有害气体的除害装置制造方法

有害气体的除害装置制造方法
【专利摘要】提供在不损坏检测剂层的目视确认性，减少检测剂的填充量的同时，减少用于预备除害剂层的除害剂的填充量的有害气体的除害装置，其特征在于，具备具有除害剂层的除害筒、至少一部分被填充有检测剂的检测剂容器和由不透气性材料构成的气体流路限制部件，检测剂容器具有在通过与该容器的轴向基本垂直的面分割时的一端侧的空间内填充有检测剂的第一检测剂层、在将另一端侧的空间通过与有害气体的流动方向基本垂直的面分割时的上游侧的空间内填充有检测剂的第二检测剂层和在流动方向的下游侧的空间内填充有除害剂的内部除害剂层，气体流路限制部件被设置成覆盖检测剂容器的外周表面中有害气体的流动方向的下游侧的与第一检测剂层的外周表面相对的部分。
【专利说明】有害气体的除害装置

【技术领域】
[0001]本发明涉及有害气体的除害装置。

【背景技术】
[0002]在半导体制造工厂等，使用以包含砷或磷等的氢化物的挥发性无机氢化物、将其中的氢原子以卤素原子或烷基等取代的卤素化合物或有机化合物、氟或氯等酸性气体、或者氨或肼等碱性气体为代表的各种有害气体。将含有这些有害气体的废气排出到大气中之前，有必要进行有害气体成分的除害处理使其无害化。
[0003]作为所需的除害处理，大多采用使废气流过填充有固体除害剂的除害筒，使有害气体成分吸附到除害剂上或通过除害剂的作用而分解的干式除害方法。然而，由于上述的固体除害剂的每单位量能够除害的有害气体的量是有固定的限度的，因此不能对超过所定量的有害气体进行吸附或者分解。即，使用被填充有一定量的除害剂的除害筒能够除害处理的有害气体的量是有限度的，当超过该限度的有害气体被导入时，超额部分的有害气体将不被除害而通过除害筒，所谓的突破现象便会发生。
[0004]因此，为了防止从除害筒中漏出未处理的有害气体，有必要连续监视除害剂的突破的有无，在除害筒丧失除害能力之前停止其运转，进行除害剂的交换或再生等的更新。
[0005]作为检测除害剂的突破的有无的方法，众所周知的方法是将通过与有害气体接触会变色的检测剂层状填充到主除害剂层和预备(副)除害剂层之间以设置检测剂层，通过被设置在除害筒的周壁部的有害气体流动方向的下方侧的观察窗，用目视或用彩色标记传感器来观察该检测剂层的变色，来检测主除害剂层的突破(参照专利文献I)。
[0006]然而，在上述特许文献I所记载的检测方法中，存在尽管从被设置于除害筒的观察窗只能目视确认检测剂层的侧面部分，但比除害剂还昂贵的检测剂却要被填充到除害筒内的一定高度的整个层上的问题。
[0007]因此，下述的专利文件2公开了为了减少上述检测剂的消耗量，将填充有检测剂的水平式圆筒状检测筒从除害筒的侧面插入，仅在除害剂层内的一部分设置检测剂层的方法。
[0008]本文中，图4 (a)?图4 (C)是用于说明专利文献2公开的方法中所使用的除害筒的构成的图，是将插入有圆筒状检测筒的除害筒的侧面部分放大后的侧面图。如图4(a)所示，在现有的除害装置101的内侧，填充有层状设置的主除害剂层105A和预备除害剂层105B的除害剂层105。并且，除害筒102的壁102A上，插入有具备检测窗102B的水平式圆筒状的检测剂容器103。而且在该检测剂容器103内填充有构成检测剂层106的检测剂。由此形成在主除害剂层105A内的一部分设置检测剂层106的结构。而且，检测剂层106的下表面与主除害剂层105A和预备除害剂层105B的边界在同一高度。
[0009][现有技术文献]
[0010][专利文献]
[0011][专利文献I]特开平10-2894号公报
[0012][专利文献2]特许第4673780号公报
