本技术属于刻蚀机腔体清洁，具体涉及适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头。
背景技术：
1、现在的工业设备精度越来越高，其要求的清洁保养流程和要求也越来越精细。例如半导体行业的刻蚀机腔体，在pm保养时对粉尘颗粒数量的要求极高。现在的刻蚀机腔体pm保养主要还是人力擦洗，其清洁工具功能单一需要不断切换工具，并且清洁力不理想，常常需要多次清洁才能达到规定清洁状态，这样就造成了开腔时间久，继而影响后续的复机时间。
2、虽然现在市场上也有刻蚀清洁产品，但大部分的清洁产品适用于日常刻蚀程序结束后的非开腔清洁，只能延长腔体开腔pm保养时间，在最后还是需要开腔pm保养，并且此类清洁工具大多结构复杂价格高昂。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，能够有效降低产品成本，改善清洁产品功能，提高清洁作用效果。
2、为实现上述目的，本实用新型适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，包括喷气管道和吸尘管道，所述喷气管道贴合连接于吸尘管道的上侧，所述吸尘管道和喷气管道一端均设有连接螺纹，另一端分别设有主吸尘口和喷气口，所述主吸尘口上活动连接有吸尘口挡板；
3、所述喷气管道上靠近连接螺纹的一端连接有气体调节阀；
4、所述吸尘管道上两侧对称设有副吸尘口。
5、作为本实用新型进一步的方案：所述喷气管道和吸尘管道一体注塑成型。
6、作为本实用新型进一步的方案：所述吸尘管道包括连接管、过渡管和功能管，所述连接管与功能管之间通过过渡管连接，所述主吸尘口和副吸尘口均设于功能管上。
7、作为本实用新型进一步的方案：所述连接管为内部设有连接螺纹的圆管，过渡管截面为v字形结构，所述功能管截面为直槽口结构。
8、作为本实用新型进一步的方案：所述吸尘管道端部位于主吸尘口上、下两侧设有挡板定位口，所述吸尘口挡板上设有与挡板定位口相匹配的定位凸台。
9、作为本实用新型进一步的方案：所述气体调节阀包括调节阀本体，所述调节阀本体贴合设于喷气管道内，所述调节阀本体上设有气体调节口，所述调节阀本体顶部设有调节旋钮，所述调节旋钮端部穿过喷气管道设于喷气管道外侧。
10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
11、吹吸一体式结构，结构简单，便于操作，且制造方便，可大批量生产，价格低廉；
12、利用吹吸结合的方式，能够减少作业人员来回切换工具的工作量，从而减少操作时间和开腔时间，利用后期复机；
13、通过气体调节阀，可以持续性稳定控制气体出风流量，并且较传统的吹气枪相比在调整好调节旋钮后不需要操作人员持续手握气体开关，减少操作人员的工作量；
14、喷气口能够使腔体内微小空隙或不宜擦拭空间内的粉尘颗粒通过气流带出，同时被主吸尘口和副吸尘口快速抽吸走；
15、吸尘管道上设置主吸尘口和副吸尘口，可以很好的同时吸附腔壁上的粉尘颗粒和腔体悬浮粉尘颗粒，可使腔体清洁的更到位更全面，减少后期粉尘重新掉落而带来的重复性工作，并且还可以根据实际需要而单独选择副吸尘口工作，吸附悬浮颗粒。
1.适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，包括喷气管道(3)和吸尘管道(1)，其特征在于，所述喷气管道(3)贴合连接于吸尘管道(1)上侧，所述吸尘管道(1)和喷气管道(3)一端均设有连接螺纹(2)，另一端分别设有主吸尘口(8)和喷气口(5)，所述主吸尘口(8)上活动连接有吸尘口挡板(6)；
2.根据权利要求1所述的适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，其特征在于，所述喷气管道(3)和吸尘管道(1)一体注塑成型。
3.根据权利要求1或2所述的适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，其特征在于，所述吸尘管道(1)包括连接管(1.1)、过渡管(1.2)和功能管(1.3)，所述连接管(1.1)与功能管(1.3)之间通过过渡管(1.2)连接，连接管(1.1)、过渡管(1.2)和功能管(1.3)注塑一体成型，所述主吸尘口(8)和副吸尘口(7)均设于功能管(1.3)上。
4.根据权利要求3所述的适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，其特征在于，所述连接管(1.1)为内部设有连接螺纹(2)的圆管，过渡管(1.2)截面为v字形结构，所述功能管(1.3)截面为直槽口结构。
5.根据权利要求1或2所述的适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，其特征在于，所述吸尘管道(1)端部位于主吸尘口(8)上、下两侧设有挡板定位口(9)，所述吸尘口挡板(6)上设有与挡板定位口(9)相匹配的定位凸台(10)。
6.根据权利要求1或2所述的适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，其特征在于，所述气体调节阀(4)包括调节阀本体(4.1)，所述调节阀本体(4.1)贴合设于喷气管道(3)内，所述调节阀本体(4.1)上设有气体调节口(4.2)，所述调节阀本体(4.1)顶部设有调节旋钮(4.3)，所述调节旋钮(4.3)端部穿过喷气管道(3)设于喷气管道(3)外侧。