一种半导体生产用自动弹出滤网的自提醒套筒的制作方法

[0001]
本发明涉及半导体生产技术领域，具体为一种半导体生产用自动弹出滤网的自提醒套筒。


背景技术：

[0002]
半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，其中半导体生产中对于滤风的处理，关系到半导体材料的杂质问题。
[0003]
公开号为cn111696899a，公开日为2020年9月22日的中国发明专利公布了一种半导体设备用滤风整流装置，其结构包括整流箱、整流腔、入风口、滤风网、出风口、整流叶和夹紧机构，该发明通过上述结构的配合，使滤风整流装置拆卸便捷，从而避免因整流腔内壁粉尘堆积而影响滤风整流效果，但是该结构需要手动拆除，从而增加了工作人员的工作量，进而影响到工作的效率，同时手动拆除，往往出现拆除清理不及时的现象，进而使滤风的效果下降，使半导体生产中产生不必要的杂质，从而影响到半导体的导电性能。
[0004]
针对上述问题，本发明提出一种半导体生产用自动弹出滤网的自提醒套筒，具有使用便捷和提醒迅速的优点。


技术实现要素：

[0005]
(一)解决的技术问题
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针对现有技术的不足，本发明提供了一种半导体生产用自动弹出滤网的自提醒套筒，具备使用便捷和提醒迅速的优点，解决了使用不便捷和提醒缓慢的问题。
[0007]
(二)技术方案
[0008]
为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：
[0009]
一种半导体生产用自动弹出滤网的自提醒套筒，包括套筒主体，所述套筒主体的左右两侧均固定连接有固定件，固定件的内侧固定连接有滤风管，滤风管的中部活动连接有滤网，滤网的左右两侧均固定连接有风动管，风动管的内侧活动连接有挡风板，挡风板的内侧活动连接有活塞，活塞的内侧活动连接有弹簧，活塞通过弹簧与充气块活动连接，充气块的内侧固定连接有输风管，输风管的底部固定连接有集风仓，集风仓的底部活动连接有单向球，活动板的底部活动连接有安装块，安装块的底部固定连接有单向管，单向管的底部固定连接有缓冲仓，缓冲仓的内侧固定连接有空气弹簧，空气弹簧的上下两侧均固定连接有挤压块，上侧挤压块的顶部固定连接有活动导轨，活动导轨的顶部活动连接有连杆，连杆的顶部活动连接有滑座，滑座的左右两侧均活动连接有固定杆，固定杆的外侧固定连接有遮风板，空气弹簧的外侧设有催动仓，催动仓的内部活动连接有风动球，风动球的底部活动连接有进风柱，进风柱的底部固定连接有发声机构。
[0010]
优选的，所述固定件关于套筒主体的中线对称分布，且每个固定件的内侧均设有螺纹。
[0011]
优选的，所述风动管和滤风管的开口方向相同，且滤风管的直径大于风动管的直径。
[0012]
优选的，所述风动管前端的内部设有三个挡风板，且每个挡风板的距离均相同，且每个挡风板均铰接在风动管的内壁。
[0013]
优选的，所述活塞的内侧设有挤压头，且挤压头的长度和充气块的长度相同，且活塞和充气块的数目相同。
[0014]
优选的，所述充气块的内侧设有空腔，且充气块由橡胶材料构成，且集风仓和缓冲仓均关于空气弹簧的中线对称分布。
[0015]
优选的，所述单向管通过设置在其内部的活动板和单向球活动连接，且单向管的上部直径小于单向管的下部直径。
[0016]
优选的，所述下侧挤压块的底部设有充气块，充气块通过连管和催动仓，风动球的表面不均匀分布有凹槽。
[0017]
(三)有益效果
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与现有技术相比，本发明提供了一种半导体生产用自动弹出滤网的自提醒套筒，具备以下有益效果：
[0019]
1、该半导体生产用自动弹出滤网的自提醒套筒，通过气压挤压空气弹簧运动，进而使空气弹簧挤压挤压块运动，从而使连杆在活动导轨的配合下开始向顶部移动，进而使滤网被弹出，空气弹簧挤压挤压块运动，也会使催动仓内部产生气流，从而使风动球和发声机构在气流的配合下发声，进而使滤网可以自动弹出并及时提醒，进而提高了更换的工作效率。
[0020]
2、该半导体生产用自动弹出滤网的自提醒套筒，通过挡风板的处理，使挤压活塞的风力减弱，被处理的风力穿过挡风板后，会挤压活塞向内侧运动，从而使活塞挤压推动充气块向内部收缩，从而使充气块可以向集风仓内部充气，通过挡风板和集风仓的配合，使滤网的弹出为间歇弹出，从而保障了滤网在使用一段时间过后可以及时地更换。
[0021]
3、该半导体生产用自动弹出滤网的自提醒套筒，通过固定件内侧螺纹将套筒主体加装到通风管的末端，使需要过滤的空气通过套筒主体进入半导体生产设备的内部，同时使风动管内部也有空气进入，进而使套筒主体可以及时对进入的空气过滤反应。
附图说明
[0022]
图1为本发明套筒机构剖视图。
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图2为图1中a部分的放大结构示意图。