[0013]然而，专利文献2所记载的只在除害剂层内的一部分设置检测剂层的方法，由于检测剂自身没有除害能力，如图4 (a)所示，对于预备除害剂层105B，有在检测剂容器103正下方的部分比其它的检测剂容器103的周边，检测剂的消耗更快的问题。因此，若预备除害剂层105B的层厚不够，未除害的气体有可能从除害装置101流出，所以有必须加大预备除害剂层105B的填充高度的问题。
[0014]而且，在除害筒102内的主除害剂层105A和预备除害剂层105B中，被填充有直径或长度为约1.5毫米?6毫米左右的粒状或丸状的除害剂，而在除害筒2的壁102A附近被填充到检测剂容器103内的检测剂比上述除害剂的粒径大的情况更多，增加了检测剂层106的空隙率。因此，流过除害筒2的壁102A附近的有害气体的流速比流过检测剂层106以外的主除害剂层105A的流速有容易变大的倾向(下文，称为“壁面效果”)。
[0015]由于流过除害筒102内的有害气体的流速越大壁面效果越明显，如图4 (a)所示，有更加促进没有除害能力的检测剂层106正下方的预备除害剂层105B的除害剂的消耗的问题。为了减小上述壁面效果的影响，增大除害筒102的直径，减小塔内的流速是有效的，但是存在着设备变成大型的缺点。


【发明内容】

[0016]本发明是鉴于上述情况而形成的，目的在于提供在不损坏检测剂层的目视确认性，减少检测剂的填充量的同时，能够减少用于预备除害剂层的除害剂的填充量的除害装置。
[0017]本发明为解决上述课题，提供具备以下结构的除害装置。
[0018]S卩，提供一种除害装置，具备:填充有除去有害气体的除害剂的除害剂层的除害筒；为具有通气性的筒状容器，并且在所述容器内的至少一部分填充有通过与有害气体接触会变色的检测剂的检测剂容器；和由不透气性材料构成的气体流路限制部件，所述检测剂容器以使该容器的轴向与通过所述除害筒的有害气体的流动方向基本垂直的方式被插入到所述除害剂层的所述流动方向的下游侧，并且该容器的一端侧被固定到该除害筒的壁上，所述检测剂容器具有:在将该容器的内侧空间用与该容器的轴向基本垂直的面分割时的所述一端侧的空间内填充有所述检测剂的第一检测剂层；在将该容器的另一端侧的空间用与通过所述除害筒的有害气体的流动方向基本垂直的面分割时的所述流动方向的上游侧的空间内填充有所述检测剂的第二检测剂层；和在所述流动方向的下游侧的空间内填充有所述除害剂的内部除害剂层，所述气体流路限制部件被设置成覆盖所述检测剂容器的外周表面中通过所述除害筒的有害气体的流动方向的下游侧的与所述第一检测剂层的外周表面相对的部分。
[0019]并且，优选地，所述气体流路限制部件被设置成覆盖所述检测剂容器的外周表面中与所述第一检测剂层和所述内部除害剂层的边界相对的部分。
[0020]并且，根据方案一或二所述的除害装置，其特征在于，所述第一检测剂层和所述内部除害剂层的边界被设置在该容器的所述一端和轴向的中心之间在且所述一端侧。
[0021]并且，优选地，所述除害剂层具有用与通过所述除害筒的有害气体的流动方向基本垂直的面分割开时位于所述流动方向的上游侧的主除害剂层和位于所述流动方向的下游侧的副除害剂层，所述主除害剂层和所述副除害剂层的边界与所述第二检测剂层和所述内部除害剂的边界基本在同一面上。
[0022]并且，优选地，所述除害筒在所述检测剂容器的一端侧被固定的壁部分具有检测窗，从所述检测窗的外侧能够目视确认所述第一检测剂层。
[0023]发明的效果
[0024]根据本发明的除害装置，由于在将检测剂容器的内侧空间用与该容器的轴向基本垂直的面分割开时的一端侧的空间填充检测剂作为第一检测剂层，在将该容器的另一端侧的空间用与通过除害筒的有害气体的流动方向基本垂直的面分割开时的上述流动方向的上游侧的空间填充检测剂作为第二检测剂层，在剩余的空间(上述流动方向的下游侧的空间)填充除害剂作为内部除害剂层，所以与在检测剂容器的内侧空间全部填充检测剂的情况相比，能够减少检测剂的填充量。
