一种有毒气体喷淋吸附装置的制作方法

本实用新型涉及一种吸附装置，具体来说，涉及一种有毒气体喷淋吸附装置。

背景技术：

半导体制作可能排放的特殊毒性气体种类众多，像薄膜成长制程、化学气相沉渍(CVD)、干蚀刻(dry etching)、扩散(diffusion)、离子植入(ion implantation)与磊晶(epitaxy)制程等等所排放的AsH3、PH3、SiH4、B2H6、SiH2Cl2，CL2，HF，PH3，NH3,HBr，F2,HCL,COS等等，都是含有特殊毒性的危险气体。针对此类的废气处理需把握各单元所排放的废气特性，串联多种不同型式的废气处理设备和吸附剂。目前常应用于处理半导体制程中特殊毒性气体处理的处理技术，一般可以分为四种，干式吸收或吸附法、湿式洗涤法等。其中各种吸附剂的配合使用为目前半导体行业的主流处理技术。

但是如果在处理有毒气体的时候，单纯的使用吸附剂被动的进行吸附，处理气体的耗时久，费用高并且处理的不完全，对环境以及相关人员的身体健康造成一定的威胁。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现要素：

针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种有毒气体喷淋吸附装置，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种有毒气体喷淋吸附装置，包括第一喷淋塔和第二喷淋塔，所述第一喷淋塔与所述第二喷淋塔之间通过通气管相连接，所述第一喷淋塔与所述第二喷淋塔上均设有喷淋头，所述喷淋头的输入端设有支管，所述支管均与干管相连通，所述干管上设有水泵，所述第一喷淋塔与所述第二喷淋塔内均设有挡板，所述挡板的两侧均设有若干第一枝丫，所述第一枝丫上设有若干第二枝丫，所述第一喷淋塔的一侧设有入气管，所述入气管与所述通气管上均设有第一阀门，所述第一喷淋塔和第二喷淋塔的一侧均设有出水管，所述出水管上设有第二阀门，所述第二喷淋塔上设有出气管，所述出气管内壁设有吸附层，所述吸附层的一侧设有气体检测仪，所述气体检测仪一侧位于所述出气管上设有第三阀门。

进一步的，所述第一喷淋与所述第二喷淋塔上均设有圆台形封盖，所述喷淋头位于所述圆台形封盖上。

进一步的，所述支管与所述第一喷淋与所述第二喷淋塔之间均设有密封圈。

进一步的，所述吸附层包括数量为两块的隔板和填充物，所述填充物位于所述隔板之间，所述填充物为HT吸附剂。

进一步的，所述入气管内和所述通气管两端的内壁均设有通气挡水膜。

进一步的，所述入气管与所述第一喷淋塔的连接处和所述通气管与所述第二喷淋塔的连接处均设有挡水板。

本实用新型的有益效果：通过设置第一喷淋塔和第二喷淋塔，使得当有毒气体从入气管进入到第一喷淋塔以后，经过喷淋头上喷淋的中和液体，能够有效的吸附中和有毒气体，并且，通过设置挡板和第一枝丫和第二枝丫，能够有效的增加中和液体与有毒气体的接触面积，第二喷淋塔的出气管内设有吸附层，能够有效的吸收残留的有毒气体，第一喷淋塔和第二喷淋塔进行双重喷淋吸收加上第一枝丫和第二枝丫上喷淋的中和液体进行吸收，最后在通过吸附层进行收尾，多重吸收能够有效的进行吸收有毒气体，减少了对周围环境和相关人员的身体健康的威胁，使得企业能够减少投资增加收益。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型实施例的一种有毒气体喷淋吸附装置的结构示意图。

图中：

1、第一喷淋塔；2、第二喷淋塔；3、通气管；4、喷淋头；5、支管；6、干管；7、水泵；8、挡板；9、第一枝丫；10、第二枝丫；11、入气管；12、第一阀门；13、出水管；14、第二阀门；15、出气管；16、吸附层；17、气体检测仪；18、第三阀门；19、圆台形封盖；20、密封圈；21、通气挡水膜；22、挡水板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

