一种制备超纯水的处理系统的制作方法

本技术涉及超纯水制备，更具体涉及一种制备超纯水的处理系统。

背景技术：

1、超纯水是把水中的导电介质几乎完全去除，又把水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水，电阻率达到10mω*cm(25℃)。超纯水常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等，也作为其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等制作的材料。

2、现有的制备超纯水的系统需要专业人员进行操作和维护，耗费了较多的时间和人力，因此，亟需一种制备超纯水的处理系统。

技术实现思路

1、本实用新型需要解决的技术问题是提供一种制备超纯水的处理系统，以解决背景技术中的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案如下。

3、一种制备超纯水的处理系统，用于对一级反渗透产水进行处理，包括通过管路依次连接的二级反渗透装置、缓冲水箱、edi装置、氮封水箱、供水系统和抛光混床，一级反渗透产水通过管路与二级反渗透装置连通；所述二级反渗透装置包括ro模组，缓冲水箱设置液位开关；所述edi装置包括精密过滤器、edi增压泵、edi模块；所述供水系统包括供水泵、压力传感器；所述二级反渗透装置、缓冲水箱、edi装置、氮封水箱、供水系统的受控端均连接plc控制器。

4、进一步优化技术方案，所述一级反渗透产水与二级反渗透装置之间的管路上设置二级增压泵、换热器、加药系统和高压泵。

5、进一步优化技术方案，所述换热器的进气口设置电动调节阀，且换热器内设置温度调节系统；所述加药系统包括计量箱、计量泵和加药装置。

6、进一步优化技术方案，所述精密过滤器的过滤芯为1um滤芯，滤芯由在空间随机形成三维微孔结构的聚丙烯超细纤维热熔缠结制成。

7、进一步优化技术方案，所述氮封水箱包括快速泄放阀、微压调节阀和水箱。

8、由于采用了以上技术方案，本实用新型所取得技术进步如下。

9、本实用新型提供的一种制备超纯水的处理系统，通过采用一体化plc全自动控制，实现了设备的全自动运行，无需人员看管，设备运行更稳定、可靠；通过设置报警输出功能、显示功能；通过设置与plc控制器连接的供水系统，保证了出水压力恒定，节能省电，减少了阵地面积，延长了供水泵和电机的使用寿命。本实用新型具有结构简单、占地面积小、制水质量高、成本低的优点。

技术特征：

1.一种制备超纯水的处理系统，用于对一级反渗透产水进行处理，其特征在于：包括通过管路依次连接的二级反渗透装置(3)、缓冲水箱(4)、edi装置(6)、氮封水箱(7)、供水系统(8)和抛光混床(9)，一级反渗透产水通过管路与二级反渗透装置(3)连通；所述二级反渗透装置(3)包括ro模组，缓冲水箱(4)设置液位开关；所述edi装置(6)包括精密过滤器(5)、edi增压泵、edi模块；所述供水系统(8)包括供水泵、压力传感器；所述二级反渗透装置(3)、缓冲水箱(4)、edi装置(6)、氮封水箱(7)、供水系统(8)的受控端均连接plc控制器。

2.根据权利要求1所述的一种制备超纯水的处理系统，其特征在于：所述一级反渗透产水与二级反渗透装置(3)之间的管路上设置二级增压泵(1)、换热器、加药系统和高压泵(2)。

3.根据权利要求2所述的一种制备超纯水的处理系统，其特征在于：所述换热器的进气口设置电动调节阀，且换热器内设置温度调节系统；所述加药系统包括计量箱、计量泵和加药装置。

4.根据权利要求3所述的一种制备超纯水的处理系统，其特征在于：所述精密过滤器(5)的过滤芯为1um滤芯，滤芯由在空间随机形成三维微孔结构的聚丙烯超细纤维热熔缠结制成。

5.根据权利要求4所述的一种制备超纯水的处理系统，其特征在于：所述氮封水箱(7)包括快速泄放阀、微压调节阀和水箱。

技术总结
本技术公开了一种制备超纯水的处理系统，用于对一级反渗透产水进行处理，包括通过管路依次连接的二级反渗透装置、缓冲水箱、EDI装置、氮封水箱、供水系统和抛光混床，一级反渗透产水通过管路与二级反渗透装置连通；二级反渗透装置包括RO模组，缓冲水箱设置液位开关；EDI装置包括精密过滤器、EDI增压泵、EDI模块；所述供水系统包括供水泵、压力传感器；二级反渗透装置、缓冲水箱、EDI装置、氮封水箱、供水系统的受控端均连接PLC控制器。本技术具有结构简单、占地面积小、制水质量高、成本低的优点。

技术研发人员：刘洁,王爱胜
受保护的技术使用者：北京唯沃特水务科技有限公司
技术研发日：20230530
技术公布日：2024/1/14