一种石英坩埚高压喷淋装置的制作方法

本技术涉及石英坩埚生产，尤其涉及一种石英坩埚高压喷淋装置。

背景技术：

1、石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛，石英坩埚可在1450度以下使用，分透明和不透明两种，用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料，当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚，在坩埚的生产加工的工艺中，高压喷淋是对其清洁的一道重要工序。

2、现有技术中，如中国专利号：cn212633573u，公开了一种石英坩埚高压喷淋装置，包括安装底板，所述安装底板的底部固定安装有安装底座，所述安装底板的顶部固定安装有高压喷淋器，所述安装底板的底部固定安装有固定脚，前后所述固定脚之间固定安装有安装块，左右所述安装块的相对面均开设有调节滑槽，左右所述安装块之间活动连接有与调节滑槽滑动连接的收集箱。该石英坩埚高压喷淋装置，通过设置第一压紧板和第二压紧板，第一压紧板、第二压紧板和安装板在传动带的作用下穿过开设在安装底座处的安装通孔进行循环圆周运动，从而使该装置具备方便在传输石英坩埚的过程中对石英坩埚进行简单固定的优点，方便了使用者使用。

3、现有技术中，现有的石英坩埚高压喷淋装置在使用过程中，通过喷头对坩埚进行喷淋清洁，但大多数喷淋装置喷淋后的水流到地面后，就通过地下排水管直接排放出去了，缺少对清洁后的水进行回收利用，一定程度上会造成水资源的浪费，不利于节能环保。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在现有的石英坩埚高压喷淋装置在使用过程中，喷淋后的水流到地面后，大多数是通过地下排水管直接排放出去了，缺少对清洁后的水进行回收利用，一定程度上会造成水资源的浪费，不利于节能环保的问题，而提出的一种石英坩埚高压喷淋装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种石英坩埚高压喷淋装置，包括：喷淋箱，所述喷淋箱的顶部固定安装有高压水泵，所述高压水泵的进水口通过法兰盘连接有抽水管，所述高压水泵的出水口通过法兰盘连接有出水管，所述出水管的一端固定连通有分流管，所述分流管的两端均固定连接有弧形喷管；

3、回收组件，所述回收组件固定安装在喷淋箱的底部，所述喷淋箱包括回收池，所述回收池内部靠近顶部的四角处均固定安装有安装块，多个所述安装块的顶部设置有喷淋台，所述回收池内部靠近底部的内壁固定安装有底板，所述底板的顶部设置有高效过滤网，所述高效过滤网靠近两侧的顶部均固定安装有多个连杆，多个所述连杆的顶部固定安装有初效过滤网，所述回收池的底部固定连接有输送管，所输送管的外表面固定连通有排污管，所述输送管的底部固定安装有水箱。

