金刚石合成功率控制电路的制作方法

文档序号:4984441阅读:199来源:国知局
专利名称:金刚石合成功率控制电路的制作方法
技术领域
本实用新型属于电加热功率定量控制领域,具体涉及一种金刚石合成功率控制电路。
背景技术
在人造金刚石合成过程中,金刚石是在一定的压力、温度条件下生成的,压力通过 六面顶挤压合成块产生高压,温度通过给合成块中合成腔内的碳管通电产生高温。合成腔 通过编织线、大垫块、小垫块、顶锤与变压器相连,从而组成一个串联电路。电压模块通过测 量变压器输出两端的电压和电路中的电流计算合成功率反馈给电脑。对于温度的控制,目 前广泛采用的恒功率控制。给定的功率等于是整个电路的总功率。传统的电压测量是测得 变压器两端之间的电压,通过测量的电压与测量的电流进行功率计算,再把实际功率与工 艺设计的功率比较进行调节,但是依然不准确。由于编织线、大垫块、小垫块、顶锤本身电阻 及其之间接触电阻的存在,编织线、大垫块、小垫块、顶锤之间必定要消耗一定的功率,特别 是大垫块和小垫块之间由于经常使用,氧化层逐渐严重,造成整个加热电路系统中的外电 阻逐渐变大,给定的功率越来越大,合成腔里面实际消耗的功率与给定的功率差别越来越 大,影响了工艺的稳定性。

实用新型内容本实用新型提供一种能够准确测量金刚石合成腔内的实际电压的金刚石合成功 率控制电路。一种金刚石合成功率控制电路,包括与外部电压U2连接的变压器T,合成腔的电阻 R1,合成腔两端串联的包括编织线、大垫块、小垫块的外电阻R2,并联在合成腔的电阻R1两 端的电压表V,所述电路还包括与外电阻R2串联的电流表A。由于本实用新型将改变测量电压的位置,将原来的外部测量,更换为直接在合成 腔的两端最靠近合成腔处测量,测出的是合成腔两端的电压,给定的功率就为R1上面所消 耗功率,这样把外电阻的影响因素就消除了,使得给定的功率更接近合成腔内部的实际消 耗功率P=电压表V测出的合成腔两端电压UX电流表A测出的电流I。消除了随着时间 的增长,R2越来越大对合成功率的影响。
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步描述


图1是本实用新型的电路示意图。
具体实施方式

图1所示一种金刚石合成功率控制电路,包括与外部电压U2连接的变压器T, 合成腔的电阻R1,合成腔两端串联的包括编织线、大垫块、小垫块的外电阻R2,并联在合成腔的电阻R1两端的电压表V,所述电路还包括与外电阻R2串联的电流表A,实际消耗功率P =电压表V测出的合成腔两端电压U X电流表A测出的电流I。 原加热板上面的电压模块测量量程为380V,由于经过变压器后转变为低电压,更 换电压模块量成为IOV的。再给加热锤两端的钢环上各焊接上一个螺丝,螺丝通过两根导 线连接到电压模块上,从而测得螺丝两端的电压,再和测得的电流进行功率计算,根据工艺 的设计进行功率调整。给加热锤两端的钢环上各焊接上一个螺丝和更换电压模块,通过改 变测量电压的位置从而使得给定的功率更能接近合成腔内部所需功率。
权利要求一种金刚石合成功率控制电路,其特征在于它包括与外部电压U2连接的变压器T,合成腔的电阻R1,合成腔两端串联的包括编织线、大垫块、小垫块的外电阻R2,并联在合成腔的电阻R1两端的电压表V,所述电路还包括与外电阻R2串联的电流表A。
专利摘要本实用新型公开了一种金刚石合成功率控制电路,包括与外部电压U2连接的变压器T,合成腔的电阻R1,合成腔两端串联的包括编织线、大垫块、小垫块的外电阻R2,并联在合成腔的电阻R1两端的电压表V,所述电路还包括与外电阻R2串联的电流表A。由于本实用新型将改变测量电压的位置,将原来的外部测量,更换为直接在合成腔的两端最靠近合成腔处测量,测出的是合成腔两端的电压,给定的功率就为R1上面所消耗功率,这样把外电阻的影响因素就消除了。
文档编号B01J3/06GK201752648SQ20102025411
公开日2011年3月2日 申请日期2010年7月12日 优先权日2010年7月12日
发明者刘鑫, 包玉合, 李君明, 董立新, 赵海军 申请人:中南钻石股份有限公司
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