[0024]
图3为图1中b部分的放大结构示意图。
[0025]
图4为图1中c部分的放大结构示意图。
[0026]
图5为自提醒机构连接示意图。
[0027]
图中：1、套筒主体；2、固定件；3、滤风管；4、滤网；5、风动管；6、挡风板；7、活塞；8、弹簧；9、充气块；10、输风管；11、集风仓；12、单向球；13、活动板；14、安装块；15、单向管；16、缓冲仓；17、空气弹簧；18、挤压块；19、活动导轨；20、连杆；21、滑座；22、固定杆；23、遮风板；24、催动仓；25、风动球；26、进风柱；27、发声机构。
具体实施方式
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下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0029]
请参阅图1-5，一种半导体生产用自动弹出滤网的自提醒套筒，包括套筒主体1，所述套筒主体1的左右两侧均固定连接有固定件2，固定件2的内侧固定连接有滤风管3，滤风管3的中部活动连接有滤网4，滤网4的左右两侧均固定连接有风动管5，风动管5的内侧活动连接有挡风板6，挡风板6的内侧活动连接有活塞7，活塞7的内侧活动连接有弹簧8。
[0030]
活塞7通过弹簧8与充气块9活动连接，充气块9的内侧固定连接有输风管10，输风管10的底部固定连接有集风仓11，集风仓11的底部活动连接有单向球12，活动板13的底部活动连接有安装块14，安装块14的底部固定连接有单向管15，单向管15的底部固定连接有缓冲仓16，缓冲仓16的内侧固定连接有空气弹簧17，空气弹簧17的上下两侧均固定连接有挤压块18，上侧挤压块18的顶部固定连接有活动导轨19。
[0031]
活动导轨19的顶部活动连接有连杆20，连杆20的顶部活动连接有滑座21，滑座21的左右两侧均活动连接有固定杆22，固定杆22的外侧固定连接有遮风板23，空气弹簧17的外侧设有催动仓24，催动仓24的内部活动连接有风动球25，风动球25的底部活动连接有进风柱26，进风柱26的底部固定连接有发声机构27。
[0032]
其中，所述固定件2关于套筒主体1的中线对称分布，且每个固定件2的内侧均设有螺纹，从而便于使用时，通过螺纹将套筒主体1和半导体生产中的通风口连接，进而便于日常的使用。
[0033]
其中，所述风动管5和滤风管3的开口方向相同，且滤风管3的直径大于风动管5的直径，从而便于风动管5在滤风管3通风时，可以开始工作。
[0034]
其中，所述风动管5前端的内部设有三个挡风板6，且每个挡风板6的距离均相同，且每个挡风板6均铰接在风动管5的内壁，从而便于挡风板6可以减弱进入风动管5的风力。
[0035]
其中，所述活塞7的内侧设有挤压头，且挤压头的长度和充气块9的长度相同，且活塞7和充气块9的数目相同，从而便于挤压头活动时，可以推动充气块9运动。
[0036]
其中，所述充气块9的内侧设有空腔，且充气块9由橡胶材料构成，且集风仓11和缓冲仓16均关于空气弹簧17的中线对称分布，从而便于套筒主体1正反安装都可以使用。
[0037]
其中，所述单向管15通过设置在其内部的活动板13和单向球12活动连接，且单向管15的上部直径小于单向管15的下部直径，从而便于集风仓11可以积攒气压。
[0038]
其中，所述下侧挤压块18的底部设有充气块9，充气块9通过连管和催动仓24，风动球25的表面不均匀分布有凹槽，从而便于风动球25可以配合发声机构27产生声响。
[0039]
工作原理：
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当需要使用时，通过固定件2内侧螺纹将套筒主体1加装到通风管的末端，使需要过滤的空气通过套筒主体1进入半导体生产设备的内部，同时使风动管5内部也有空气进入，进而使套筒主体1可以及时对进入的空气过滤反应。
[0041]
通过风动管5内部的空气会先通过挡风板6的处理，使挤压活塞7的风力减弱，被处理的风力穿过挡风板6后会挤压活塞7向内侧运动，从而使活塞7挤压推动充气块9向内部收
缩，从而使充气块9可以向集风仓11内部充气，通过挡风板6和集风仓11的配合，使滤网4的弹出为间歇弹出，从而保障了滤网在使用一段时间过后可以及时地更换。
[0042]
当集风仓11内部的气压增加到一定程度后，单向球12在气压的影响下，开始向单向管15内部运动，从而使气压开始挤压空气弹簧17运动，进而使空气弹簧17挤压挤压块18运动，从而使连杆20在活动导轨19的配合下开始向顶部移动，进而使滤网4被弹出，空气弹簧17挤压挤压块18运动，也会使催动仓24内部产生气流，从而使风动球25和发声机构27在气流的配合下发声，进而使滤网4可以自动弹出并及时提醒，进而提高了更换的工作效率。
[0043]
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。