4、优选的，所述喷淋箱的前表面通过铰链转动连接有挡板，所述挡板的前表面开设有圆槽，所述圆槽的内部固定安装有透明板。

5、优选的，所述分流管的两端均固定贯穿至喷淋箱的内部，所述抽水管的一端固定贯穿至水箱的内部。

6、优选的，所述喷淋台的顶部设置有坩埚本体，所述喷淋台外表面的宽度与回收池内部的宽度相匹配，所述回收池的顶部固定安装在喷淋箱的顶部。

7、优选的，所述水箱靠近一侧的顶部固定连接有进水管，所述排污管的外表面和输送管的外表面均设置有阀门。

8、优选的，所述挡板的一侧外表面固定安装有固定块，所述喷淋箱靠近前表面的一侧外表面通过辅助板活动安装有卡扣。

9、优选的，所述卡扣的一端活动套设在固定块的顶部，所述抽水管的外表面和出水管的外表面均固定安装有辅助块。

10、与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，

11、1、本实用新型中，当进行使用时，启动高压水泵，在高压水泵的加压作用下，通过抽水管将水箱内部的水抽送进出水管内部，接着流入分流管内部，最后通过弧形喷管喷出对坩埚本体进行喷淋清洁，清洁后的水通过喷淋台顶部的渗水孔向下流动，流入下方的回收池内部，排污管和输送管外表面的阀门均为关闭状态，打开输送管外表面的阀门，此时水会依次经过初效过滤网和高效过滤网，在初效过滤网和高效过滤网的过滤作用下，对水中的杂质进行过滤处理，过滤后的水流入水箱内部，可以进行二次利用，在回收池、初效过滤网、高效过滤网的配合下，对清洁后的水进行回收处理，从而可以再利用，从而达到水资源回收再利用的效果，减少水资源浪费，实现环保节能。

12、2、本实用新型中，当进行使用时，通过两个弧形喷管进行喷淋时，在喷淋箱和挡板的配合下，可以防止喷出的水到处飞溅，通过设置透明板，工作人员可以随时观察坩埚本体喷淋清理的状况，便于观察。

技术特征：

1.一种石英坩埚高压喷淋装置，其特征在于，包括：喷淋箱(1)，所述喷淋箱(1)的顶部固定安装有高压水泵(10)，所述高压水泵(10)的进水口通过法兰盘连接有抽水管(11)，所述高压水泵(10)的出水口通过法兰盘连接有出水管(13)，所述出水管(13)的一端固定连通有分流管(9)，所述分流管(9)的两端均固定连接有弧形喷管(14)；

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚高压喷淋装置，其特征在于：所述喷淋箱(1)的前表面通过铰链转动连接有挡板(2)，所述挡板(2)的前表面开设有圆槽(12)，所述圆槽(12)的内部固定安装有透明板(3)。

3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚高压喷淋装置，其特征在于：所述分流管(9)的两端均固定贯穿至喷淋箱(1)的内部，所述抽水管(11)的一端固定贯穿至水箱(6)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚高压喷淋装置，其特征在于：所述喷淋台(403)的顶部设置有坩埚本体(15)，所述喷淋台(403)外表面的宽度与回收池(401)内部的宽度相匹配，所述回收池(401)的顶部固定安装在喷淋箱(1)的顶部。

5.根据权利要求1所述的一种石英坩埚高压喷淋装置，其特征在于：所述水箱(6)靠近一侧的顶部固定连接有进水管(5)，所述排污管(407)的外表面和输送管(408)的外表面均设置有阀门。

6.根据权利要求2所述的一种石英坩埚高压喷淋装置，其特征在于：所述挡板(2)的一侧外表面固定安装有固定块(7)，所述喷淋箱(1)靠近前表面的一侧外表面通过辅助板活动安装有卡扣(8)。

7.根据权利要求6所述的一种石英坩埚高压喷淋装置，其特征在于：所述卡扣(8)的一端活动套设在固定块(7)的顶部，所述抽水管(11)的外表面和出水管(13)的外表面均固定安装有辅助块。

技术总结
本技术提供一种石英坩埚高压喷淋装置，涉及石英坩埚生产技术领域，包括：喷淋箱，所述喷淋箱的顶部固定安装有高压水泵。本技术中，当进行使用时，启动高压水泵，通过抽水管将水箱内部的水送进出水管和分流管内部，最后通过弧形喷管喷出，清洁后的水通过喷淋台顶部的渗水孔向下流动，流入下方的回收池内部，排污管和输送管外表面的阀门均为关闭状态，打开输送管外表面的阀门，此时水会依次经过初效过滤网和高效过滤网，在初效过滤网和高效过滤网的过滤作用下，对水中的杂质进行过滤处理，过滤后的水流入水箱内部，可以进行二次利用，从而达到水资源回收再利用的效果。

技术研发人员：陶飞,周勇,吴伟华,王洋洋
受保护的技术使用者：浙江美晶新材料股份有限公司
技术研发日：20221206
技术公布日：2024/1/12