根据本实用新型的实施例，提供了一种有毒气体喷淋吸附装置。

如图1所示，根据本实用新型实施例的一种有毒气体喷淋吸附装置，包括第一喷淋塔1和第二喷淋塔2，所述第一喷淋塔1与所述第二喷淋塔2之间通过通气管3相连接，所述第一喷淋塔1与所述第二喷淋塔2上均设有喷淋头4，所述喷淋头4的输入端设有支管5，所述支管5均与干管6相连通，所述干管6上设有水泵7，所述第一喷淋塔1与所述第二喷淋塔2内均设有挡板8，所述挡板8的两侧均设有若干第一枝丫9，所述第一枝丫9上设有若干第二枝丫10，所述第一喷淋塔1的一侧设有入气管11，所述入气管11与所述通气管3上均设有第一阀门12，所述第一喷淋塔1和第二喷淋塔2的一侧均设有出水管13，所述出水管13上设有第二阀门14，所述第二喷淋塔2上设有出气管15，所述出气管15内壁设有吸附层16，所述吸附层16的一侧设有气体检测仪17，所述气体检测仪17一侧位于所述出气管15上设有第三阀门18。

通过本实用新型的上述方案，能够通过设置第一喷淋塔1和第二喷淋塔2，使得当有毒气体从入气管进入到第一喷淋塔1以后，经过喷淋头4上喷淋的中和液体，能够有效的吸附中和有毒气体，并且，通过设置挡板8和第一枝丫9和第二枝丫10，能够有效的增加中和液体与有毒气体的接触面积，第二喷淋塔2的出气管15内设有吸附层16，能够有效的吸收残留的有毒气体，第一喷淋塔1和第二喷淋塔2进行双重喷淋吸收加上第一枝丫9和第二枝丫10上喷淋的中和液体进行吸收，最后在通过吸附层16进行收尾，多重吸收能够有效的进行吸收有毒气体，减少了对周围环境和相关人员的身体健康的威胁，使得企业能够减少投资增加收益。

另外，在一个实施例中，对于第一喷淋塔1来说，所述第一喷淋塔1与所述第二喷淋塔2上均设有圆台形封盖19，所述喷淋头4位于所述圆台形封盖19上。

另外，在一个实施例中，对于支管5来说，所述支管5与所述第一喷淋塔1与所述第二喷淋塔2之间均设有密封圈20。

另外，在一个实施例中，对于来说，所述吸附层16包括数量为两块的隔板和填充物，所述填充物位于所述隔板之间，所述填充物为HT吸附剂。

另外，在一个实施例中，对于来说，所述入气管11内和所述通气管3两端的内壁均设有通气挡水膜21。

另外，在一个实施例中，对于来说，所述入气管11与所述第一喷淋塔1的连接处和所述通气管3与所述第二喷淋塔2的连接处均设有挡水板22。

综上所述，借助于本实用新型的上述技术方案，通过设置第一喷淋塔1和第二喷淋塔2，使得当有毒气体从入气管进入到第一喷淋塔1以后，经过喷淋头4上喷淋的中和液体，能够有效的吸附中和有毒气体，并且，通过设置挡板8和第一枝丫9和第二枝丫10，能够有效的增加中和液体与有毒气体的接触面积，第二喷淋塔2的出气管15内设有吸附层16，能够有效的吸收残留的有毒气体，第一喷淋塔1和第二喷淋塔2进行双重喷淋吸收加上第一枝丫9和第二枝丫10上喷淋的中和液体进行吸收，最后在通过吸附层16进行收尾，多重吸收能够有效的进行吸收有毒气体，减少了对周围环境和相关人员的身体健康的威胁，使得企业能够减少投资增加收益。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。