1.一种电容式微机械超声换能单元，其特征在于，包括衬底，设置在所述衬底上的底电极，设置在所述底电极远离所述衬底一侧的顶电极，所述顶电极与所述底电极之间设置有空腔，所述顶电极中设置有释放孔，所述释放孔中设置有有机填充部。
2.根据权利要求1所述的电容式微机械超声换能单元，其特征在于，还包括设置在所述空腔和所述底电极之间的绝缘层，所述绝缘层和所述顶电极共同限定出所述空腔，所述顶电极和所述空腔直接接触。
3.根据权利要求1所述的电容式微机械超声换能单元，其特征在于，所述空腔在所述衬底上的正投影覆盖所述释放孔在所述衬底上的正投影。
4.根据权利要求1所述的电容式微机械超声换能单元，其特征在于，所述释放孔满足以下条件的至少之一：
所述释放孔的最小径向尺寸为2～3微米；
所述释放孔包括多个间隔设置的子孔，每个所述子孔的形状包括圆形、多边形和不规则形状中的至少一种；
所述释放孔包括一连续的长孔，所述长孔的形状呈螺旋形。
5.根据权利要求1所述的电容式微机械超声换能单元，其特征在于，还包括设置在所述顶电极远离所述空腔一侧的有机层，所述有机层和所述有机填充部为一体结构。
6.根据权利要求1所述的电容式微机械超声换能单元，其特征在于，所述有机填充部的材料包括聚酰亚胺、聚甲基丙烯酸甲酯和光刻胶中的至少之一。
7.一种电容式微机械超声换能器，其特征在于，包括多个权利要求1～6中任一项所述的电容式微机械超声换能单元，其中，任意相邻的两个所述电容式微机械超声换能单元之间设有连接部，所述连接部用于连接两个所述电容式微机械超声换能单元中的所述顶电极；多个所述电容式微机械超声换能单元中的所述底电极电连接。
8.根据权利要求7所述的电容式微机械超声换能器，其特征在于，满足以下条件的至少之一：
所述连接部和所述顶电极为一体结构；
多个所述电容式微机械超声换能单元中的所述底电极为一体结构。
9.根据权利要求7所述的电容式微机械超声换能器，其特征在于，所述电容式微机械超声换能单元中的有机层中设置有贯穿其中的第一过孔，所述顶电极通过所述第一过孔和第一引线电连接，所述第一过孔在所述衬底上的正投影与所述空腔在所述衬底上的正投影不重叠。
10.根据权利要求7所述的电容式微机械超声换能器，其特征在于，还包括设置在所述底电极和所述有机层之间的绝缘层，以及贯穿所述有机层和所述绝缘层的第二过孔，第二引线通过所述第二过孔和所述底电极电连接，所述第二过孔在所述衬底上的正投影和所述空腔在所述衬底上的正投影不重叠。
11.一种电容式微机械超声换能单元的制作方法，其特征在于，包括：
提供衬底；
在所述衬底上形成底电极；
在所述底电极远离所述衬底的一侧形成顶电极，所述顶电极与所述底电极之间形成有空腔，所述顶电极中形成有释放孔；
在所述释放孔中形成有机填充部。
12.根据权利要求11所述的制作方法，其特征在于，包括：
在形成所述底电极之后，且在形成所述顶电极之前，在所述底电极远离所述衬底的一侧形成牺牲层，所述牺牲层与所述顶电极直接接触；
在形成所述顶电极之后，通过所述释放孔对所述牺牲层进行干法蚀刻，以形成所述空腔。
13.根据权利要求11所述的制作方法，其特征在于，包括：
将有机浆料旋涂在所述顶电极远离所述衬底的一侧，形成有机浆料层；
在80～200摄氏度的温度范围内，使所述有机浆料层固化，得到所述有机填充部和有机层。