[0025]并且，根据本发明的除害装置，由于以覆盖检测剂容器的外周表面中通过除害筒的有害气体的流动方向的下游侧的与第一检测剂层的外周表面相对的部分的方式设置气体流路限制部件，因此能够抑制从第一检测剂层的外周表面的上述流动方向的下游侧的有害气体的流出。即，由于将第一检测剂层设置在除害筒的壁侧，并在其下方设置气体流路限制部件，从而能够抑制除害筒内的壁面效果。
[0026]并且，由于通过气体流路限制部件，能够限制流路，使得流入第一检测剂层的有害气体流入内部除害剂层侧，从而由内部除害剂层除害后，气体流能够从检测剂容器流向除害筒进行合流。因而，除害筒内整体的流速调整变得容易。因此，即使在使壁面效果变大的高流速条件下，也能不提前消耗检测剂容器正下方的预备除害剂层，进行有害气体的除害处理。并且，由于不加快消耗检测剂容器下方的预备除害剂层，能够减少用于除害筒全体的预备除害剂层的除害剂的填充量。
[0027]而且，根据本发明的除害装置，以使检测剂容器的轴向与通过除害筒的有害气体的流动方向基本垂直的方式将检测剂容器插入到除害剂层，并且将该容器的一端侧固定在除害筒的筒壁上，而且具备在将该容器的内侧空间用与该容器的轴向基本垂直的面分割开时的所述一端侧的空间填充有所述检测剂的第一检测剂层，从而在除害筒在壁部分具有检测窗的情况下，从该检测窗能够看到第一检测剂层的一端侧的整个侧面。因此，在除害装置中，没有损坏检测剂的目视确认性。

【专利附图】

【附图说明】
[0028]图1是表示适用本发明的一实施方式的除害装置的构成的侧面图。
[0029]图2是构成适用本发明的一实施方式的除害装置的检测剂容器的立体图。
[0030]图3是表示适用本发明的一实施方式的除害装置的检测剂容器附近的图，Ca)是放大截面图，(b)是沿(a)中所示的A-A’线的截面图，(c)是沿(a)中所示的B-B’线的截面图。
[0031]图4是表示现有的除害装置的检测剂容器附近的图，Ca)是放大截面图，(b)是沿Ca)中所示的A-A’线的截面图，(c)是沿(a)中所示的B_B’线的截面图。

【具体实施方式】
[0032]下文中，对适用本发明的一实施方式的除害装置，用附图进行详细说明。而且，在下文的说明中所用的附图，为了使特征易懂，有时为了方便将成为特征的部分放大表示，各构成要素的尺寸比例等并不一定与实际相符。
[0033]图1是表示适用本发明的一实施方式的除害装置的构成的侧面图。而且，图1中所示的箭头表示含有有害气体的处理气体的流动方向。
[0034]如图1所示，本实施方式的除害装置I具备具有被填充有除去处理气体中的有害气体的除害剂层5的除害筒2、使其轴向与通过除害筒2的有害气体的流动方向基本垂直地被插入到除害剂层5的流动方向的下游侧的检测剂容器3和被设置为覆盖检测剂容器3的外周表面中的通过除害筒2的有害气体的流动方向的下游侧的一部分的障壁(气体流路限制部件)4而大致构成。
[0035]使用本实施方式的除害装置I能够除去的有害气体只要适合除去该有害气体的除害剂的组合是可能的就没有特别的限定，例如，可列举砷化三氢、磷化氢、硅烷、乙硼烷或砷、磷、硒等的氢化物等的挥发性无机氢化物，或将该挥发性无机氢化物的氢的一部分或全部取代成齒素原子的挥发性无机齒素化物，或将该氢取代成烷基或烷氧基的挥发性有机化合物，或氟、氯、氟化氢、氯化氢、三氟化氯、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、四氯化硅、四氯化钛、氯化铝、四氟化锗或六氟化钨等酸性气体，氨、甲胺、二甲胺、三甲胺或肼等碱性气体。
[0036]除害筒2 —般为由耐蚀性的金属材料等制成的筒状容器，其截面形状和中心线形状没有特别的限定。本实施方式的除害装置I中，作为除害筒2可以使用圆筒状或矩形筒状的不锈钢容器。并且，如图1所示，除害筒2具有含有有害气体的处理气体的导入口 2a和将除去有害气体后的处理气体排出到后段的排出口 2b。而且，本实施方式的除害装置I中，如图1所示，除害筒2中的气体流向是向下流动的，但并没有特别的限定于此，可以通过交换填充到该除害筒2内的填充剂的填充顺序，使气体流向变为向上流动。并且，将设置在除害筒2上的导入口 2a和排出口 2b的位置对调也没有问题。
