一种清洗装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体器件制备装置技术领域，具体涉及一种清洗装置。


背景技术：

2.真空蒸镀工艺是制备半导体器件的常用工艺之一。为了在真空蒸镀之后得到所需的图形化膜层，通常会利用具有镂空区域的掩膜板(mask)。掩膜板位于蒸镀源和待沉积表面之间，在蒸镀过程中，来自蒸镀源的气态有机物通过掩膜板上的镂空区域沉积在待沉积表面，从而在待沉积表面形成与镂空区域的形状相对应的有机膜层。
3.在形成有机膜层的同时，掩膜板朝向蒸镀源的一侧表面也会沉积一定厚度的有机物。随着蒸镀时间的延长，掩膜板表面的有机物的厚度会逐渐增大，这会影响后续所沉积的图形化膜层的沉积精度，因此掩膜板需要定时清洗。由于掩膜板对精度要求较高，为了避免清洗过程中损伤掩膜板导致其精度降低，通常采用单纯浸泡的方式清洗掩膜板，即，将掩膜板浸泡在清洗液中，使有机物自然溶解或脱落。
4.然而，单纯浸泡的方式无法保证清洗效果，残留在掩膜板表面的有机物会直接影响后续所沉积的膜层精度，从而影响半导体器件的性能，同时该清洗方式的清洗效率较低。


技术实现要素：

5.因此，本实用新型要解决的技术问题在于如何提高掩膜板的清洗效果和清洗效率，从而提供一种清洗装置。
6.本实用新型提供一种清洗装置，包括：清洗槽，所述清洗槽内具有清洗液，待清洗件适于浸渍在所述清洗液中；驱动部件，所述驱动部件位于所述清洗槽的外侧，所述驱动部件具有延伸至驱动部件之外的驱动轴，所述驱动轴适于沿着所述驱动轴的轴心旋转；偏心轮，所述偏心轮位于所述清洗槽的外侧，所述驱动轴与所述偏心轮连接以带动所述偏心轮旋转，所述偏心轮垂直于所述清洗槽中与所述偏心轮距离最小的一侧外壁，所述偏心轮的旋转中心与所述偏心轮的边缘的距离具有最大距离和最小距离，所述偏心轮的旋转中心至所述清洗槽的槽壁的最小距离小于所述最大距离且大于所述最小距离。
7.可选的，所述最大距离与所述偏心轮的旋转中心至所述清洗槽的槽壁的最小距离的差值为35mm-43mm。
8.可选的，所述驱动轴的一端位于所述驱动部件的外侧，所述驱动轴的一端连接有一个所述偏心轮；或者，所述驱动轴的相对设置的两端均位于所述驱动部件的外侧，所述驱动轴的两端分别连接有一个所述偏心轮。
9.可选的，所述清洗槽的底面和/或侧面设置有所述驱动部件和所述偏心轮。
10.可选的，所述驱动轴的转速为4000rpm-8000rpm，所述清洗槽的震动频率为60hz～150hz。
11.可选的，所述清洗槽的内壁还设置有固定结构，所述固定结构适于固定所述待清洗件。
12.可选的，所述清洗槽内具有相对设置的第一内壁和第二内壁，所述固定结构为设置在所述第一内壁和所述第二内壁上的卡槽，所述卡槽的延伸方向平行于所述清洗槽的高度方向，所述卡槽适于与所述待清洗件的边缘卡接。
13.可选的，所述清洗槽内具有相互连通的清洗区和防溢区，所述清洗区靠近所述清洗槽的槽底，所述防溢区靠近所述清洗槽的槽口，在清洗过程中所述待清洗件适于固定在所述清洗区；在垂直于所述清洗槽的高度方向，所述防溢区的尺寸大于所述清洗区的尺寸。
14.可选的，所述清洗装置还包括控制部件，所述控制部件与所述驱动部件电学连接，所述控制部件适于控制所述驱动轴的转速。
15.可选的，所述待清洗件包括掩膜板。
16.本实用新型技术方案，具有如下优点：
17.1.本实用新型提供的清洗装置，驱动部件驱动偏心轮旋转以使清洗槽发生低频振动，清洗槽的震动波传递至清洗槽内的清洗液，使清洗液发生微扰动，这加速了待清洗件表面的有机物的溶解或脱落，并提高了有机物的溶解或脱落效果，从而提高了待清洗件的清洗效率和清洗效果，在使待清洗件清洗得更加洁净的同时，缩短了清洗时间。此外，驱动部件和偏心轮设置在清洗槽的外侧，便于组装和后续安装，且不需要考虑驱动部件和偏心轮的防水与抗腐蚀问题，降低了驱动部件和偏心轮的使用要求。
