一种半导体行业酸碱废水的回收利用系统的制作方法

本申请涉及废水回收，具体而言，涉及一种半导体行业酸碱废水的回收利用系统。

背景技术：

1、近几年来，半导体行业快速发展，主要表现在两个方面：一方面是半导体企业数量的不断扩大；另一方面是半导体企业质量的不断提升。半导体生产工艺复杂精细，生产工序复杂繁多，不仅使用多种化学试剂，还使用大量的超纯水用于清洗冲洗等工序。这使得半导体生产过程会产生大量的废水，如酸碱废水、含氟废水以及机械研磨废水。半导体企业数量的不断扩大使得废水量不断增加，半导体企业质量的不断提升使得纯水的水质要求越来越高。目前，半导体企业一般将废水经处理达标后，直接排往城市污水处理厂。

2、因此，如何将半导体行业酸碱废水资源化利用，是亟待解决的问题。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本申请实施例的目的在于提供一种半导体行业酸碱废水的回收利用系统。

2、第一方面，本申请实施例提供了一种半导体行业酸碱废水的回收利用系统，包括：依次连接的废水回收模块、回用水池、原水池、过滤模块和净化模块；

3、所述废水回收模块，对酸碱废水进行处理，得到回用水，并将所述回用水输送到所述回用水池；

4、所述回用水池，将回用水池输送到所述原水池中；

5、所述原水池，能够对所述原水池中的所述回用水和新鲜原水进行均匀，得到混合自来水，并将得到的所述混合自来水输送到所述过滤模块中进行过滤；

6、所述过滤模块，能够对所述混合自来水进行过滤，得到过滤后的混合自来水；

7、所述净化模块，能够对所述过滤后的混合自来水进行净化，得到超纯水。

8、本申请实施例上述第一方面提供的方案中，通过设置包括依次连接的废水回收模块、回用水池、原水池、过滤模块和净化模块的半导体行业酸碱废水的回收利用系统，对半导体企业处理后的废水进行处理，得到能够回收利用的纯水，与相关技术中半导体企业一般将废水经处理后排往城市污水处理厂的方式相比，可以对半导体企业处理后的废水进行处理并回收利用，减少环境污染的同时实现了废水的资源化回收利用，具有绿色环保节能的优点。

9、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种半导体行业酸碱废水的回收利用系统，其特征在于，包括：依次连接的废水回收模块、回用水池、原水池、过滤模块和净化模块；

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述废水回收模块，包括：依次连接的中和单元、中间水池、过滤系统以及第一反渗透系统；

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，还包括：蒸发结晶装置；

4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述中和单元，包括：加药泵和中和反应池；

5.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述过滤模块，包括：依次连接的超滤系统、换热系统、保安过滤器、第二反渗透系统、反渗透产水箱；

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述净化模块，包括：依次连接的uv反应器、edi装置、超纯水箱、以及toc-uv装置；

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，还包括：与所述toc-uv装置连接的抛光混床；

8.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述中和反应池中设置有搅拌机或者曝气器。

9.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述第一反渗透系统和所述第二反渗透系统，分别包括：第一反渗透膜、第二反渗透膜以及高压水泵；

10.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述过滤系统，采用多介质过滤器和/或者活性炭过滤器。

技术总结
本申请提供了一种半导体行业酸碱废水的回收利用系统，通过设置包括依次连接的废水回收模块、回用水池、原水池、过滤模块和净化模块的半导体行业酸碱废水的回收利用系统，对半导体企业处理后的废水进行处理，得到能够回收利用的纯水，与相关技术中半导体企业一般将废水经处理后排往城市污水处理厂的方式相比，可以对半导体企业处理后的废水进行处理并回收利用，减少环境污染的同时实现了废水的资源化回收利用，具有绿色环保节能的优点。

技术研发人员：曹海燕,陈爽,郝风波
受保护的技术使用者：高频（北京）科技股份有限公司
技术研发日：20230817
技术公布日：2024/4/7