一种钢瓶清洁系统的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型属于一种钢瓶清洁系统。
【背景技术】
[0002]砷烷(AsH3)、膦烷(PH3)、氨气(NH3)等高纯特气和三甲基镓(TMG)、三甲基铟(TMI)、三甲基铝(TMA)等高纯金属有机化合物(简称M0源)是金属有机化学气相沉积技术(M0CVD)、化学束外延技术(CBE)过程中生长光电半导体薄膜材料的最关键基础原材料。金属有机化学气相沉积技术(M0CVD)对特气及M0源的纯度要求特别高，要求其纯度大于或等于99.9999%。特别地，随着M0CVD技术不断地发展，不仅要求高纯特气与M0源等材料本身的纯度的提高，对高纯特气与M0源的储存钢瓶的洁净度也提出了更高的要求。
[0003]洁净钢瓶的处理由清洗(包括碱洗、酸洗、自来水洗和纯水洗)、烘干及检漏等三个步骤。目前的处理方法是按照以上三个步骤独立地进行操作，这不仅费时费力，更重要的是洁净效果差，频繁的过程操作带来的洁净钢瓶污染几率和安全事故发生几率增加。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种操作简单、污染几率小、事故发生率小的钢瓶清洁系统。
[0005]为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是，一种钢瓶清洁系统，包括依次串联的清洗液回管、清洗槽组和输送栗进液管主管道，输送栗进液管主管道的一端与清洗槽组连接，另一端分成两个支路，分别是第一支路和第二支路，第一支路和第二支路分别与清洗液进管和输送栗入口连接;输送栗出口与输送栗出液管主管道的一端连接，输送栗出液管主管道的另一端并联有第一输液管和第二输液管，第一输液管的另一端与清洗液进管连通，第二输液管的另一端与清洗液回管连通;清洗液进管和清洗液回管之间并联有若干个钢瓶;钢瓶设置于烘箱内，烘箱底部设置有超声波发生器;所述第一支路、输送栗进液管主管道、输送栗出液管主管道、第一输液管、第二输液管上均设置有阀门。
[0006]清洗液进管上通过检漏管路连接有检漏仪，检漏管路上连接有抽真空管路，抽真空管路上分别连接有冷阱和惰性气体管，冷阱上连接有真空栗。
[0007]本实用新型产生的有益效果是:通过在烘箱底部设置超声波发生器，增强了钢瓶的清洗能力;集清洗、抽烘与检漏一体化，一次拆装即可完成清洗、抽烘与检漏工序，不仅操作简单、节省劳动力和缩短处理时间，提高了效率，而且还避免过程操作引起的污染，保证处理质量;并且本实用新型中只采用一个栗既能实现清洗和抽出，节省设备投资。清洗槽组、输送栗和钢瓶形成循环回路，清洗液可以循环使用，节约化学品用量和减少废液排放。
【附图说明】
[0008]图1为实施例1的结构示意图。
【具体实施方式】
[0009]下面结合具体实施例对本实用新型作进一步说明，但本实用新型的保护范围不限于此。
[0010]实施例1
[0011]如图1所示，一种钢瓶清洁系统，包括依次串联的清洗液回管8、清洗槽组5和输送栗进液管主管道15，输送栗进液管主管道15的一端与清洗槽组5连接，另一端分成两个支路，分别是第一支路16和第二支路17，第一支路16和第二支路17分别与清洗液进管7和输送栗6入口连接;输送栗7出口与输送栗出液管主管道18的一端连接，输送栗出液管主管道18的另一端并联有第一输液管19和第二输液管20，第一输液管19的另一端与清洗液进管7连通，第二输液管20的另一端与清洗液回管8连通;清洗液进管7和清洗液回管8之间并联有两干个钢瓶2 (钢瓶上设置有进液管4和出液管14，进液管4伸入到钢瓶的底部，进液管4和出液管14分别与清洗液进管7和清洗液回管8连接，进液管4和出液管14上分别设置有阀门21);钢瓶2设置于烘箱1内，烘箱1底部设置有超声波发生器3;所述第一支路16、输送栗进液管主管道15、输送栗出液管主管道18、第一输液管19、第二输液管20上均设置有阀门21。
[0012]清洗液进管7上通过检漏管路22连接有检漏仪13，检漏管路15上连接有抽真空管路9，抽真空管路9上分别连接有冷阱10和惰性气体管12，冷阱10上连接有真空栗11。
[0013]使用时，先通过阀门(图中未画出)切断检漏管路22，打开超声波发生器3，打开第二支路17、输送栗进液管主管道15、输送栗出液管主管道18、第一输液管19上的阀门，关闭第一支路16、第二输液管20、进液管4和出液管14上的阀门，依次对待处理的钢瓶2进行碱洗、酸洗、自来水洗和纯水洗，取水样;待水样分析合格后，关闭出液管14、输送栗进液管主管道15和第一输液管19上的阀门，打开第一支路16、第二输液管20、进液管4上的阀门，从而把钢瓶3中的纯水抽走，然后打开检漏管路22，烘箱1加热维持在80?120°C，边烘干边抽真空，直至钢瓶烘干;再通过检漏仪13检测洁净钢瓶2泄漏的情况，检漏合格后钢瓶2重复3?5次惰性气体置换操作，最后充惰性气体至微正压，然后将钢瓶2拆卸，待用。
【主权项】
1.一种钢瓶清洁系统，其特征在于，包括依次串联的清洗液回管、清洗槽组和输送栗进液管主管道，输送栗进液管主管道的一端与清洗槽组连接，另一端分成两个支路，分别是第一支路和第二支路，第一支路和第二支路分别与清洗液进管和输送栗入口连接;输送栗出口与输送栗出液管主管道的一端连接，输送栗出液管主管道的另一端并联有第一输液管和第二输液管，第一输液管的另一端与清洗液进管连通，第二输液管的另一端与清洗液回管连通;清洗液进管和清洗液回管之间并联有若干个钢瓶;钢瓶设置于烘箱内，烘箱底部设置有超声波发生器;所述第一支路、输送栗进液管主管道、输送栗出液管主管道、第一输液管、第二输液管上均设置有阀门。2.如权利要求1所述的钢瓶清洁系统，其特征在于，清洗液进管上通过检漏管路连接有检漏仪，检漏管路上连接有抽真空管路，抽真空管路上分别连接有冷阱和惰性气体管，冷阱上连接有真空栗。
【专利摘要】本实用新型属于一种钢瓶清洁系统，包括依次串联的清洗液回管、清洗槽组和输送泵进液管主管道，输送泵进液管主管道的一端与清洗槽组连接，另一端分成两个支路，分别是第一支路和第二支路，第一支路和第二支路分别与清洗液进管和输送泵入口连接；输送泵出口与输送泵出液管主管道的一端连接，输送泵出液管主管道的另一端并联有第一输液管和第二输液管，第一输液管的另一端与清洗液进管连通，第二输液管的另一端与清洗液回管连通；清洗液进管和清洗液回管之间并联有若干个钢瓶；钢瓶设置于烘箱内，烘箱底部设置有超声波发生器；所述第一支路、输送泵进液管主管道、输送泵出液管主管道、第一输液管、第二输液管上均设置有阀门。
【IPC分类】B08B13/00, B08B3/12, B08B9/46, B08B9/08
【公开号】CN205096196
【申请号】CN201520885028
【发明人】陈之善, 宁红锋
【申请人】河南承明光电新材料股份有限公司
【公开日】2016年3月23日
【申请日】2015年11月9日