技术总结
本发明的臭氧水制造装置(1)具备：流量控制器(4、5)，控制作为原料的气体的流量；流量计(12)，测定作为原料的水的流量；升压泵(13)，控制水的压力；臭氧水生成部(8)，将臭氧气体与水进行混合而生成臭氧水；以及压力传感器(17)，测定供给至使用点(19)的臭氧水的压力。升压泵(13)控制水的压力，使由压力传感器(17)测定的臭氧水的压力成为恒定，流量控制器(4、5)根据由流量计(12)测定的水的流量来控制气体的流量。
技术研发人员：小泽卓;原田稔;高桥宗人
受保护的技术使用者：株式会社荏原制作所
文档号码：201580050402
技术研发日：2015.09.09
技术公布日：2017.05.24