一种用于石英管清洗的旋转装置的制作方法

1.本实用新型属于半导体设备耗材清洗设备技术领域，具体涉及一种用于石英管清洗的旋转装置。


背景技术：

2.石英管是用二氧化硅制造的特种工业技术玻璃，是一种非常优良的基础材料。石英玻璃具有一系列优良的物理、化学性能。是半导体器件制造设备中普遍使用的半导体设备耗材。石英管在前述半导体设备中使用一段时间后其内壁面会残留大量脏污、金属杂质或者固体颗粒，然而石英管造价昂贵，因此需要在被彻底清洗后予以重复使用，以降低半导体器件的制造成本。
3.石英管的材质本身比较脆弱，其清洗过程非常缜密石英管支撑处表面清洗不洁净易产生析晶或者酸雾，清洗过程中化学品使用量比较大。


技术实现要素：

4.本技术的主要目的在于提供一种采用滚轮滚动技术带动石英管清洗旋转，进而减少化学品的使用量且提高清洗效果的用于石英管清洗的旋转装置。
5.为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种用于石英管清洗的旋转装置，包括内有空腔的箱体，电机、第一链轮、第二链轮、链条、旋转组件；
7.所述电机的输出轴穿过所述箱体的箱壁延伸至所述箱体的空腔内，第一链轮套设于所述电机的输出轴上，并与所述电机的输出轴固定连接；第一链轮通过链条与所述第二链轮连接，带动第二链轮转动；
8.所述第二链轮的数量为两个，两个所述第二链轮位于同一水平面上，两个所述第二链轮关于所述箱体的中轴线对称设置；
9.所述旋转组件的数量为两个，两个所述旋转组件对称设置，且两个所述第二滚轮分别带动两个所述旋转组件转动。
10.采用本技术所述用于石英管清洗的旋转装置，启动电机，电机的输出轴带动第一链轮转动，第一链轮通过链条带动第二链轮转动，第二链轮带动旋转组件转动对石英管进行清洗。
11.在所述箱体的空腔内加入纯水或带有化学药水的纯水对石英管进行清洗。
12.上述一种用于石英管清洗的旋转装置，作为一种优选的实施方案，所述旋转组件包括传动轴、滚轮和用于支撑所述传动轴的传动轴座，所述传动轴的一端穿过第二链轮，并与第二链轮固定连接，所述传动轴的另一端沿所述箱体空腔的长度方向延伸，所述滚轮套设于所述传动轴上。
13.因传动轴的一端与所述第二链轮固定连接，第二链轮转动带动传动轴转动，传动轴转动带动滚轮转动。因第二旋转组件的数量为两个，且两个旋转组件对称设置，这样便有
两个滚轮对称设置，将石英管架设在两个滚轮之间，由于摩擦的作用，滚轮的转动便带动石英管转动，即可实现对石英管整个管壁的清洗。
14.上述一种用于石英管清洗的旋转装置，作为一种优选的实施方案，所述传动轴座与所述箱体的内表面固定连接，所述传动轴座的数量为两个，两个所述传动轴座分别设置于所述传动轴的两端。
15.所述传动轴座用于支撑转动轴，保证转动轴的正常旋转。
16.上述一种用于石英管清洗的旋转装置，作为一种优选的实施方案，所述滚轮的数量为若干个，若干所述滚轮沿所述传动轴的长度方向均匀设置。
17.因滚轮用于支撑石英管，将石英管平放在滚轮上，随着滚轮的转动带动石英管的转动，所以为使石英管固定的更牢固，一个石英管至少要有两对滚轮对其支撑(位于两个旋转组件上，相对应的两个滚轮构成一对滚轮)。
18.上述一种用于石英管清洗的旋转装置，作为一种优选的实施方案，位于两个旋转组件上相对应的两个滚轮之间的距离l＝2
1/2
*d/2。
19.其中l为位于两个旋转组件上相对应的两个滚轮之间的距离；
20.d为石英管的外径。
21.这样可以保证滚轮能稳固的支撑其石英管，且能使石英管得到有效的清洗。
22.上述一种用于石英管清洗的旋转装置，作为一种优选的实施方案，还包括箱盖，所述箱盖与所述箱体相盖合。
23.上述一种用于石英管清洗的旋转装置，作为一种优选的实施方案，所述箱体内表面设置有轴承座，所述轴承座与箱体相接触部位设置有密封环，所述电机的输出轴依次穿过箱体的箱壁和轴承座延伸至所述箱体的空腔内。
