一种应用于微电子芯片冲洗的超纯水滤芯的制作方法

[0001]
本实用新型属于过滤滤芯技术领域，具体涉及一种应用于微电子芯片冲洗的超纯水滤芯。


背景技术：

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所周知，芯片工艺越先进，芯片内部的晶体管密度就越高，同时在单位面积内带来更好的性能和功能。早期的苹果a4处理器使用的是45nm工艺制造，而短短几年之后，如今的顶级soc，比如骁龙855、麒麟980已经采用了7nm工艺制造。
[0003]
电子芯片的加工工艺极其复杂，对于应用点上的冲洗用超纯水过滤提出了极高的水平，生产“超纯水”共有18道工序。其中.最重要的是第6道工序逆渗透。即高密度、高能量的剔除杂质过程。然后.还要通过大型专业过滤床滤出种种离子.再通过紫外线试管分离出所有有机物。最后一步是让水经过有许多直径为5纳米微孔的过滤器，冲洗水中不能有任何高于5nm的颗粒通过，造成电路短路报废。
[0004]
目前电子芯片的加工工艺中采用的滤芯多设置过滤纤维丝进行过滤。虽能具备较高的过滤精度，结构较为复杂，同时由于只能单端出水，且通透性较差，适用的水压范围较小。


技术实现要素：

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基于上述背景技术中提到的问题，本实用新型提供了一种应用于微电子芯片冲洗的超纯水滤芯，它具备较高的过滤精度，同时通透性较高，适用的水压范围更大，反清洗效果较好。
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本实用新型采用的技术方案如下：
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一种应用于微电子芯片冲洗的超纯水滤芯，所述滤芯包括外壳体和设于外壳体内部的内滤芯，所述外壳体包括可拆卸连接的安装筒和密封盖，所述密封盖上设有进水接头，所述安装筒底端封闭，所述内滤芯包括滤芯外壳，所述滤芯外壳的底端与安装筒的内底密封连接，所述滤芯外壳顶端一体成型有多个连接块，所述连接块的端部与密封盖相接触，所述滤芯外壳内设有第一树脂层和第二树脂层，所述第一树脂层与滤芯外壳的上部设有第一预留腔，所述第二树脂层与滤芯外壳的下部设有第二预留腔，所述第一树脂层与第二树脂层之间安装有排水管，所述排水管的两端分别与第一预留腔和第二预留腔连通，所述第一树脂层与第二树脂层之间设有中空的过滤层纤维丝，所述过滤层纤维丝的两端分别与第一预留腔和第二预留腔连通，所述滤芯外壳于第一树脂层与第二树脂层之间开设有多个连通槽，所述滤芯外壳底端设有出水接头，所述出水接头穿出安装筒。
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在上述技术方案的基础上，本实用新型还做了如下改进：
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进一步，所述安装筒的内底一体成型有第一密封环，所述第一密封环的顶部设有倒角，所述滤芯外壳底端设有第二密封环，所述第二密封环的底部卡设有与第一密封环相匹配的连接卡槽，所述第一密封环顶端卡设于连接卡槽内。内滤芯装入安装筒时，通过将第
一密封环卡入第二密封环的连接卡槽中即可将滤芯外壳与安装筒的内底密封连接，安装较为方便。
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进一步，所述第一密封环和第二密封环之间设有密封垫圈，所述密封垫圈位于连接卡槽内。通过密封垫圈可提高滤芯外壳与安装筒内底之间的密封性。
[0011]
进一步，所述安装筒底端设有定位套筒，所述定位套筒与安装筒的内部连通，所述定位套筒位于第一密封环所在的圆内，所述出水接头穿设于定位套筒内。在安装时内滤芯时，可通过将出水接口穿入定位套筒内，便于第一密封环和第二密封环之间的连接匹配。
[0012]
进一步，所述安装筒的内壁设有多个定位台，多个所述的定位台均与滤芯外壳的外壁接触，所述定位台上开设有坡面。通过定位台的设置在安装内滤芯时对内滤芯进行校正，以便于将出水接头穿入定位套筒内。
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本实用新型的有益效果：
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1、结构简单，生产方便，有利于降低生产成本，同时通过过滤纤维丝进行过滤，有利于提高过滤精度，以满足需要高精度过滤超纯水的使用需求；
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2、过滤纤维丝两端均可出水，使滤芯具备更高的通透性，跨膜压差、曝气较好，适用的水压范围更大，反清洗效果较好。
附图说明
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本实用新型可以通过附图给出的非限定性实施例进一步说明；
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图1为本实用新型施例中一种应用于微电子芯片冲洗的超纯水滤芯实的纵截结构示意图；