18.2.本实用新型提供的清洗装置中，所述驱动轴的相对设置的两端均位于所述驱动部件的外侧，所述驱动轴的两端分别连接有一个所述偏心轮，所述驱动部件能够同时驱动两个偏心轮，不仅提高了驱动部件的振幅稳定性，从而有利于提高清洗效果，还有利于清洗装置的结构稳定性。
19.3.本实用新型提供的清洗装置中，清洗槽的底面和侧面均设置有驱动部件和偏心轮，清洗槽内的清洗液能够接收来自不同方向的震动波，从而进一步提高了待清洗件的清洗效率和清洗效果。
20.4.本实用新型提供的清洗装置中，驱动轴的转速为4000rpm-8000rpm，这使清洗槽的震动频率达到了60hz～150hz，上述震动频率能够在保证清洗效果和清洗效率的同时，不会损伤掩膜板，保证了掩膜板的精度。
21.5.本实用新型提供的清洗装置中，所述清洗槽内具有相互连通的清洗区和防溢区，待清洗件适于固定在清洗区，防溢区的设置能够防止将待清洗件放置在清洗槽中时、待清洗件的清洗过程中、以及将待清洗件从清洗槽中取出时清洗液外溢至清洗槽的外侧，避免了清洗液的浪费。
附图说明
22.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
23.图1为本实用新型实施例提供的清洗装置的侧视图；
24.图2为图1中的清洗槽的俯视图；
25.图3为图1中的偏心轮的结构示意图；
26.附图标记说明：
27.1-清洗槽；11-卡槽；12-清洗区；13-防溢区；2-驱动部件；3-偏心轮；4-控制部件。
具体实施方式
28.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
30.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
31.参见图1，本实施例提供一种清洗装置，包括：
32.清洗槽1，所述清洗槽1内具有清洗液(未图示)，待清洗件适于浸渍在所述清洗液中；
33.驱动部件2，所述驱动部件2位于所述清洗槽1的外侧，所述驱动部件2具有延伸至驱动部件2之外的驱动轴，所述驱动轴适于沿着所述驱动轴的轴心旋转；
34.偏心轮3，所述偏心轮3位于所述清洗槽1的外侧，所述驱动轴与所述偏心轮3连接以带动所述偏心轮3旋转，所述偏心轮3垂直于所述清洗槽1中与所述偏心轮3距离最小的一侧外壁，参见图3，所述偏心轮3的旋转中心与所述偏心轮3的边缘的距离具有最大距离l1和最小距离l2，所述偏心轮3的旋转中心至所述清洗槽1的槽壁的最小距离d小于所述最大距离且大于所述最小距离。
35.上述清洗装置中，驱动部件2驱动偏心轮3旋转以使清洗槽1发生低频振动，清洗槽1的震动波传递至清洗槽1内的清洗液，使清洗液发生微扰动，这加速了待清洗件表面的有机物的溶解或脱落，并提高了有机物的溶解或脱落效果，从而提高了待清洗件的清洗效率和清洗效果，在使待清洗件清洗得更加洁净的同时，缩短了清洗时间。此外，驱动部件2和偏心轮3设置在清洗槽1的外侧，便于组装和后续安装，且不需要考虑驱动部件2和偏心轮3的防水与抗腐蚀问题，降低了驱动部件2和偏心轮3的使用要求。
36.需要理解的是，驱动部件2在工作过程中会产生热量，当驱动部件2与偏心轮3位于清洗槽1内部时，由于热传导作用，清洗液的温度会随之升高，可能会导致清洗液逐渐失效；尤其当清洗液中含有n-甲基吡咯烷酮、异丙醇等易燃物质时，驱动部件2所产生的热量还可能使清洗液燃烧会爆炸，产生安全风险。而本实施例将驱动部件2和偏心轮3设置在清洗槽1外部，能够避免清洗液受到来自驱动部件2的热量的不良影响，保证了清洗液的清洗效果，
并避免了安全隐患。
37.具体的，所述最大距离l1与所述偏心轮3的旋转中心至所述清洗槽1的槽壁的最小距离d的差值为35mm-43mm；示例性的，所述最大距离l1与所述偏心轮3的旋转中心至所述清洗槽1的槽壁的最小距离的差值可以为35mm、36mm、37mm、38mm、39mm、40mm、41mm、42mm或43mm。上述差值决定了清洗过程中清洗槽1的振动强度，进而影响待清洗件的清洗效率和清洗效果。