24.轴承座的设置可保证电机输出轴正常转动的情况下，与箱体之间密封连接，防止箱体内的清洗液渗漏。
25.本实用新型的有益效果为：本实用新型所述用于石英管清洗的旋转装置采用电机带动石英管进行滚动清洗，增大了石英管的清洗效率，在减少化学清洗剂使用量的条件下，保证了石英管的清洗效果和质量。
附图说明
26.图1为本实用新型所述用于石英管清洗的旋转装置的俯视图；
27.图2为本实用新型所述用于石英管清洗的旋转装置的侧视图；
28.图中：1、箱体；2、电机；3、第一链轮；4、链条；5、第二链轮；6、传动轴；7、滚轮；8、传动轴座；9、空腔。
具体实施方式
29.为了使本技术领域的人员更好地理解本技术方案，下面将结合案例对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
30.在本技术中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本技术及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
31.并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本技术中的具体含义。
32.一种用于石英管清洗的旋转装置，包括内有空腔9的箱体1，电机2、第一链轮3、第二链轮5、链条4、旋转组件；所述电机2的输出轴穿过所述箱体1的箱壁延伸至所述箱体1的空腔9内，第一链轮3套设于所述电机2的输出轴上，并与所述电机2的输出轴固定连接；第一链轮3通过链条4与所述第二链轮5连接，带动第二链轮5转动；
33.所述第二链轮5的数量为两个，两个所述第二链轮5位于同一水平面上，两个所述第二链轮5关于所述箱体1的中轴线对称设置；所述旋转组件的数量为两个，两个所述旋转组件对称设置，且两个所述第二链轮分别带动两个所述旋转组件转动。
34.本实施例所描述的旋转组件包括传动轴6、滚轮7和用于支撑所述传动轴6的传动轴座8，所述传动轴6的一端穿过第二链轮5，并与第二链轮5固定连接，所述传动轴6的另一端沿所述箱体1空腔9的长度方向延伸，所述滚轮7套设于所述传动轴6上。
35.为使传动轴座8对转动轴进行有效支撑，传动轴座8的数量为两个，两个传动轴座8均与箱体1的内表面固定连接，且两个传动轴座8分别设置于所述传动轴6的两端，传动轴6设置于转动轴座上。
36.因旋转组件的数量为两个，这样便于并排设置两个传动轴6，滚论套设于传动轴6上，因石英管在清洗时需平放在相对应的两个滚轮7上，为使滚轮7能有效支撑石英管保证石英管的稳定，所述滚轮7的数量为若干个，且若干滚轮7沿所述传动轴6的长度方向均匀设置。
37.为防止石英管在清洗过程中出现掉落的现象，两个旋转组件上相对应的两个滚轮7之间的距离l＝2
1/2
*d/2。
38.因在清洗过程中需往箱体1的空腔9内加入清洗液，为防止清洗液溅出，在箱体1上盖合有箱盖，且为防止电机2的输出轴与箱体1之间的连接处渗漏液体，在箱体1内表面设置有轴承座，所述轴承座与箱体1相接触部位设置有密封环，所述电机2的输出轴依次穿过箱体1的箱壁和轴承座延伸至所述箱体1的空腔9内。
39.在使用本技术所述用于石英管清洗的旋转装置时，启动电机2，电机2的输出轴带动第一链轮3转动，第一链轮3通过链条4带动两个第二链轮5转动，在第二链轮5的作用力下，旋转组件的传动轴6进行转动进而带动滚轮7转动，因传动轴6的数量为两个且平行对称设置，滚轮7也有两排，将石英管放于两排滚动上，由于摩檫力的作用带动石英管的转动，从而实现对石英管内壁的全面清洗。
40.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型方法的前提下，还可以做出若干改进和补充，这些改进和补充也应视为本实用新型的保护范围。