一种用于半导体生产的大理石平台的制作方法

本技术涉及一种大理石平台，特别是涉及一种用于半导体生产的大理石平台，属于大理石平台。

背景技术：

1、半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，为保护其性能通常采用大理石面作为操作平台，大理石平台取材于地下优质的岩石层，经过亿万年自然时效，形态极为稳定,不用担心因常规的温差而发生变形。经严格物理试验和选择的花岗石料,结晶细密,质地坚硬，极耐磨损、耐酸、耐碱，有很高的耐腐蚀性，永远不会生锈。由于大理石系非金属材料，绝无磁性反应，亦无塑性变形。其硬度比铸铁高2－3倍，因此精度保持性好，优于优质铸铁和钢材制作的精密测量基准零件，可以获得高而稳定的精度。

2、当前半导体生产时需要用到大理石平台，目前的大理石平台一般在使用完毕后需要人为进行台面清洁不够方便，且平台较重，移动时较为麻烦，基于此，我们提出一种用于半导体生产的大理石平台进行改进。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于半导体生产的大理石平台，该大理石平台能够自动清理台面，并且具备移动机构，方便搬运，解决了现有技术中大理石平台使用后的台面需要人为清洁和搬运麻烦等耗时耗力的问题。

2、为解决上述问题，提供以下技术方案：

3、设计一种用于半导体生产的大理石平台，包括四个支柱，位于两侧的两个所述支柱上端均固定连接有驱动架，两个所述驱动架相对一侧外壁上分别固定开设有驱动槽和限位槽，所述驱动槽前后内壁之间转动连接有驱动杆，所述限位槽前后内壁之间固定连接有限位杆，所述驱动杆外壁上螺纹套接有驱动滑块，所述限位杆外壁上滑动套接有限位滑块，所述驱动滑块和限位滑块上端固定连接有清洁机构，所述清洁机构下端面固定连接有多个喷头，所述驱动滑块和限位滑块之间转动连接有清洁杆，所述清洁杆外壁上固定连接有多个毛刷；

4、四个所述支柱之间固定连接有加固台，所述加固台上端中部固定连接有液压缸，所述加固台上端靠近四角处均固定连接有伸缩杆，所述液压缸和伸缩杆上端固定连接有加工台，所述加固台下端固定开设有调节滑槽，所述调节滑槽两侧内壁之间靠近前后端处分别转动连接有调节丝杆和固定连接有滑杆，所述调节丝杆和滑杆两侧外壁上均套设有调节滑块，四个所述调节滑块外壁上均铰接有连接杆，所述加固台下端面靠近四角处均固定连接有伸缩腿，四个所述伸缩腿下端均转动安装有滑轮，四个所述连接杆下端分别铰接在四个伸缩腿输出端上。

5、进一步的，多个所述喷头均匀分布设置在清洁机构下端。

6、进一步的，所述驱动滑块内固定设置有驱动机构，所述驱动机构输出端与清洁杆一端固定连接。

7、进一步的，所述调节丝杆采用双螺纹丝杆制成。

8、进一步的，位于同侧的两个所述调节滑块之间固定连接有连接柄。

9、进一步的，所述调节滑槽中部固定设置有分隔板，所述调节丝杆和滑杆均贯穿分隔板设置。

10、进一步的，所述驱动架前端固定设置有伺服电机，所述伺服电机输出端贯穿驱动架板身并与驱动杆前端固定连接，所述加固台内固定设置有升降电机，所述升降电机输出端与调节丝杆一端固定连接。

11、与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：该装置通过设置喷头喷洒清洗液，配合清洁杆带动毛刷清洁加工台面，能够实现对大理石台面的自动化清洁，方便省事；

12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：该装置通过升降电机带动调节丝杆转动，进一步实现带动位于两侧的两个调节滑块相对运动，进一步通过连接杆实现带动伸缩腿伸缩，进一步实现控制滑轮的升降，方便在需要移动装置时，控制滑轮下移支撑装置进行移动，方便省事。

13、参照后文的说明和附图，详细公开了本实用新型的特定实施方式，指明了本实用新型的原理可以被采用的方式。应该理解，本实用新型的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本实用新型的实施方式包括许多改变、修改和等同。

技术特征：

1.一种用于半导体生产的大理石平台，其特征在于，包括四个支柱(1)，位于两侧的两个所述支柱(1)上端均固定连接有驱动架(2)，两个所述驱动架(2)相对一侧外壁上分别固定开设有驱动槽(3)和限位槽(4)，所述驱动槽(3)前后内壁之间转动连接有驱动杆(5)，所述限位槽(4)前后内壁之间固定连接有限位杆(6)，所述驱动杆(5)外壁上螺纹套接有驱动滑块(7)，所述限位杆(6)外壁上滑动套接有限位滑块(8)，所述驱动滑块(7)和限位滑块(8)上端固定连接有清洁机构(10)，所述清洁机构(10)下端面固定连接有多个喷头(11)，所述驱动滑块(7)和限位滑块(8)之间转动连接有清洁杆(12)，所述清洁杆(12)外壁上固定连接有多个毛刷(13)；

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产的大理石平台，其特征在于，多个所述喷头(11)均匀分布设置在清洁机构(10)下端。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产的大理石平台，其特征在于，所述驱动滑块(7)内固定设置有驱动机构(9)，所述驱动机构(9)输出端与清洁杆(12)一端固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产的大理石平台，其特征在于，所述调节丝杆(18)采用双螺纹丝杆制成。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产的大理石平台，其特征在于，位于同侧的两个所述调节滑块(21)之间固定连接有连接柄(22)。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产的大理石平台，其特征在于，所述调节滑槽(17)中部固定设置有分隔板(20)，所述调节丝杆(18)和滑杆(19)均贯穿分隔板(20)设置。

7.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产的大理石平台，其特征在于，所述驱动架(2)前端固定设置有伺服电机(27)，所述伺服电机(27)输出端贯穿驱动架(2)板身并与驱动杆(5)前端固定连接，所述加固台(14)内固定设置有升降电机(28)，所述升降电机(28)输出端与调节丝杆(18)一端固定连接。

技术总结
本技术公开了一种用于半导体生产的大理石平台，属于大理石平台技术领域，包括：四个支柱，位于两侧的两个所述支柱上端均固定连接有驱动架，两个所述驱动架相对一侧外壁上分别固定开设有驱动槽和限位槽，所述驱动槽前后内壁之间转动连接有驱动杆，所述限位槽前后内壁之间固定连接有限位杆，所述驱动杆外壁上螺纹套接有驱动滑块，所述限位杆外壁上滑动套接有限位滑块，所述驱动滑块和限位滑块上端固定连接有清洁机构，所述清洁机构下端面固定连接有多个喷头，所述驱动滑块和限位滑块之间转动连接有清洁杆。由此，该大理石平台能够自动清理台面，并且具备移动机构，方便搬运，具有实用性。

技术研发人员：武云博,李燕,史舸,胡晓亮,徐华俊
受保护的技术使用者：麦斯克电子材料股份有限公司
技术研发日：20230316
技术公布日：2024/1/13