38.进一步地，偏心轮3的厚度可以为15mm～20mm；示例性的，偏心轮3的厚度可以为15mm、16mm、17mm、18mm、19mm或20mm。
39.在本实施例中，偏心轮3的旋转中心即为偏心轮3与驱动轴连接的位置；所述待清洗件包括但不限于掩膜板，驱动部件2为偏心轮电机。
40.在本实施例中，所述驱动轴的转速为4000rpm-8000rpm，这使清洗槽1的震动频率达到了60hz～150hz。需要理解的是，超声清洗频率过高，对掩膜板进行超声清洗，虽然能够保证良好的清洗效果和清洗效率，但是会损伤掩膜板，从而降低掩膜板的精度；同时，超声清洗过程中，清洗液会升温，而掩膜板清洗液中含有易燃成分，因此超声清洗不适于用于掩膜板清洗。而本实施例中清洗槽1的震动频率能够在保证清洗效果和清洗效率的同时，不会损伤掩膜板，保证了掩膜板的精度。
41.在一个实施方式中，所述驱动轴的一端位于所述驱动部件2的外侧，所述驱动轴的一端连接有一个所述偏心轮3；在另一实施方式中，参见图1，所述驱动轴的相对设置的两端均位于所述驱动部件2的外侧，所述驱动轴的两端分别连接有一个所述偏心轮3，所述驱动部件2能够同时驱动两个偏心轮3，不仅能够提高驱动部件2的振幅稳定性，从而有利于提高清洗效果，还有利于清洗装置的结构稳定性。
42.在一个实施方式中，所述驱动部件2和所述偏心轮3设置在所述清洗槽1的底面或侧面，图1示出了所述驱动部件2和所述偏心轮3设置在所述清洗槽1的底面；在另一实施方式中，所述清洗槽1的底面和侧面均设置有所述驱动部件2和所述偏心轮3，且上述偏心轮3适于同时转动，清洗槽1内的清洗液能够接收来自不同方向的震动波，从而进一步提高了待清洗件的清洗效率和清洗效果；需要理解的是，由于每个驱动部件2使清洗槽1震动的频率有限，因此即使上述偏心轮3一同震动也不足以损伤掩膜板。作为一个优选的实施方式，所述清洗槽1的形状为长方体，所述清洗槽1的底面和四个侧面均设置有所述驱动部件2和所述偏心轮3。
43.在本实施例中，所述清洗槽1的内壁还设置有固定结构，所述固定结构适于固定所述待清洗件。作为一个具体的实施方式，参见图1-图2，所述清洗槽1内具有相对设置的第一内壁和第二内壁，所述固定结构为设置在所述第一内壁和所述第二内壁上的卡槽11，所述卡槽11的延伸方向平行于所述清洗槽1的高度方向，所述卡槽11适于与所述待清洗件的边缘卡接，通过将待清洗件中相对的两个边缘卡接至位于第一内壁和第二内壁的卡槽内，将待清洗件稳定固定在清洗槽1中。
44.进一步地，所述清洗槽1内可以具有相对设置的一组卡槽11；也可以如图2所示，所述清洗槽1内可以具有相对设置的多组卡槽11，多个待清洗件可以一同清洗，提高了清洗效率。
45.继续参见图1，所述清洗槽1内具有相互连通的清洗区12和防溢区13，所述清洗区
12靠近所述清洗槽1的槽底，所述防溢区13靠近所述清洗槽1的槽口，所述清洗液的体积小于等于所述清洗区12的体积，在清洗过程中所述待清洗件适于固定在所述清洗区12；在垂直于所述清洗槽1的高度方向，所述防溢区13的尺寸大于所述清洗区12的尺寸。防溢区13的设置能够防止将待清洗件放置在清洗槽1中时、待清洗件的清洗过程中、以及将待清洗件从清洗槽1中取出时清洗液外溢至清洗槽1的外侧，避免了清洗液的浪费。
46.继续参见图1，所述清洗装置还包括控制部件4，所述控制部件4与所述驱动部件2电学连接，所述控制部件4适于根据掩膜板的材料以及位于掩膜板表面的有机物的材料控制所述驱动轴的转速，进而控制所述清洗槽1的震动频率。具体的，所述控制部件4可以为控制面板。
47.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。