一种用于模块式安装等离子设备的框架组件的制作方法

本实用新型涉及等离子设备安装技术领域，具体为一种用于模块式安装等离子设备的框架组件。

背景技术：

等离子体指部分或完全电离的气体，且自由电子和离子所带正、负电荷的总和完全抵消，宏观上呈现中性电，现在等离子设备广泛运用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭菌及废气治理等多种领域，在对废气的处理过程中，等离子净化器采用分体模块式设计，在安装过程中，将各分体模块分别连通，再与外部的设备相连，即实现等离子净化器整体的安装。

但是，现有的框架组件在拼接过程中，不能较好的实现各模块之间的水平安装，导致等离子净化器的工作区域与废气流通方向的存在偏差，影响废气处理，另一方面，拼接的连接部位密封效果较差，容易导致废气泄漏，不利于使用。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于模块式安装等离子设备的框架组件，简单便捷的实现各模块之间水平的安装，保证等离子净化器的工作区域与废气流通方向齐平，避免影响废气的处理，同时，有效的实现拼接处的密封，避免气体泄漏，解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于模块式安装等离子设备的框架组件，包括箱体和卡块，所述箱体的一侧开有进气孔，所述箱体的另一侧开有出气孔，所述卡块对称焊接于箱体临近进气孔的两组外壁，所述箱体临近进气孔的另两组外壁均焊接有导向杆，所述箱体临近进气孔的侧部焊接有第一连接板，所述第一连接板的侧部覆盖有密封垫，所述箱体临近出气孔的侧壁对称焊接有与卡块相配合的滑块，所述箱体临近出气孔的另两组外壁通过螺栓固定有与导向杆配合的导向套，所述箱体临近出气孔的侧部焊接有第二连接板，所述第一连接板、密封垫和第二连接板均开有相配合螺栓孔。

优选的，所述箱体的侧部开有安装孔，且所述箱体临近卡块的外壁为光滑面。

优选的，所述卡块与箱体相对的侧部为光滑面，所述卡块与箱体相对的外壁齐平。

优选的，两组所述导向杆相对于箱体呈对称设置，且所述导向杆呈圆柱体形设置。

优选的，所述滑块的外壁为光滑面，且所述滑块呈条块形设置。

优选的，所述第一连接板、密封垫和第二连接板的侧部均开有与滑块相配合的通孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过预先安装导向套，导向杆插入导向套，在导向套的限位作用下，移动箱体，使得箱体的侧部的滑块与另一箱体与卡块之间的间隙部位，利用导向套、卡块和箱体外壁的共同作用，实现箱体与箱体之间的齐平连接，保证气体有效的通过等离子净化器的工作区，避免影响废气的处理；

2、通过上述过程中，箱体之间的第一连接板和第二连接板挤压密封垫，在螺栓孔部位通过螺栓对第一连接板、密封垫和第二连接板固定，利用密封垫进行有效的密封，避免泄漏。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的进气孔部分结构侧视剖视图；

图3为本实用新型的出气孔部分结构侧视剖视图。

图中：1、箱体；2、卡块；3、进气孔；4、出气孔；5、导向杆；6、第一连接板；7、密封垫；8、滑块；9、导向套；10、第二连接板；11、螺栓孔；12、安装孔；13、通孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种用于模块式安装等离子设备的框架组件，包括箱体1和卡块2，箱体1为不锈钢箱体，卡块2为不锈钢卡块，箱体1的一侧开有进气孔3，箱体1的另一侧开有出气孔4，卡块2对称焊接于箱体1临近进气孔3的两组外壁，箱体1临近进气孔3的另两组外壁均焊接有导向杆5，导向杆5为不锈钢导向杆，箱体1临近进气孔3的侧部焊接有第一连接板6，第一连接板6的侧部覆盖有密封垫7，密封垫7为石墨密封垫，箱体1临近出气孔4的侧壁对称焊接有与卡块2相配合的滑块8，滑块8为不锈钢滑块，箱体1临近出气孔4的另两组外壁通过螺栓固定有与导向杆5配合的导向套9，导向套9为聚四氟乙烯树脂导向套，箱体1临近出气孔4的侧部焊接有第二连接板10，第一连接板6和第二连接板10均为圆环形不锈钢连接板，第一连接板6、密封垫7和第二连接板10均开有相配合螺栓孔11，螺栓孔11配套有用于拧紧固定的螺栓，以上各部件共同构成一个框架组件。

具体的，箱体1的侧部开有安装孔12，且箱体1临近卡块2的外壁为光滑面，安装孔12用于等离子净化器的工作部件的安装。

具体的，卡块2与箱体1相对的侧部为光滑面，卡块2与箱体1相对的外壁齐平，保证后续有效的齐平，卡块2用于卡住滑块8，并提供导向作用，保证齐平。

具体的，两组导向杆5相对于箱体1呈对称设置，且导向杆5呈圆柱体形设置，方便导向套9和导向杆5之间的移动，便于箱体1与箱体1之间的安装。

具体的，滑块8的外壁为光滑面，且滑块8呈条块形设置，滑块8为不锈钢滑块，滑块8插在卡块2与箱体1侧壁之间的部位，并利用卡块2的导向作用，保证箱体1之间连接的齐平。

具体的，第一连接板6、密封垫7和第二连接板10的侧部均开有与滑块8相配合的通孔13，通孔13方便滑块8插入卡块2与箱体1的外壁之间。

结构原理：使用时，先将等离子净化器的各个工作区域通过安装孔12安装在箱体1的侧部，使得工作区域与箱体1的进气流通方向垂直，然后在箱体1的外侧通过螺栓安装导向套9，使得导向套9与箱体1的进气孔3进气方向垂直，再将一组箱体1的侧部的导向杆5插入另一组箱体1的导向套9的内部，然后移动一组箱体1，使得滑块8插入另一箱体1与卡块2之间的部位，移动过程中，一组箱体1的第一连接板6与另一组箱体1的第二连接板10通过密封垫7相贴，通过螺栓拧紧第一连接板6、密封垫7和第二连接板10，进行密封并固定，重复上述过程，即可实现箱体1与箱体1之间的齐平连接，通过密封垫7进行密封，避免泄漏。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。