[0037]在除害筒2的内侧空间，设置有填充有除害剂的除害剂层5。
[0038]作为可以适用于本实施方式的除害装置I的除害剂，只要是能将上述含有有害气体的处理气体通过干式净化法进行除害的物质，没有特别的限定。具体地，例如，以二氧化锰、氧化铜或氢氧化铜为主要成分的除害剂能够净化挥发性无机氢化物。并且，在活性炭中浸溃甲酸的碱金属盐或碱土金属盐的除害剂能够净化挥发性无机卤素化物。而且，在二氧化锰或氧化铜中浸溃铜盐的除害剂能够净化碱性气体。而且，当有害气体是两种以上的混合气体时，可以选择使用能够净化其中任何一种有害气体成分的除害剂。而且，可以混合使用能够净化各个有害气体成分的除害剂，也可以用将多种除害剂层状填充的方法。
[0039]并且，用于本实施方式的除害剂，直径或长度为约1.5毫米?6毫米，其形状以粒状或丸状为宜。使用这样的除害剂形成除害剂层5，从而在充分地确保与含有有害气体的处理气体的接触面积的同时，能够抑制流过除害筒时的处理气体的压力损失。
[0040]并且，如图1所示，该除害剂层5由用与通过除害筒2的有害气体的流动方向基本垂直的面分割开时而位于上述流动方向的上游侧的主除害剂层5A和相对于主除害剂层5A位于流动方向的下游侧的预备除害剂层(副除害剂层)5B构成，被填充的除害剂是同一成分。
[0041]并且，如图3 (a)所示，除害筒2在检测剂容器3的一端3a设置有检测窗2B。而且该检测窗2B成为壁2A的一部分。通过该检测窗2B，能够从除害筒2的外侧目视确认后述的第一检测剂层6。
[0042]检测剂容器3是有通气性的筒状容器，并且具有在该容器内的至少一部分填充有通过与有害气体接触会变色的检测剂的检测剂层。
[0043]本实施方式的除害装置I所使用的检测剂与除害剂是不同的化合物，可以根据要检测的有害气体的种类而进行适当选择。作为这样的检测剂，可以使用各种不同的物质，但通常使用与上述有害气体接触会变色的物质，例如使用氯化铋或石蕊、氢氧化铜等。为了既能提高处理气体与检测剂的接触效率又能确保处理气体的流动性，这样的变色物质优选使用例如直径I?10毫米左右的球形或圆柱形的成形体，或担载于所需的粒径的硅胶或矾土等的载体。
[0044]如图2及图3 (a)所示，本实施方式所使用的检测剂容器3具有:在将该容器的内侧空间用与该容器的轴向基本垂直的面分割时的一端3a侧的空间内填充有检测剂的第一检测剂层6 ;在将该容器的另一端3b侧的空间用与通过除害筒2的有害气体的流动方向基本垂直的面分割的上述流动方向的上游侧的空间内填充有检测剂的第二检测剂层7 ;和在上述流动方向的下游侧的空间内填充有除害剂的内部除害剂层8。
[0045]在此，本实施方式的除害装置I中，优选地，第一检测剂层6和内部除害剂层8之间的边界设置在检测剂容器3的一端3a和轴向的中心之间且在一端3a侧(B卩，除害筒2的壁2A侧)。并且，有必要将第一检测剂层6、第二检测剂层7及内部除害剂层8的各层间隔开时，使用有透气性且阻力小的材料(金属格栅网、冲孔板等透气性的材料)。
[0046]而且，第一检测剂层6和第二检测剂层7的整个区域都被填充检测剂，作为一体的检测剂层而起作用。即使由于检测剂容器3内设置有内部除害剂层8，而将各层间隔开时，检测剂被设置的功能也是一体的。
[0047]然而，如图4 (a)?图4 (c)所示，在现有的除害装置101中，检测剂容器103的内部空间全部被填充有检测剂(检测剂层106)。因此，沿如图4 (a)所示的A-A线的检测剂容器103的截面(图4 (b))及沿如图4 (a)所示的B-B线的检测剂容器103的截面(图4 Ce?的任何一个，都要全面地目视确认检测剂(检测剂层106)。
