杆208，传动蜗杆208的前端设置第三从动齿轮209，在传动蜗杆208的下方设置第二支撑板210，第二支撑板210的上端设置第二电动机211，所诉第三从动齿轮209由第二电动机211驱动转动，在传动蜗杆208的两端分别设置带有轴孔的支撑柱213，支撑柱213的底部固定在第二支撑板210上，在排水槽101内设置过滤网113，排水槽101的上端开设卡槽114，在过滤网113两侧的上端设置与卡槽114相适配的卡块115，在排水槽101外侧的喷淋箱100上开设用于安装过滤网113的滑孔116，转动喷淋管102的两侧连接旋钮117用于调节喷淋的角度。
29.此外，还需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
30.以上是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。