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图2为图2中a处的放大结构示意图；
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图3为本实用新型实施例中外壳体的纵截结构示意图；
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图4为本实用新型施例中内滤芯的结构示意图；
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主要元件符号说明如下：
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安装筒11、定位套筒111、外螺纹112、第一密封环12、进水接头121、内螺纹122、定位台13、坡面131、密封盖2、滤芯外壳21、连通槽22、第二密封环23、连接卡槽231、连接块24、第一树脂层251、第二树脂层252、滤层纤维丝26、排水管27、第一预留腔281、第二预留腔282、出水接头29。
具体实施方式
[0023]
为了使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型，下面结合附图和实施例对本实用新型技术方案进一步说明。
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实施例
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如图1～4所示，本实用新型的一种应用于微电子芯片冲洗的超纯水滤芯，滤芯包括外壳体和设于外壳体内部的内滤芯，外壳体包括安装筒11和密封盖2，安装筒11外壁设有外螺纹112，密封盖2内壁设有内螺纹122，通过外螺纹112和内螺纹122的啮合，实现安装筒11和密封盖2之间的螺纹连接，且外螺纹112与内螺纹122之间设有防水胶带。密封盖2 上连接有进水接头121，安装筒11底端封闭。内滤芯包括滤芯外壳21，滤芯外壳21的底端与安装筒11的内底密封连接，滤芯外壳21的顶端一体成型有多个连接块24，连接块24的端部与密
封盖2相接触，滤芯外壳21内设有第一树脂层251和第二树脂层252，第一树脂层 251与滤芯外壳21的上部设有第一预留腔281，第二树脂层252与滤芯外壳21的下部设有第二预留腔282，第一树脂层251与第二树脂层252之间安装有排水管27，排水管27的两端分别与第一预留腔281和第二预留腔282连通，第一树脂层251与第二树脂层252之间设有中空的过滤层纤维丝26，过滤层纤维丝26的两端分别与第一预留腔281和第二预留腔282 连通，滤芯外壳21于第一树脂层251与第二树脂层252之间开设有多个连通槽22，滤芯外壳21的底端设有出水接头29，出水接头29穿出安装筒11，其中，为便于第一树脂层251、第二树脂层252、排水管27和过滤层纤维丝26的设置，滤芯外壳21可采用采用两端开口的筒状外壳，待第一树脂层251、第二树脂层252、排水管27和过滤层纤维丝26设置完毕后再对滤芯外壳21进封闭。
[0026]
具体地，安装筒11的内底一体成型有第一密封环12，第一密封环12的顶部设有倒角，滤芯外壳21的底端设有第二密封环23，第二密封环23的底部卡设有与第一密封环12相匹配的连接卡槽231，第一密封环12顶端卡设于连接卡槽231内。内滤芯装入安装筒11时，通过将第一密封环12卡入第二密封环23的连接卡槽231中即可将滤芯外壳21与安装筒11 的内底密封连接，安装较为方便。为提高滤芯外壳21与安装筒11内底之间的密封性，第一密封环12和第二密封环23之间设有密封垫圈，密封垫圈位于连接卡槽内。
[0027]
具体地，在安装时内滤芯时，为便于第一密封环12和第二密封环23之间的连接匹配，安装筒11的底端设有定位套筒111，定位套筒111与安装筒11的内部连通，定位套筒111 位于第一密封环12所在的圆内，在安装内滤芯时将出水接口29穿入定位套筒111内再继续移动，即可使第一密封环12和第二密封环23自行匹配。为出水接头29能更好的穿入定位套筒111内，安装筒11的内壁设有多个定位台13，多个的定位台13均与滤芯外壳21的外壁接触，定位台13上开设有坡面131，通过定位台13的设置在安装内滤芯时对内滤芯进行校正。
[0028]
在使用时，需要过滤液体经过进液口121进入安装筒11和密封盖2之间的空间内，由于滤芯外壳21的底端与安装筒11在第一密封环12和第二密封环23的作用下被封闭，进入安装筒11和密封盖2之间的空间内的待过滤的液体自连通槽22进入滤芯外壳21，在第一树脂层251和第二树脂层252的密封作用下，待过滤的液体穿过中空的过滤层纤维丝26进入过滤层纤维丝26的内部，再由过滤层纤维丝26的两端流出完成过滤，流入第一预留腔281 的液体经排水管27流入第二预留腔282，流入第二预留腔282的液体经出水接头29流出。
[0029]
以上对本实用新型提供的一种应用于微电子芯片冲洗的超纯水滤芯进行了详细介绍。具体实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。