[0048]对此，在本实施方式中，如图3 (a)所示，检测剂容器3的内部空间没有全部填充检测剂，通过如上文所述在被间隔开的规定的空间内设置填充有除害剂的内部除害剂层8，从而由于检测剂容器3的一端3a侧的截面(图3 (b))为第一检测剂层6的截面，因此从被设置于检测剂容器3的一端3a侧的检测窗2B的全部都可以目视确认检测剂。另一方面，与检测窗2B相对的另一端3b侧的截面(图3 (c))为第二检测剂层7和内部除害层8的截面，但并不用于目视确认检测剂的变化所以没有问题。从而，能够减少检测剂容器3内填充的检测剂的填充量。
[0049]如图3 Ca)所示，检测剂容器3被插入到除害剂层5，使得该检测剂容器3的轴向与通过除害筒2的有害气体的流动方向基本垂直。此时，除害筒2中的主除害剂层5A和预备(副)除害剂层5B的边界与检测剂容器3中的第二检测剂层7和内部除害剂层8的边界基本在同一面上。因此，除害筒2内的预备除害剂层5B和检测剂容器3内的内部除害剂层8作为一体且作为预备除害剂层而起作用。
[0050]并且，检测剂容器3的柱方向(轴向)的长度优选设定在除害筒2的内径的5?50%的范围内。
[0051]并且，检测剂容器3的一端3a侧被固定到除害筒2的壁2A上。具体地，在检测剂容器3的一端3a侧设置有法兰10。该法兰10被用作在从除害筒2的壁2A上装卸检测剂容器3时的把手，并且也被用于向该除害筒2的固定用。
[0052]如图3 (a)所示，在检测剂容器3的一端3a侧设置有用于目视确认检测剂变色的检测窗2B。该检测窗2B用于根据检测剂的变色通过目视来确认被填充的除害剂的反应面位置，优选由玻璃或丙烯树脂等的透光性材料构成。并且，检测窗2B的形状若是能切实地目视确认检测剂的变色的形状，则没有特别的限定，圆形、矩形等都可以。而且，对于检测窗2B，考虑到可视性，优选直径为40毫米左右。
[0053]障壁(气体流路限制部件)4是为了抑制除害筒2的壁2A附近的气体流动，防止壁面效果而被设置的半圆筒状的部件。该障壁4由不透气性材料构成，如图2、图3 (a)及图
3(b)所示，被设置为在检测剂容器3的外周表面中通过除害筒2的有害气体的流动方向的下游侧至少覆盖第一检测剂层6。
[0054]由此，障壁4开放第一检测剂层6的上方侧(通过除害筒2的有害气体的流动方向的上游侧)的外周表面(即，容许从周向的上游侧向第一检测剂层6内流入有害气体)，并且阻塞下方侧(有害气体流的下游测)的外周表面(即，阻断有害气体从周向的下游侧向位于其下方的除害筒2的预备除害剂层5B的流出)，从而能够限制成流入第一检测剂层6内的有害气体流向内部除害剂层8。
[0055]具体地，如图3 Ca)所示，障壁4被固定于检测剂容器3的外周表面，但只要是能够防止上述壁面效果的形式，也并不限定于此。例如，也可以被固定于检测剂容器3的内周表面，也可以被固定于除害筒2的壁2A。
[0056]而且，优选地，障壁4的底端4a与除害筒2的壁2A气密连接。
[0057]另一方面，优选地，障壁4的前端4b被设置为覆盖检测剂容器3的内周表面与第一检测剂层6和内部除害剂层8的边界连接的部分。而且，优选地，障壁4的轴向长度(SP，前端4b向检测剂容器3的外周表面上与内部除害剂层8相对的部分侧的重叠区域的长度)根据除害剂和检测剂的粒径比、除害筒2内的有害气体的流速进行适当选择。
[0058]下面，对使用本实施方式的除害装置I的有害气体的除害方法进行说明。
[0059]首先，如图1所示，将从设置于除害装置I前段的半导体装置等送来的含有有害气体的处理气体由导入口 2a导入到除害筒2内。然后，被导入到除害筒2内的有害气体通过构成设置于除害筒2内的除害剂层5的主除害剂层5A被无害化处理。而且，本实施方式中，流过除害筒2的有害气体的流动方向是，如图1中的箭头所示，从除害筒2的上方到下方。SP，除害筒2是向下流动方式。
[0060]其次，如图3 (a)所示，在除害筒2内，随着有害气体的除害的进行，未反应的主除害剂层5A从流过除害筒2的有害气体的流动方向的上游侧开始渐渐变为反应完的主除害剂层5A’。
[0061]而且，当主除害剂层5A与反应完的主除害剂层5A’的边界线到达被插入到除害筒2中的检测剂容器3的位置时，在没有被设置检测剂容器3的区域由主除害剂层5A继续进行有害气体的除害处理。
[0062]另一方面，在设置有检测剂容器3的区域，在流动方向的上游侧，从检测剂容器3的周向的外侧向内部流入的有害气体流入设置于除害筒2的壁侧的第一检测剂层6和设置于除害筒2的中心侧的第二检测剂层7 —体化而成的检测剂层。该第一和第二检测剂层6，7中，被填充的检测剂与有害气体接触而变色。而且，从检测窗2B可以通过目视来确认检测剂层6的变色。
[0063]在此，被填充到检测剂容器3的检测剂不具备对有害气体的除害能力。所以，如图
4Ca)所示，检测剂容器103全部填充有检测剂3的现有的除害装置101中，在除害筒102内的有害气体的流动方向上，会有促进检测剂容器103的下游侧的除害剂层105的消耗的担心。
[0064]对此，根据本实施方式的除害装置1，在第二检测剂层7的下游侧的空间内填充除害剂，设置内部除害剂层8。由此，没有被第二检测剂层7除害的有害气体能够通过内部除害剂层8切实进行除害。而且，如图3 (a)所示，即使在有害气体的流动没有从第二检测剂层7流向内部除害剂层8，而是流向检测剂容器3的另一端3b的情况下，由于在第二检测剂层7的上述另一端3b侧设置有主除害剂层5A，也能够切实进行除害。因此，不会促进检测剂容器3的下游侧(下方侧)的预备除害剂层5B的消耗。
[0065]并且，根据本实施方式的除害装置1，如前文所述，设置有至少覆盖检测剂容器3的外周表面中通过除害筒2的有害气体的流动方向的下游侧的与第一检测剂层6的外周表面相对的部分的障壁4。因此，没有被第一检测剂层6除害的有害气体并不直接流入检测剂容器3的下游侧(下方侧)的预备除害剂层5B，而是有害气体被限制成流向第一检测剂层6和内部除害剂层8的边界面(图3 (a)中用箭头表示有害气体的流动)。因此，通过内部除害剂层8能够对经过第一检测剂层6而未处理的有害气体切实进行除害。所以，不会促进检测剂容器3的下游侧(下方侧)的预备除害剂层5B的消耗。
[0066]如上所述，根据本实施方式的除害装置1，向将检测剂容器3的内侧空间用与该容器的轴向基本垂直的面分割开时的一端3a侧的空间填充检测剂作为第一检测剂层6，向将该容器的另一端3b侧的空间用与通过除害筒2的有害气体的流动方向基本垂直的面分割开时的上述流向的上游侧的空间填充检测剂作为第二检测剂层7，向剩余的空间(上述流动方向的下游侧的空间)填充除害剂作为内部除害剂层8，从而能够减少检测剂的填充量。
[0067]并且，根据本实施方式的除害装置1，由于障壁4被设置为覆盖检测剂容器3的外周表面中通过除害筒2的有害气体的流向的下游侧的与第一检测剂层6的外周表面相对的部分，因此能够抑制从第一检测剂层6的外周表面的上述流动方向的下游侧的有害气体的流出。即，第一检测剂层6被设置在除害筒2的壁2A侧，由于障壁4被设置于其下方，因此能够抑制在除害筒2内的壁面效果。
[0068]并且，通过障壁4，限制流入第一检测剂层6的有害气体的气体流向，使其流入内部除害剂层8。而且，由于处理气体通过内部除害剂层8之后，从检测剂容器3流向除害筒2气体流动进行合流，使得除害筒2内整体的流速的调整变得容易。因此，即使在使壁面效果变大的高流速条件下，也能不提前消耗检测剂容器3的正下方的预备除害剂层5B，进行有害气体的除害处理。并且，由于不加快消耗检测剂容器3下方的预备除害剂层5B，可以减少用于除害筒2全体的预备除害剂层5B的除害剂的填充量。
[0069]而且，根据本实施方式的除害装置1，检测剂容器3以该容器3的轴向与通过除害筒2的有害气体的流动方向基本垂直的方式被插入到除害筒2内的除害剂层5，并且该容器的一端3a侧被固定于除害筒2的壁2A上。而且，由于具有在将检测剂容器3的内侧空间用与该容器的轴向基本垂直的面分割开时的前述一端3a侧的空间填充有检测剂的第一检测剂层6，在检测剂容器3的一端3a侧设置有检测窗2B的情况下，从该检测窗2B能够看到检测剂部分的全部，因此不会损坏检测剂的目视确认性。
[0070]而且，本发明的技术范围并不局限于上述实施方式，在不脱离本发明宗旨的范围内可以增加各种变更。例如，在上述的实施方式的除害装置I中，对在除害筒2的壁2A上插入将检测窗2B和法兰10—体化的检测剂容器3的形式进行了说明，但并不局限于此。例如，也可用在除害筒2的壁2A上设置检测窗2B，从除害筒2的内侧将检测容器的一端固定到检测窗2B的形式。由于即使是这样的形式，也能从检测窗2B目视确认第一检测剂层6的侧面，所以能够切实地检测除害剂的使用结束时期。
[0071]符号说明
[0072]I...除害装置2...除害筒2B...检测窗3...检测剂容器3a...—端4...障壁(气体流路限制部件)5...除害剂层5A...主除害剂层5B...预备除害剂层(副除害剂层)6..?第一检测剂层7..?第二检测剂层8...内部除害剂层10...法兰。
【权利要求】
1.一种除害装置，其特征在于，具备: 填充有除去有害气体的除害剂的除害剂层的除害筒； 为具有通气性的筒状容器，并且在所述容器内的至少一部分填充有通过与有害气体接触会变色的检测剂的检测剂容器；和 由不透气性材料构成的气体流路限制部件， 所述检测剂容器以使该容器的轴向与通过所述除害筒的有害气体的流动方向基本垂直的方式被插入到所述除害剂层的所述流动方向的下游侧，并且该容器的一端侧被固定到该除害筒的壁上， 所述检测剂容器具有:在将该容器的内侧空间用与该容器的轴向基本垂直的面分割时的所述一端侧的空间内填充有所述检测剂的第一检测剂层；在将该容器的另一端侧的空间用与通过所述除害筒的有害气体的流动方向基本垂直的面分割时的所述流动方向的上游侧的空间内填充有所述检测剂的第二检测剂层；和在所述流动方向的下游侧的空间内填充有所述除害剂的内部除害剂层， 所述气体流路限制部件被设置成覆盖所述检测剂容器的外周表面中通过所述除害筒的有害气体的流动方向的下游侧的与所述第一检测剂层的外周表面相对的部分。
2.根据权利要求1所述的除害装置，其特征在于，所述气体流路限制部件被设置成覆盖所述检测剂容器的外周表面中与所述第一检测剂层和所述内部除害剂层的边界相对的部分。
3.根据权利要求1或2所述的除害装置，其特征在于，所述第一检测剂层和所述内部除害剂层的边界被设置在该容器的所述一端和轴向的中心之间在且所述一端侧。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的除害装置，其特征在于，所述除害剂层具有:用与通过所述除害筒的有害气体的流动方向基本垂直的面分割时位于所述流动方向的上游侧的主除害剂层；和位于所述流动方向的下游侧的副除害剂层， 所述主除害剂层和所述副除害剂层的边界与所述第二检测剂层和所述内部除害剂的边界基本在同一面上。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的除害装置，其特征在于，所述除害筒在所述检测剂容器的一端侧被固定的壁部分具有检测窗， 从所述检测窗的外侧能够目视确认所述第一检测剂层。
【文档编号】B01D53/81GK104511232SQ201310444793
【公开日】2015年4月15日 申请日期:2013年9月26日 优先权日:2013年9月26日
【发明者】坂根诚, 高桥康弘, 落猛 申请人:大阳日酸株式会社